蘇州制版光刻膠廠家
來源：
發布時間：2025-06-15
光刻膠系列：
厚板光刻膠 JT - 3001，具備優異分辨率、感光度和抗深蝕刻性能，符合歐盟 ROHS 標準，保質期 1 年；
水油光刻膠 SR - 3308，容量 5L；SU - 3 負性光刻膠，分辨率優異，對比度良好，曝光靈敏度高，光源適應，重量 100g；
液晶平板顯示器負性光刻膠 JT - 1000，有 1L 裝和 100g 裝兩種規格，分辨率高，準確性和穩定性好；
JT - 2000 UV 納米壓印光刻膠，耐強酸強堿，耐高溫達 250°C，長期可靠性高，粘接強度高，重量 100g；
LCD 正性光刻膠 YK - 200，具有較大曝光、高分辨率、良好涂布和附著力，重量 100g；
半導體正性光刻膠 YK - 300，具備耐熱耐酸、耐溶劑性、絕緣阻抗和緊密性，重量 100g；
耐腐蝕負性光刻膠 JT - NF100，重量 1L。 半導體芯片制造，用于精細電路圖案光刻，決定芯片性能與集成度。蘇州制版光刻膠廠家
厚膜光刻膠感光膠吉田半導體光刻膠，45nm 制程驗證，國產替代方案!
技術驗證周期長
半導體光刻膠的客戶驗證周期通常為2-3年，需經歷PRS（性能測試）、STR（小試）、MSTR（批量驗證）等階段。南大光電的ArF光刻膠自2021年啟動驗證，預計2025年才能進入穩定供貨階段。
原材料依賴仍存
樹脂和光酸仍依賴進口，如KrF光刻膠樹脂的單體國產化率不足10%。國內企業需在“吸附—重結晶—過濾—干燥”耦合工藝等關鍵技術上持續突破。
未來技術路線
? 金屬氧化物基光刻膠：氧化鋅、氧化錫等材料在EUV光刻中展現出更高分辨率和穩定性，清華大學團隊已實現5nm線寬的原型驗證。
? 電子束光刻膠：中科院微電子所開發的聚酰亞胺基電子束光刻膠，分辨率達1nm，適用于量子芯片制造。
? AI驅動材料設計：華為與中科院合作，利用機器學習優化光刻膠配方，研發周期縮短50%。
研發投入
? 擁有自己實驗室和研發團隊，研發費用占比超15%，聚焦EUV光刻膠前驅體、低缺陷納米壓印膠等前沿領域，與中山大學、華南理工大學建立產學研合作。
? 專項布局：累計申請光刻膠相關的項目30余項，涵蓋樹脂合成、配方優化、涂布工藝等細致環節。
生產體系
? 全自動化產線：采用德國曼茨（Manz）涂布設備、日本島津（Shimadzu）檢測儀器，年產能超500噸（光刻膠），支持小批量定制（小訂單100g）和大規模量產。
? 潔凈環境：生產車間達萬級潔凈標準（ISO 8級），避免顆粒污染，確保光刻膠缺陷密度<5個/cm2。
嚴苛光刻膠標準品質，吉田半導體綠色制造創新趨勢。
? 正性光刻膠
? YK-300：適用于半導體制造，具備高分辨率（線寬≤10μm）、耐高溫（250℃）、耐酸堿腐蝕特性，主要用于28nm及以上制程的晶圓制造，適配UV光源（365nm/405nm）。
? 技術優勢：采用進口樹脂及光引發劑，絕緣阻抗高（>10^14Ω），滿足半導體器件對絕緣性的嚴苛要求。
? 負性光刻膠
? JT-1000：負性膠，主打優異抗深蝕刻性能，分辨率達3μm，適用于功率半導體、MEMS器件制造，可承受氫氟酸（HF）、磷酸（H3PO4）等強腐蝕液處理。
? SU-3：經濟型負性膠，性價比高，適用于分立器件及低端邏輯芯片，光源適應性廣（248nm-436nm），曝光靈敏度≤200mJ/cm2。
2. 顯示面板光刻膠
? LCD正性光刻膠YK-200：專為TFT-LCD制程設計，具備高涂布均勻性（膜厚誤差±1%）、良好的基板附著力，用于彩色濾光片（CF）和陣列基板（Array）制造，支持8.5代線以上大規模生產。
? 水性感光膠JT-1200：環保型產品，VOC含量<50g/L，符合歐盟RoHS標準，適用于柔性顯示基板，可制作20μm以下精細網點，主要供應京東方、TCL等面板廠商。
半導體光刻膠：技術領域取得里程碑。蘇州制版光刻膠廠家
關鍵工藝流程
涂布：
? 在晶圓/基板表面旋涂光刻膠，厚度控制在0.1-5μm（依制程精度調整），需均勻無氣泡（旋涂轉速500-5000rpm）。
前烘（Soft Bake）：
? 加熱（80-120℃）去除溶劑，固化膠膜，增強附著力（避免顯影時邊緣剝離）。
曝光：
? 光源匹配：
? G/I線膠：汞燈（適用于≥1μm線寬，如PCB、LCD）。
? DUV膠（248nm/193nm）：KrF/ArF準分子激光（用于28nm-14nm制程，如存儲芯片）。
? EUV膠（13.5nm）：極紫外光源（用于7nm以下制程，需控制納米級缺陷）。
? 曝光能量：需精確控制（如ArF膠約50mJ/cm2），避免過曝或欠曝導致圖案失真。
顯影：
? 采用堿性溶液（如0.262N四甲基氫氧化銨，TMAH），曝光區域膠膜溶解，未曝光區域保留，形成三維立體圖案。
后烘（Post-Exposure Bake, PEB）：
? 化學增幅型膠需此步驟，通過加熱（90-130℃）激發光酸催化反應，提高分辨率和耐蝕刻性。
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