分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種：單頻激光干涉儀：在20世紀60年代中期出現，**初用于檢定基準線紋尺，后用于在計量室中精密測長。它對環境要求較高，周圍大氣需處于穩定狀態，以避免空氣湍流對測量結果的影響。雙頻激光干涉儀：出現于1970年，適宜在車間中使用。它應用頻率變化來測量位移，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，因此抗干擾能力強。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度，也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統。三、應用現代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s，有的甚至于十幾m/s，適于高速動態測量。相城區安裝雙頻激光干涉儀產品介紹

激光干涉儀具有廣泛的應用領域，包括但不限于：科學研究：用于檢測引力波、測量微小位移和振動等。工業制造：用于精密機械加工、質量控制和機床校準等。在機床校準中，激光干涉儀能夠測量機床的線性定位誤差、直線度誤差、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及速度、加速度、振動等參數，并評估機床的動態特性。計量學：用于長度標準的校準。通信：用于光纖傳感和信號處理。四、主要特點高精度：激光干涉儀能夠實現亞納米級的測量精度，非常適合各種高精度測量應用。工業園區通用雙頻激光干涉儀量大從優即使不做細分也可達到μm量級，細分后更可達到nm量級。

折射率測定兩光束的幾何路程保持不變，介質折射率變化也可導致光程差的改變，從而引起條紋移動。瑞利干涉儀就是通過條紋移動來對折射率進行相對測量的典型干涉儀。應用于風洞的馬赫-秦特干涉儀被用來對氣流折射率的變化進行實時觀察。波長的測量任何一個以波長為單位測量標準米尺的方法也就是以標準米尺為單位來測量波長的方法。以國際米為標準，利用干涉儀可精確測定光波波長。法布里-珀**涉儀（標準具）曾被用來確定波長的初級標準（鎘紅譜線波長）和幾個次級波長標準，從而通過比較法確定其他光譜線的波長。

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進行精密測量，也可以對手表零件等微小運動進行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度．直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導體光刻技術的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。雙頻激光干涉儀的發明使激光干涉儀擺脫了計量室的束縛，更為廣泛的應用于工業生產和科學研究中。

激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設計的光學精密計量儀器，主要用于檢測光學元件表面面形精度和光學材料的均勻性 [1] [3-4]。該設備測量精度可達到1/10-1/100波長量級，采用半導體激光器（635nm）作為光源，具有防塵效果好、結構緊湊等特點，適用于光學車間、實驗室等場景的批量檢測 [3-4]。上海乾曜光學科技有限公司與北京海富達科技有限公司均具備相關生產能力，其中G150M、G200M及60-LP等型號產品采用標準化測量口徑設計，可滿足不同使用場景需求 [2-4]。截至2025年，相關企業產品已服務國內外科研院所及工業企業 [2]。光束分割：通過分束器將激光束分成兩部分，通常稱為參考光束和測量光束。常熟附近雙頻激光干涉儀單價

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干涉圖樣分析：通過觀察干涉條紋的變化，可以獲取關于物**移、形狀、厚度等信息。激光干涉儀廣泛應用于精密測量、材料科學、光學研究、工程檢測等領域。常見的類型包括邁克爾遜干涉儀、法布里-佩**涉儀和激光位移傳感器等。由于其高精度和高靈敏度，激光干涉儀在科學研究和工業應用中都具有重要的地位。干涉儀是一種用于測量光波或其他波動現象的儀器，利用干涉原理來分析波的特性。干涉是指兩束或多束波在空間中相遇時相互疊加，形成新的波形的現象。干涉儀廣泛應用于物理學、工程學、光學等領域。相城區安裝雙頻激光干涉儀產品介紹

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