片式真空等離子清洗機針對半導體行業(yè),DB/WB工藝、RDL工藝、Molding工藝、FlipChip(FC)倒裝工藝等,能夠大幅提高其表面潤濕性,保證后續(xù)工藝質(zhì)量,從而提高封裝工藝的可靠性。設備優(yōu)勢:1.一體式電極板結構設計,等離子體密度高,均勻性好,處理效果佳2.雙工位處理平臺,四軌道同時上料,有效提升產(chǎn)能3.可兼容多種彈匣尺寸,可自動調(diào)節(jié)寬度,提升效率并具備彈匣有無或裝滿報警提示功能4.工控系統(tǒng)控制,一鍵式操作,自動化程度高。行業(yè)應用:1.金屬鍵合前處理:去除金屬焊盤上的有機污染物,提高焊接工藝的強度和可靠性2.LED行業(yè):點銀膠、固晶、引線鍵合前、LED封裝等工序中可提高粘和強度,減少氣泡,提高發(fā)光率3.PCB/FPC行業(yè):金屬鍵合前、塑封前、底部填充前處理、光刻膠去除、基板表面活化、鍍膜,去除靜電及有機污染物在光伏電池制程中,等離子表面處理可用于玻璃基板表面活化,陽極表面改性,涂保護膜前處理等。浙江晟鼎等離子清洗機作用
塑料是以高分子聚合物為主要成分,添加不同輔料,如增塑劑、穩(wěn)定劑、潤滑劑及色素等的材料,滿足塑料是以高分子聚合物為主要成分,人們?nèi)粘I畹亩鄻踊透黝I域的需求。因此需要對塑料表面的性質(zhì)如親水疏水性、導電性以及生物相容性等進行改進,對塑料表面進行改性處理。等離子體是物質(zhì)的第四態(tài),是由克魯克斯在1879年發(fā)現(xiàn),并在1928年由Langmuir將“plasma”一詞引入物理學中,用于表示放電管中存在的物質(zhì)。根據(jù)其溫度分布不同,等離子體通常可分為高溫等離子體和低溫等離子體(LTP),低溫等離子體的氣體溫度要遠遠低于電子溫度,使其在材料表面處理領域具有極大的競爭力。低溫等離子體等離子體的一種,主要成分為電中性氣體分子或原子,含有高能電子、正、負離子及活性自由基等,可用于破壞化學鍵并形成新鍵,實現(xiàn)材料的改性處理。并且,其電子溫度較高,而氣體溫度則可低至室溫,在實現(xiàn)對等離子體表面處理要求的同時,不會影響材料基底的性質(zhì),適合于要求在低溫條件下處理的生物醫(yī)用材料。低溫等離子體可在常溫常壓下產(chǎn)生,實現(xiàn)條件簡單、消耗能量小、對環(huán)境和儀器系統(tǒng)要求低,易于實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)及應用。浙江晟鼎等離子清洗機作用等離子表面處理機常用的氣體為:空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、CF4等。
在芯片封裝技術中,等離子體清洗已成為提高成品率的必由之路。先進的倒裝芯片設備在市場上越來越突出,微波等離子體工藝在穿透模具下面的微小間隙方面。所有表面,無論模具下的體積大小,都被完全調(diào)節(jié)。達因特生產(chǎn)的等離子體清洗機都能很好的處理,提供粘合性和顯著提高的粘附速度。適用范圍遠遠超出20x20毫米和50微米凸起的模具尺寸。用于顯示器制造的大型基板的均勻等離子體清洗需要一個可擴展的系統(tǒng)概念。等離子體系統(tǒng)正是為這類應用而設計的,能夠提供快速、均勻的清洗或剝離效果。等離子體過程得益于高的自由基濃度和等離子體密度以及低的過程誘導加熱。良好的均勻性對于在單個基板上保持良好的過程控制以及運行到運行的重復性至關重要。
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)3種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下可以以第四中狀態(tài)存在,如太陽表面的物質(zhì)和地球大氣中電離層中的物質(zhì)。這類物質(zhì)所處的狀態(tài)稱為等離子體狀態(tài),又稱為物質(zhì)的第四態(tài)。等離子體中存在下列物質(zhì):處于高速運動狀態(tài)的電子;處于jihuo狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;分子解離反應過程中生成的紫外線;未反應的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。等離子清洗機是一種環(huán)保高效的表面處理設備,通過激發(fā)氣體產(chǎn)生等離子態(tài),去除材料表面污染物。
plasma等離子清洗機設備等離子清洗機采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。等離子清洗機外接一臺真空泵,工作時清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,短時間的清洗就可以使有機污染物被徹底地清洗掉,同時污染物被真空泵抽走,其清洗程度達到分子級。等離子清洗機除了具有超清洗功能外,在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能,等離子體作用于材料表面,使表面分子的化學鍵發(fā)生重組,形成新的表面特性。對某些有特殊用途的材料,在超清洗過程中等離子清洗機的輝光放電不但加強了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。plasma 等離子清洗機設備已應用于各種電子元件的制造,等離子清洗機及其清洗技術也應用在光學工業(yè)、機械與航天工業(yè)、高分子工業(yè)、污染防治工業(yè)和量測工業(yè)上,而且是產(chǎn)品提升的關鍵技術,比如說光學元件的鍍膜、復合材料的中間層、織布或隱性鏡片的表面處理、微感測器的制造,超微機械的加工技術、人工關節(jié)、骨骼或心臟瓣膜的抗摩耗層等皆需等離子技術的進步,才能開發(fā)完成。大氣射流等離子清洗機?分為大氣射流直噴式等離子清洗機和大氣射流旋轉式等離子清洗機。江蘇國產(chǎn)等離子清洗機量大從優(yōu)
大氣等離子清洗機是等離子清洗設備的一種,應用非常廣,設備兼容性非常不錯。浙江晟鼎等離子清洗機作用
在微電子封裝領域,Plasma封裝等離子清洗機發(fā)揮著至關重要的作用。隨著集成電路技術的不斷發(fā)展,芯片尺寸不斷縮小,對封裝過程中的表面清潔度要求也越來越高。傳統(tǒng)的濕法清洗方法難以徹底去除芯片表面的微小顆粒和有機物殘留,而Plasma封裝等離子清洗機則能夠在分子級別上實現(xiàn)表面的深度清潔,有效去除這些污染物,提高封裝的可靠性和穩(wěn)定性。此外,等離子體還能對芯片表面進行改性,提高其與封裝材料的粘附力,降低封裝過程中的失效風險。因此,Plasma封裝等離子清洗機已成為微電子封裝生產(chǎn)線上的必備設備。浙江晟鼎等離子清洗機作用