B.4.3.2送風(fēng)口處測量的送風(fēng)量為了排除送風(fēng)口局部氣流的擾動和氣流噴射的影響,建議采用風(fēng)罩測量末端過濾器或送風(fēng)散流器的總送風(fēng)量。可使用配有流量計的風(fēng)量罩直接測量,也可用風(fēng)罩出風(fēng)的風(fēng)速乘以有效面積求出送風(fēng)量。風(fēng)罩的上開口應(yīng)完全罩住過濾器或散流器;為了避免旁通漏...
單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數(shù)判斷是紊流的,所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學(xué)上的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室這個名詞是不貼切的,國外某些標(biāo)準(zhǔn)和文章也指出這一點,例如英國標(biāo)準(zhǔn)BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室,只是照顧習(xí)慣在括號中注明為...
B.2.1.3粒徑限制器為獲得測量或驗證U描述符所需的計數(shù)效率特性,可在計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外左側(cè)的離散粒子計數(shù)器(DPC)或凝聚核計數(shù)器的采樣管上,安裝一個粒徑限制器。改動后,計數(shù)器、采樣口與粒徑限制器的綜合計數(shù)效率曲線落在圖B.1的陰影區(qū)內(nèi)。粒...
相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶,而濕度低于30%則會讓人感覺干燥,皮膚皸裂,呼吸道不適以及情感上的不快。高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在...
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有...
②沉降菌的測試對單向流如5級凈化房間內(nèi)及層流工作臺測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于10分鐘后開始;對非單向流如7級、8級以上的凈化房間測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于30分鐘開始。a.采樣方法:將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點,打開培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基...
6.2.1潔凈室(區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差,并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。6.2.2不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。6.2.3潔凈室維持不同的壓差值所需的...
潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中,尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對無塵等級的要求比較高,因為現(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級的水準(zhǔn),隨便一粒灰塵掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損,甚至導(dǎo)致這個...
4.5.1有微振控制要求的潔凈廠房設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定:1在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處,應(yīng)按微振控制要求設(shè)計。2潔凈室與周圍輔助性站房內(nèi)有強(qiáng)烈振動的設(shè)備及連接管道應(yīng)采取主動隔振措施。3應(yīng)測定潔凈廠房內(nèi)、外各類振源對潔凈廠房精密設(shè)備、精密儀...
潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實現(xiàn)的。為此,測定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度...
A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應(yīng)位于測試點下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測試點,并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點操作時動作要輕,應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設(shè)備“清零”D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣,進(jìn)入采樣...
B.1.2.2空氣懸浮粒子計數(shù)規(guī)程將離散粒子計數(shù)器的采樣探頭放在預(yù)定位置,設(shè)定計數(shù)器的流量,選擇符合GB/T25915.1-2010規(guī)定的粒徑閾值。在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣[1],進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無...
每臺風(fēng)機(jī)出風(fēng)面至少1點平均風(fēng)速范圍:m/s±20%額定風(fēng)量測定用風(fēng)量罩測試送風(fēng)量風(fēng)量罩的上開口應(yīng)完全罩住過濾器或散流器C.產(chǎn)生氣溶膠位置:回風(fēng)口,風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口或發(fā)煙孔氣溶膠發(fā)生器與高效過濾器之間沒有濾器或已拆除D.產(chǎn)生氣溶膠設(shè)置溫度、供氣壓力及氣溶膠數(shù)量E.光度...
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有...
潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中,尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對無塵等級的要求比較高,因為現(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級的水準(zhǔn),隨便一粒灰塵掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損,甚至導(dǎo)致這個...
14.2.1潔凈廠房的平面、空間布置時,應(yīng)根據(jù)噪聲控制要求布置,宜集的的中布置發(fā)聲設(shè)備。14.2.2潔凈室(區(qū))內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲值超過規(guī)定的設(shè)備,應(yīng)根據(jù)設(shè)備的特性、外形尺寸等因素,采取降低聲源噪聲的隔聲設(shè)施。潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良...
