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在多個底電極通孔正上方形成多個mtj器件。多個mtj器件包括工作mtj器件和一個或多個調(diào)節(jié)mtj器件。圖10示出了對應(yīng)于步驟1306的一些實(shí)施例的截面圖1000。在步驟1308中,在多個mtj器件正上方形成多個頂電極通孔。圖11示出了對應(yīng)于步驟1308的一些實(shí)施例的截面圖1100。在步驟1310中,在多個頂電極通孔上方形成具有多個互連結(jié)構(gòu)的第二互連層。多個互連結(jié)構(gòu)限定位線和一條或多條字線。圖11示出了對應(yīng)于步驟1310的一些實(shí)施例的截面圖1100。步驟1302至1310在襯底上方形成存儲單元。在一些實(shí)施例中,可以重復(fù)步驟1302至1310(如步驟1312所示)以在存儲單元上方形成第二存儲單元。圖12示出了對應(yīng)于步驟1312的一些實(shí)施例的截面圖1200。雖然方法1300描述了包括具有調(diào)節(jié)訪問裝置(包括mtj器件)的存儲單元(例如,mram單元)的方法存儲器電路,但是應(yīng)該理解,在其它實(shí)施例中,調(diào)節(jié)裝置可以包括電阻器(例如,薄膜電阻器)。在這樣的實(shí)施例中,工作mtj器件可以通過組操作(在步驟1306中)形成,而包括電阻器的調(diào)節(jié)裝置可以通過第二組單獨(dú)的操作(在步驟1306和步驟1308之間發(fā)生)形成。例如,在工作mtj的形成(在步驟1306中)之后,可以通過一個或多個沉積和蝕刻工藝形成電阻器。因此,在一些實(shí)施例中。上海海谷電子有限公司是一家專業(yè)提供回收的公司,有想法的不要錯過哦!黑龍江批量電子物料回收行情
可以通過電力軌71與第二電力軌72之間沿第二方向y的距離定義標(biāo)準(zhǔn)單元scl的單元高度ch。可以沿著與電力軌71和72平行的方向x定義標(biāo)準(zhǔn)單元scl的單元寬度cw。線路m1的節(jié)距會由于小節(jié)距規(guī)則而需要滿足限制。例如,線路m1會需要根據(jù)“前列到側(cè)面”約束和“圓角”約束來滿足限制。線路m1的尺寸、布置和間隔可能受到這些約束的限制。下通孔接觸件v0和線路m1可以具有阻擋層和線路導(dǎo)電層的堆疊結(jié)構(gòu)。阻擋層可以由例如tin、tan、它們的組合等形成。線路導(dǎo)電層可以由例如w、cu、它們的合金、它們的組合等形成??梢允褂胏vd方法、ald方法和/或電鍍方法來形成線路m1和下通孔接觸件v0。根據(jù)一些示例實(shí)施例的集成電路可以對應(yīng)于各種標(biāo)準(zhǔn)單元的組合。盡管圖中未示出,但是根據(jù)示例實(shí)施例的用于形成單元線路結(jié)構(gòu)的列金屬線可以形成在第二層ly2上方的m2層或m3層中。圖13是示出根據(jù)示例實(shí)施例的設(shè)計集成電路的方法的示圖。圖13的方法可以包括由設(shè)計工具執(zhí)行的設(shè)計集成電路的布圖的方法。在一些示例實(shí)施例中,設(shè)計工具可以包括包含可由處理器執(zhí)行的多個指令的編程軟件,即,以硬件(例如,處理器、asic等)的某種形式實(shí)現(xiàn)的軟件。參照圖13,可以接收定義集成電路的輸入數(shù)據(jù)(s10)。例如。湖南電感元件回收服務(wù)上海海谷電子有限公司是一家專業(yè)提供回收的公司,期待您的光臨!
