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來源: 發布時間:2024-03-18

    從而在玻璃側部提供支撐效果,通過所述底支撐件43和所述側支撐件44實現玻璃在所述玻璃加工治具4上的支撐穩定效果。較佳的,所述底支撐件43和所述側支撐件44可均采用ptfe材質。較佳的,所述側支撐件44設置為叉狀型結構,即所述側支撐件44包括兩叉腳,所述玻璃側邊邊緣設置于兩所述叉腳間,兩所述叉腳在一端連接,兩所述叉腳間距離從連接端向非連接端的方向逐漸增大,兩所述叉腳間的大距離大于玻璃的厚度,限制玻璃兩對應側部邊緣的兩所述側支撐件44之間的水平距離大于玻璃兩側部邊緣之間的水平距離,即當玻璃通過兩側的所述側支撐件44進行支撐限制時,玻璃的兩側部邊緣在兩所述叉腳間空間內均具有一定的調整間隙,從而在所述玻璃加工治具4在所述腔室31內往復運動,玻璃的兩側部邊緣相較于所述側支撐件44進行一定的位置移動,從而避免所述側支撐件44長期于玻璃的同一位置接觸緊貼。所述側支撐件44的結構設置,使所述玻璃加工治具4在所述腔室31內沿直線往復運動的過程中,所述側支撐件44與玻璃之間的接觸點發生變化,從而避免所述側支撐件44與玻璃之間的接觸點因所述側支撐件44的長期接觸造成接觸點無法被噴淋液噴淋,若接觸點無法被噴淋,易造成玻璃的減薄缺陷。去除涂層,減薄用清洗劑是您的得力助手。浙江哪里減薄用清洗劑生產

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    磁轉子12放置在待加工部件20的待加工表面上,用于通過旋轉對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨,對待加工表面進行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉,因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力,降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷??蛇x地,本發明實施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當然,本發明并不限于此,在其他實施例中,待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進行鍵合固定。基于此,如圖2所示,本發明實施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14,該熱板14設置在托盤10底部,用于對托盤10進行加熱,以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地,將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,之后,將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上,將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強于待加工部件20上進行鍵合,鍵合時間20min。本發明實施例中,采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,來對待加工部件20的待加工表面進行拋光。需要說明的是。江蘇清洗效果好的減薄用清洗劑哪里買選擇高效減薄用清洗劑,為您的生產線注入新活力。

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    圖1為本發明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結構示意圖;圖2為本發明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖;圖3為本發明實施例提供的一種磁轉子的結構示意圖;圖4為本發明實施例提供一種磁轉子的旋轉方式的示意圖;圖5為本發明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發明的思想,為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂,下面將結合本發明實施例中的附圖,對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發明保護的范圍。本發明實施例提供了一種拋光減薄裝置,用于對inp基晶圓等部件進行拋光減薄,如圖1所示,包括托盤10、噴頭11和磁轉子12,當然,本發明實施例中的拋光減薄裝置還包括反應室13等,托盤10、噴頭11和磁轉子12等在反應室13內進行拋光和減薄反應。其中,托盤10,可選為石英托盤,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,以對待加工表面進行拋光。

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