B.2.1.2計數(shù)效率測量U描述符所用體系的計數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達(dá)標(biāo)區(qū),其中心對應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計數(shù)效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數(shù)效率允差的規(guī)定,是基于對...
4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置,并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進(jìn)行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房內(nèi)應(yīng)少設(shè)隔間,但在下列...
單向流潔凈室的流動狀態(tài)從雷諾數(shù)看是湍流,所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學(xué)中的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室一詞是不恰當(dāng)?shù)模瑖獾囊恍?biāo)準(zhǔn)和文章也指出了這一點。例如,英國標(biāo)準(zhǔn)BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號中表示。原聯(lián)...
4、懸浮粒子-微粒計數(shù)農(nóng)度A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應(yīng)位于測試點下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測試點,并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點操作時動作要輕,應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設(shè)備“清零”D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭...
B.3.3.3.2離散粒子計數(shù)器(DPC)測量使用離散粒子計數(shù)器測量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計數(shù)方法基本相同,不同點只有一處,由于只需要大粒子的計數(shù)數(shù)據(jù),因此對1μm以下粒子的儀器靈敏度無要求。注意離散粒子計數(shù)器的樣本需是直接采自采樣點的空氣;計數(shù)...
4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置,并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進(jìn)行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房內(nèi)應(yīng)少設(shè)隔間,但在下列...
5.1工藝布局5.1.1工藝平面應(yīng)與工藝要求的潔凈用房等級相適應(yīng),并應(yīng)防止食品、食品接觸面和食品包裝受到污染。原料、半成品、成品、生食和熟食應(yīng)在各自**的有完整分隔的生產(chǎn)區(qū)內(nèi)加工制作。5.1.2工藝設(shè)備布置應(yīng)符合生產(chǎn)流程要求,同類型設(shè)備宜集中布置。5.1.3工...
1、醫(yī)院潔凈手術(shù)部:風(fēng)速、換氣次數(shù)、靜壓差、潔凈度級別、溫濕度、噪聲、照度、細(xì)菌濃度。2、醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房:空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量、氣流流型、溫度、相對濕度、照度、噪聲、自凈時間、已安裝過濾器泄漏、浮游菌、沉降菌。3、電子工業(yè)潔凈廠房:空氣潔凈度等...
空氣潔凈度:這是潔凈車間環(huán)境檢測的**指標(biāo),通常通過檢測空氣中的塵埃粒子數(shù)來評估。不同潔凈等級的車間對塵埃粒子的限制不同,如潔凈度等級為100級的車間對大于等于5μm的塵粒有嚴(yán)格的計數(shù)要求。微生物指標(biāo):包括浮游菌、沉降菌等微生物的數(shù)量。這些微生物可能對產(chǎn)品質(zhì)量...
1當(dāng)生產(chǎn)工藝對溫度和濕度有特殊要求時,食品工業(yè)潔凈用房的溫度和濕度應(yīng)根據(jù)工藝要求確定。2當(dāng)生產(chǎn)工藝對溫度和濕度無特殊要求時,I級、Ⅱ級潔凈用房溫度應(yīng)為20℃~25℃,相對濕度應(yīng)為30%~65%;Ⅲ級、Ⅳ級潔凈用房溫度應(yīng)為18℃~26℃,相對濕度應(yīng)為30%~70...
4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置,并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進(jìn)行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房內(nèi)應(yīng)少設(shè)隔間,但在下列...
相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶,而濕度低于30%則會讓人感覺干燥,皮膚皸裂,呼吸道不適以及情感上的不快。高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在...
(三)空氣過濾器的泄露1、儀器設(shè)備及環(huán)境測量儀器塵埃粒子計數(shù)器、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計溫度下。2、抽樣高效過濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場前,生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗,并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應(yīng)該逐臺進(jìn)行檢漏,亂流潔凈室對于7級或更...
壓差檢測要求:(1)靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行,一直檢測到直通室外的房間。(3)測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可,測管口面與氣流流線平行。(4)所測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0...