示出了一個處理器1500??蛇x地,多個處理器可以包括在設(shè)計系統(tǒng)1000中。此外,處理器1500可以包括增加計算容量的高速緩存存儲器。這樣,根據(jù)示例實(shí)施例的集成電路和設(shè)計集成電路的方法可以通過單元線路結(jié)構(gòu)提高集成電路的設(shè)計效率和性能。圖15是示出圖14的設(shè)計系統(tǒng)的示例操作的流程圖。參照圖14和圖15,設(shè)計模塊1400可以接收定義集成電路的輸入數(shù)據(jù)di(s11)。布局模塊1200可以參照包括如上所述的多個標(biāo)準(zhǔn)單元的標(biāo)準(zhǔn)單元庫1110,以便提取與輸入數(shù)據(jù)di對應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)單元,并且可以使用提取的標(biāo)準(zhǔn)單元執(zhí)行單元布局(s12)。布線模塊1300可以針對布局的單元執(zhí)行信號布線(s13)。當(dāng)信號布線不成功時(s14:否),布局模塊1200可以替換至少一個標(biāo)準(zhǔn)單元,例如,可以用另一標(biāo)準(zhǔn)單元替換至少一個標(biāo)準(zhǔn)單元,以修改單元的布局(s15)。布線模塊1300可以針對修改的布局再次執(zhí)行信號布線(s13)。這樣,可以重復(fù)地布局和布線,直到成功完成信號布線。當(dāng)信號布線成功完成時(s14:是),設(shè)計模塊1400可以生成定義集成電路的輸出數(shù)據(jù)do(s16)。圖16是示出根據(jù)示例實(shí)施例的集成電路的布圖的示圖。圖16的集成電路300可以是集成電路(asic)。
根據(jù)示例實(shí)施例的集成電路以及制造和設(shè)計所述集成電路的方法可以通過單元線路結(jié)構(gòu)提高集成電路的設(shè)計效率和性能。實(shí)施例可以應(yīng)用于任何電子裝置和系統(tǒng)。例如,實(shí)施例可以應(yīng)用于諸如存儲器卡、固態(tài)驅(qū)動器(ssd)、嵌入式多媒體卡(emmc)、移動電話、智能電話、個人數(shù)字助理(pda)、便攜式多媒體播放器(pmp)、數(shù)碼相機(jī)、便攜式攝像機(jī)、個人計算機(jī)(pc)、服務(wù)器計算機(jī)、工作站 、膝上型計算機(jī)、數(shù)字tv、機(jī)頂盒、便攜式、導(dǎo)航系統(tǒng)、可穿戴裝置、物聯(lián)網(wǎng)(iot)裝置、萬物網(wǎng)(ioe)裝置、電子書、虛擬現(xiàn)實(shí)(vr)裝置、增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)(ar)裝置等的系統(tǒng)。前述內(nèi)容是對示例實(shí)施例的說明,而不應(yīng)被解釋為對其進(jìn)行限制。盡管已經(jīng)描述了一些示例實(shí)施例,但是本領(lǐng)域技術(shù)人員將容易理解,在實(shí)質(zhì)上不脫離本發(fā)明構(gòu)思的情況下,可以在示例實(shí)施例中進(jìn)行許多修改。上海海谷電子有限公司為您提供回收,有想法可以來我司咨詢!
