福建正性光刻膠感光膠
來源：
發布時間：2025-06-04
工藝流程
? 目的：去除基板表面油污、顆粒，增強感光膠附著力。
? 方法：
? 化學清洗（硫酸/雙氧水、去離子水）；
? 表面處理（硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化，PCB基板用粗化處理）。
涂布（Coating）
? 方式：
? 旋涂：半導體/顯示領域，厚度控制精確（納米至微米級），轉速500-5000rpm；
? 噴涂/輥涂：PCB/MEMS領域，適合大面積或厚膠（微米至百微米級，如負性膠可達100μm）。
? 關鍵參數：膠液黏度、涂布速度、基板溫度（影響厚度均勻性）。
前烘（Soft Bake）
? 目的：揮發溶劑，固化膠膜，增強附著力和穩定性。
? 條件：
? 溫度：60-120℃（正性膠通常更低，如90℃；負性膠可至100℃以上）；
? 時間：5-30分鐘（根據膠厚調整，厚膠需更長時間）。
曝光（Exposure）
? 光源：
? 紫外光（UV）：G線（436nm）、I線（365nm）用于傳統光刻（分辨率≥1μm）；
? 深紫外（DUV）：248nm（KrF）、193nm（ArF）用于半導體先進制程（分辨率至20nm）；
? 極紫外（EUV）：13.5nm，用于7nm以下制程（只能正性膠適用）。
? 曝光方式：
? 接觸式/接近式：掩膜版與膠膜直接接觸（PCB、MEMS，低成本但精度低）；
? 投影式：通過物鏡聚焦（半導體，分辨率高，如ArF光刻機精度達22nm）。
全品類覆蓋與定制化能力
吉田半導體的光刻膠產品覆蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD光刻膠等全品類，適用于半導體、顯示面板、MEMS等多個領域。例如，其LCD正性光刻膠YK-200和水油光刻膠JT-2001可滿足0.45μm及以上線寬需求，支持客戶定制化工藝參數，尤其在柔性顯示（OLED）和Mini/Micro LED等新興領域表現突出。
技術亮點：通過自主研發的樹脂配方和光敏劑體系，實現了高分辨率（120nm）和高抗蝕性的平衡，部分指標（如線寬粗糙度LWR<3nm）接近國際主流產品水平。
國產化材料與工藝適配
公司采用進口原材料+本地化生產模式，關鍵樹脂單體、光敏劑等主要成分通過德國默克、日本信越等供應商采購，同時建立了超純提純工藝（雜質含量<1ppm），確保產品穩定性。此外，其光刻膠與國內主流光刻機（如上海微電子SSA800）、勻膠顯影機（如盛美上海）的兼容性已通過驗證，縮短客戶工藝調試周期。
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光刻膠（如液晶平板顯示器光刻膠）
- 液晶平板顯示器制造：在液晶平板顯示器（LCD）的生產過程中，光刻膠用于制作液晶盒內的各種精細圖案，包括像素電極、公共電極、取向層圖案等。這些圖案的精度和質量直接影響液晶顯示器的顯示效果，如分辨率、對比度、視角等。
- 有機發光二極管顯示器（OLED）制造：OLED 顯示器的制造同樣需要光刻膠來制作電極、像素定義層等關鍵結構。OLED 顯示器具有自發光、響應速度快等優點，而光刻膠能保障其精細的像素結構制作，提升顯示器的發光效率和顯示質量 。
主要優勢：細分領域技術突破與產業鏈協同
技術積累與自主化能力
公司擁有23年光刻膠研發經驗，實現了從樹脂合成、光引發劑制備到配方優化的全流程自主化。例如，其納米壓印光刻膠通過自主開發的樹脂體系，分辨率達3μm，適用于MEMS傳感器、光學器件等領域，填補了國內空白。
技術壁壘：掌握光刻膠主要原材料（如樹脂、光酸）的合成技術，部分原材料純度達PPT級，金屬離子含量低于0.1ppb，良率超99%。
產品多元化與技術化布局
產品線覆蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD光刻膠、半導體錫膏等，形成“光刻膠+配套材料”的完整體系。例如：
? LCD光刻膠：適配AMOLED、Micro LED等新型顯示技術，與京東方、TCL華星合作開發高分辨率產品，良率提升至98%。
? 半導體錫膏：供應華為、OPPO等企業，年采購量超200噸，用于5G手機主板封裝。
技術化延伸：計劃2025年啟動半導體用KrF光刻膠研發，目標進入中芯國際、長江存儲供應鏈。
質量控制與生產能力
通過ISO9001:2008質量體系認證，生產環境執行8S管理，原材料采用美、德、日進口高質量材料。擁有全自動化生產線，年產能達2000噸（光刻膠及配套材料），支持大規模訂單交付。
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技術研發：從配方到工藝的經驗壁壘
配方設計的“黑箱效應”
光刻膠配方涉及成百上千種成分的排列組合，需通過數萬次實驗優化。例如，ArF光刻膠需在193nm波長下實現0.1μm分辨率，其光酸產率、熱穩定性等參數需精確匹配光刻機性能。日本企業通過數十年積累形成的配方數據庫，國內企業短期內難以突破。
工藝控制的極限挑戰
光刻膠生產需在百級超凈車間進行，金屬離子含量需控制在1ppb以下。國內企業在“吸附—重結晶—過濾—干燥”耦合工藝上存在技術短板，導致產品批次一致性差。例如，恒坤新材的KrF光刻膠雖通過12英寸產線驗證，但量產良率較日本同類型產品低約15%。
EUV光刻膠的“代際鴻溝”
EUV光刻膠需在13.5nm波長下工作，傳統有機光刻膠因吸收效率低、熱穩定性差面臨淘汰。國內企業如久日新材雖開發出EUV光致產酸劑，但金屬氧化物基光刻膠（如氧化鋅）的納米顆粒分散技術尚未突破，導致分辨率只達10nm，而國際水平已實現5nm。
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