真空腔體的維護工作內容：（1）真空腔體安裝好后，通入相應量的氮氣保壓30分鐘，檢查有無泄漏，如發現有泄漏請用肥皂沫查找管路、管口泄漏點，找出后放掉氣體擰緊，再次通入氮氣保壓試驗，無泄漏后開始正常工作。（2）當降溫冷卻時，可用水經冷卻盤管進行內冷卻，禁止速冷，以免過大的溫差應力，造成冷卻盤管、釜體產生裂紋。工作時當釜內溫度大于100℃時，磁力攪拌器與釜蓋間的水套應通冷卻水，使得水溫小于35℃，以免磁鋼退磁。（3）保護裝置：采用正拱型金屬爆破片，材質為不銹鋼，出廠時已試驗好，不得隨意調整。如果已爆破，需重新更換，更換期限由使用單位根據本單位的實際情況確定，對于大于爆破片標定爆破壓力而未爆破的應更換，經常使用建議不大于爆破片的下限壓力的80%，更換時應注意爆破片凸面向上。（4）反應完畢后，先進行冷卻降溫，再將真空腔體內的氣體通過管路泄放到室外，使釜內壓力降至常壓，嚴禁帶壓拆卸，再將主螺栓、螺母對稱地松開卸下，然后小心的取下釜蓋（或升起釜蓋）置于支架上，卸蓋過程中應特別注意保護密封面。（5）釜內的清冼：每次真空腔體操作完畢后，應經常清洗并保持干凈，不允許用硬物質或表面粗糙的物品進行清洗；真空腔體是保持內部為真空狀態的容器，真空腔體的制作要考慮容積、材質和形狀。四川半導體真空腔體設計

焊接是真空腔體制作中非常重要的環節之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發作化學反應從而影響焊接質量，一般選用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴發保護氣體氬氣，以避免熔化后的高溫金屬發作氧化反應。超高真空腔體的氬弧焊接，原則上有必要選用內焊，即焊接面是在真空一側，避免存在死角而發作虛漏。真空腔體不允許內外兩層焊接和兩層密封。真空腔體的內壁外表吸附大量的氣體分子或其他有機物，成為影響真空度的放氣源。為完成超高真空，要對腔體進行150～250℃的高溫烘烤，以促使材料外表和內部的氣體盡快放出。烘烤方法有在腔體外壁環繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳子中。比較經濟簡單的烘烤方法是運用加熱帶，加熱帶的外面再用鋁箔包裹，避免熱量散失的一起也可使腔體均勻受熱。昆明鋁合金真空腔體生產廠家為實現超高真空，要對腔體進行150—250℃的高溫烘烤，以促使材料表面和內部的氣體盡快放出。

真空腔體的制作工藝介紹：為了減小腔體內壁的表面積，通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統的腔體，更多的是利用電解拋光來進行表面處理。焊接是真空腔體制作中重要的環節之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發生化學反應從而影響焊接質量，通常采用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴射保護氣體氬氣，以防止熔化后的高溫金屬發生氧化反應。超高真空腔體的氬弧焊接，原則上必須采用內焊，即焊接面是在真空一側，以免存在死角而發生虛漏。

真空腔體操作前的準備工作：1、檢查水沖泵（前級泵）水箱液位是否達水箱的3/4以上，若不足則補足。2、檢查水箱內所使用的水是否清潔，不允許用含有泥沙的污水，以免堵塞管路，真空腔體增加水泵葉輪磨損、增加電機負荷造成故障，影響水沖泵使用壽命。3、檢查中間泵及主泵泵體內的潤滑油油面高，須達油窗的3/4以上，同時檢查潤滑油的顏色，出現乳白色或黑色雜質較多則通知機修替換潤滑油。4、真空腔體檢查中間泵及主泵循環冷卻水水路是否完好，打開循環冷卻水進出口閥門，檢查循環冷卻進出水是否正常。5、檢查中間泵底部緩沖罐排污閥門是否關閉。6、檢查機組電路完好及控制柜各項指示等是否正常。7、檢查機組觸點壓力表中級泵、主泵啟動壓力是否正常（中級泵啟動入口壓力為0.065Mpa以上，主泵啟動入口壓力為0.085Mpa以上）。8、待以上事項檢查完畢確認無誤后方可啟動真空腔體機組；真空腔體在一些自動化設備中起著至關重要的作用。

真空腔體一般是指通過真空裝置對反應釜進行抽真空，讓物料在真空狀態下進行相關物化反應的綜合反應容器，可實現真空進料、真空脫氣、真空濃縮等工藝。可根據不同的工藝要求進行不同的容器結構設計和參數配置，實現工藝要求的真空狀態下加熱、冷卻、蒸發、以及低高配的混配功能，具有加熱快、抗高溫、耐腐蝕、環境污染小、自動加熱、使用方便等特點，是食品、生物制藥、精細化工等行業常用的反應設備之一，用來完成硫化、烴化、氫化、縮合、聚合等的工藝反應過程。真空腔體的結構特征如下：1、結構設計需能在真空狀態下不失穩，因為真空狀態下對鋼材厚度和缺陷要求很嚴格；2、釜軸的密封采用特殊衛生級機械密封設計，也可采用填料密封和磁力密封，密封程度高，避免外部空氣進入影響反應速度，同時使得物料不受污染；3、采用聚氨酯和巖棉作為保溫材料，并配備衛生級壓力表；4、真空腔體反應過程中可采用電加熱、內外盤管加熱、導熱油循環加熱等加熱方式，以滿足耐酸、耐堿、抗高溫、耐腐蝕等不同工作環境的工藝需求。5、真空系統包括真空泵、循環水箱、緩沖罐、單向閥等組成，是一個連鎖系統，配合使用。中真空主要是力學應用，如真空吸引、重、運輸、過濾等；山東真空腔體設計

超高真空腔體的氬弧焊接，原則上有必要選用內焊，即焊接面是在真空一側，避免存在死角而發作虛漏。四川半導體真空腔體設計

真空腔是·種用于實驗軍和工業生產中的重要設備，它的工作原理是利用真空環境下的特殊物理和化學性質米進行各種實驗和加工。真空腔的主要作用是在無氧、無塵、無水和無氣的環境下進行實驗和加工，以避免外界環境對實驗和加工的干擾和影響。真空腔的工作原理是通過抽取腔體內的氣體，使其壓力低于大氣壓，從而形成真空環境。真空腔通常由一個密的腔體和一個真空泵組成。真空泵通過抽取腔體內的氣體，使共壓力逐漸降低，直到達到所需的真空度。真空度是指腔體內的氣體分子數密度，通常用帕斯卡(Pa)或號巴(mbar)表示。四川半導體真空腔體設計