根據(jù)示例實(shí)施例的集成電路以及制造和設(shè)計所述集成電路的方法可以通過單元線路結(jié)構(gòu)提高集成電路的設(shè)計效率和性能。實(shí)施例可以應(yīng)用于任何電子裝置和系統(tǒng)。例如,實(shí)施例可以應(yīng)用于諸如存儲器卡、固態(tài)驅(qū)動器(ssd)、嵌入式多媒體卡(emmc)、移動電話、智能電話、個人數(shù)字助理(pda)、便攜式多媒體播放器(pmp)、數(shù)碼相機(jī)、便攜式攝像機(jī)、個人計算機(jī)(pc)、服務(wù)器計算機(jī)、工作站、膝上型計算機(jī)、數(shù)字tv、機(jī)頂盒、便攜式、導(dǎo)航系統(tǒng)、可穿戴裝置、物聯(lián)網(wǎng)(iot)裝置、萬物網(wǎng)(ioe)裝置、電子書、虛擬現(xiàn)實(shí)(vr)裝置、增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)(ar)裝置等的系統(tǒng)。前述內(nèi)容是對示例實(shí)施例的說明,而不應(yīng)被解釋為對其進(jìn)行限制。盡管已經(jīng)描述 了一些示例實(shí)施例,但是本領(lǐng)域技術(shù)人員將容易理解,在實(shí)質(zhì)上不脫離本發(fā)明構(gòu)思的情況下,可以在示例實(shí)施例中進(jìn)行許多修改。上海海谷電子有限公司致力于提供回收,期待您的光臨!江蘇批量電子物料回收網(wǎng)
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四倍心軸圖案qpm1、qpm2和qmp3可以布置為在方向x上具有相同的四倍心軸節(jié)距pqm,四倍心軸節(jié)距pqm可以與抗蝕劑圖案的節(jié)距相同。針對單元線路結(jié)構(gòu)uws4、uws5和uws6中每個,可以使用三個四倍心軸圖案qpm1、qpm2和qpm3在列導(dǎo)電層ccl中形成十二條列金屬線ml1至ml12。每個單元線路結(jié)構(gòu)的十二條列金屬線ml1至ml12可以在方向x上布置成順序地且重復(fù)地具有金屬節(jié)距pm21、第二金屬節(jié)距pm22、金屬節(jié)距pm21和第三金屬節(jié)距pm23。金屬節(jié)距pm21、第二金屬節(jié)距pm22和第三金屬節(jié) 距pm23可以由表達(dá)式4表示。表達(dá)式4pm21=wdm+wmlpm22=wqm-wmlpm23=pqm-(wqm+2wdm+wml)在表達(dá)式4中,wdm表示雙倍心軸圖案dpm1至dpm6的寬度,wqm表示四倍心軸圖案qpm1、qpm2和qpm3的寬度,wml表示列金屬線ml1至ml12的寬度。在形成列金屬線ml1至ml12之前,可以在列導(dǎo)電層ccl下方的柵極層gtl中形成針對每個單元線路結(jié)構(gòu)的八條柵極線gl1至gl8。參照圖8,每個單元線路結(jié)構(gòu)uws4的八條柵極線gl1至gl8可以通過單圖案化形成。在這種情況下,每個單元線路結(jié)構(gòu)uws4的八條柵極線gl1至gl8可以在方向x上布置成具有相等的柵極節(jié)距pg2。柵極節(jié)距pg2可以等于通過曝光工藝形成的抗蝕劑圖案的節(jié)距。參照圖9。黑龍江批量電子物料回收行情
上海海谷電子有限公司成立于2019-07-30,位于肖塘路255弄10號2層,公司自成立以來通過規(guī)范化運(yùn)營和高質(zhì)量服務(wù),贏得了客戶及社會的一致認(rèn)可和好評。公司主要產(chǎn)品有電子元件回收,電子料回收,呆滯料回收,電子物料回收等,公司工程技術(shù)人員、行政管理人員、產(chǎn)品制造及售后服務(wù)人員均有多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)。并與上下游企業(yè)保持密切的合作關(guān)系。海谷集中了一批經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)及管理專業(yè)人才,能為客戶提供良好的售前、售中及售后服務(wù),并能根據(jù)用戶需求,定制產(chǎn)品和配套整體解決方案。我們本著客戶滿意的原則為客戶提供電子元件回收,電子料回收,呆滯料回收,電子物料回收產(chǎn)品售前服務(wù),為客戶提供周到的售后服務(wù)。價格低廉優(yōu)惠,服務(wù)周到,歡迎您的來電!