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福建專業BOE蝕刻液溶劑

來源: 發布時間:2025-06-12

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    然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱,待加熱到確定溫度后,放入氮化硅樣片進行蝕刻;蝕刻完后,取出樣片采用熱超純水清洗和氮氣吹干后,使用橢圓偏振光譜儀對蝕刻前所取位置的6個點的厚度進行測量,計算蝕刻前后6個取點的厚度差值,對比6個點之間的厚度差值的差異。與現有的使用磷酸作為蝕刻液相比,本發明的有益效果是:醇醚類和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤性和降低磷酸溶液的表面張力,有效提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕性和蝕刻均勻性。具體實施方式下面結合具體實施例,進一步闡述本發明,對本發明做進一步詳細的說明,但不限于這些實施例。本發明的蝕刻液配制時選擇的磷酸濃度為85%,蝕刻溫度為160℃,蝕刻時間為10min。先對所配制蝕刻液的表面張力進行檢測,然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮氣吹干后,進行接觸角的測量;蝕刻前使用超純水清洗和氮氣吹干氮化硅樣片后,在氮化硅樣片上取6個不同位置的點對其厚度進行測量;蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮氣吹干氮化硅樣片后,取與蝕刻前相同位置的6個點進行厚度測量。實施例1本發明的實施例按蝕刻液總質量為400g進行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中。上海無機BOE蝕刻液銷售廠家BOE蝕刻液的溶液配比。

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BOE蝕刻液的發展趨勢如何。福建專業BOE蝕刻液溶劑

    本實用新型屬于廢液處理領域,尤其涉及一種酸性蝕刻液電解后液處理系統。背景技術:酸性蝕刻液是用于印制電路板線路制作和多層板內層制作的蝕刻液,隨著電路板行業的迅速發展,產生的廢液量越來越大,發掘的污染物種類也越來越多,對環境造成巨大的危害,此類問題也成為社會的重要課題。為了減少甚至杜絕此類污染的發生,我們需要對酸性蝕刻液進行回收循環利用。目前對于酸性蝕刻廢液的再生利用大多采用化學或電化學的方法,但傳統的方法廢液中總銅的含量不斷增大,比重增加,必須排掉一部分廢液或者補加子液和水來控制參數,這樣污染大,影響環境,而且還會造成銅和酸的浪費。技術實現要素:本實用新型所要解決的技術問題為如何通過簡單、低成本的技術實現種酸性蝕刻液電解后廢液的再生利用。為解決上述技術問題,本實用新型是這樣實現的,一種酸性蝕刻液電解后液處理系統,包括:電解槽,具有一出液口和出氣口,且內置有酸性蝕刻液,用于對所述酸性蝕刻液進行電解提銅,產生氯氣,得到電解后液;再生液調配缸,具有進液口和循環出液口,所述進液口通過管道與所述電解槽的出液口連接以接收電解后液;射流器,其進氣口通過導氣管與所述電解槽的出氣口連接以接收所述氯氣。福建專業BOE蝕刻液溶劑

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