（1）幾何精度檢測(cè) 可用于檢測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。（2）位置精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的誤差，而且還能通過(guò)RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償，比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間，并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時(shí)可比較大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床達(dá)到比較好精度，另外操作者無(wú)需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。光電探測(cè)器將光信號(hào)轉(zhuǎn)為電信號(hào)，經(jīng)電路處理提取差頻變化量，然后通過(guò)相位比較或脈沖計(jì)數(shù)來(lái)計(jì)算位移。常熟附近雙頻激光干涉儀單價(jià)

多普勒效應(yīng)：當(dāng)測(cè)量鏡移動(dòng)時(shí)，測(cè)量光的頻率變?yōu)閒1±Δf，與參考光f2干涉后形成差頻信號(hào)|(f1±Δf)-f2|，該信號(hào)反映出位移引起的頻率變化。信號(hào)檢測(cè)：光電探測(cè)器將光信號(hào)轉(zhuǎn)為電信號(hào)，經(jīng)電路處理提取差頻變化量，然后通過(guò)相位比較或脈沖計(jì)數(shù)來(lái)計(jì)算位移。二、主要特點(diǎn)精度高：雙頻激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量，即使不做細(xì)分也可達(dá)到微米（μm）量級(jí)，細(xì)分后更可達(dá)到納米（nm）量級(jí)。應(yīng)用范圍廣：雙頻激光干涉儀可用于長(zhǎng)度的精密測(cè)量，配上適當(dāng)?shù)母郊€可測(cè)量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等。相城區(qū)安裝雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹測(cè)量精度不受空氣湍流的影響，無(wú)需預(yù)熱時(shí)間。

激光的出現(xiàn)在世界計(jì)量史上具有重大的意義。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源，由于它的相干長(zhǎng)度很大，干涉儀的測(cè)量范圍可以**的擴(kuò)展；而且由于它的光束發(fā)散角小，能量集中，因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收，變?yōu)殡娪嵦?hào)，并由計(jì)數(shù)器一個(gè)不漏的記錄下來(lái)，從而提高了測(cè)量速度和測(cè)量精度，比如說(shuō)我國(guó)自行設(shè)計(jì)與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長(zhǎng)儀，可以在20分鐘之內(nèi)把1米線紋尺上1001條刻線依次自動(dòng)鑒定完畢，精度達(dá)到±0.2μm，這就是激光干涉儀的成功例證。

激光干涉測(cè)量?jī)x是一種基于激光干涉原理的高精度計(jì)量?jī)x器，廣泛應(yīng)用于工程與技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域 [1-2]。該儀器通過(guò)測(cè)量激光波長(zhǎng)變化實(shí)現(xiàn)幾何量的檢測(cè)，具備抗干擾能力強(qiáng)、精度高等特點(diǎn)。主要應(yīng)用場(chǎng)景包括數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)等，通過(guò)與不同光學(xué)組件結(jié)合，可檢測(cè)線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月，激光干涉測(cè)量?jī)x的技術(shù)參數(shù)包括 [1]：標(biāo)準(zhǔn)量程：0-40米測(cè)量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測(cè)量精度：0.2%其原因在于它是一種直流測(cè)量系統(tǒng)，必然具有直流光平和電平零漂的弊端。

環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng)：雙頻激光干涉儀采用交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大，即使光強(qiáng)衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。因此，它既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)使用，也可在普通車(chē)間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)速高：現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1m/s，有的甚至達(dá)到十幾m/s，適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量。三、應(yīng)用領(lǐng)域幾何量精密測(cè)量：用于長(zhǎng)度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測(cè)量。同時(shí)，既支持幾十米大量程的檢測(cè)（如大型機(jī)械），也可對(duì)手表零件等微米級(jí)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行測(cè)量。它通過(guò)將光束分成兩部分，分別經(jīng)過(guò)不同的路徑后再合并，形成干涉圖樣。常熟附近雙頻激光干涉儀單價(jià)

雙頻激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。常熟附近雙頻激光干涉儀單價(jià)

光源：提供相干光，通常是激光，因?yàn)榧す饩哂懈叨鹊南喔尚裕軌虍a(chǎn)生穩(wěn)定的干涉條紋。分束器：將光束分成兩部分，通常使用半透半反鏡或分光棱鏡。反射鏡：調(diào)節(jié)光程差，確保兩束光在干涉屏（或檢測(cè)器）上相遇時(shí)具有合適的相位差。干涉屏（或檢測(cè)器）：顯示干涉結(jié)果，或?qū)⒏缮婧蟮墓馐D(zhuǎn)換為電信號(hào)進(jìn)行進(jìn)一步分析。三、分類(lèi)干涉儀可以按照不同的分類(lèi)原則進(jìn)行分類(lèi)，常見(jiàn)的分類(lèi)方法包括：按結(jié)構(gòu)區(qū)分：分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀。單路徑干涉儀中，干涉的波通過(guò)同一路徑傳播，如Sagnac干涉儀、等傾干涉和等厚干涉等；而多路徑干涉儀中，干涉的波通過(guò)不同的路徑傳播，如邁克爾遜干涉儀。常熟附近雙頻激光干涉儀單價(jià)

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