對比項 傳統滾鍍 半導體滾鍍 對象 小型金屬零件(螺絲、紐扣等) 晶圓、芯片、微型半導體元件 精度 微米級 納米級(≤100nm) 潔凈度 普通工業環境 無塵室(Class100~1000) 工藝控制 電流/時間粗調 實時閉環控制(電流、流量、溫度) 鍍液類型 酸性/堿性鍍液 高純度鍍液(低雜質)
大尺寸晶圓兼容:適配12英寸(300mm)晶圓,向18英寸過渡。環保鍍液:無物、低毒配方,減少廢水處理壓力。智能化集成:AI工藝優化:通過機器學習預測鍍層缺陷。與CMP(化學機械拋光)、PVD設備聯動,形成全自動金屬化產線
半導體滾鍍設備是封裝與芯片制造的關鍵裝備,通過精密旋轉與鍍液控制,實現納米級金屬鍍層的均勻沉積。其技術在于潔凈環境下的高精度工藝控制 模塊化電鍍設備支持槽體自由組合,可快速切換掛鍍、滾鍍模式,靈活適配多品種小批量生產需求。微弧氧化電鍍設備價格
是電鍍自動化生產系統的控制單元,主要用于協調龍門機械手、電鍍槽、電源系統、液位/溫度傳感器等設備的運行,確保電鍍工藝精細執行。
特性說明:主要電器采用西門子及三菱PLC、歐姆龍、富士電器等品牌,每一臺行車可自動、半自動轉換,開放式自由程序選擇,智能控制管理,在電腦和人機界面觸摸屏對數據實時處理及進行有效監控,設計科學合理、緊湊、自動化程度高;用于ABS塑料、汽車、五金、電子、衛浴、燈飾家電等行業 微弧氧化電鍍設備價格檢測設備配備 X 射線測厚儀與 pH 傳感器,在線監測鍍層厚度及藥液參數,實時反饋并修正工藝偏差。
是一種于半導體制造中金屬化工藝的精密設備,主要用于在半導體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學或化學鍍工藝,實現高精度、高一致性的金屬覆蓋,滿足集成電路封裝、先進封裝及微機電系統等領域的特定需求
與傳統滾鍍不同,半導體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導體材料的兼容性。
1.金屬互連:在晶圓上形成銅導線。
2.凸塊制備:沉積錫、銅、金等材料,用于芯片與基板的電氣連接。
3.阻擋層/種子層鍍覆:鍍鈦、鉭等材料,防止金屬擴散并增強附著力。
1.電鍍槽:
材質:耐腐蝕材料,避免污染鍍液
鍍液循環系統:維持鍍液成分均勻,過濾顆粒雜質
2.旋轉載具:
晶圓固定裝置:真空吸附或機械夾持,確保晶圓平穩旋轉
轉速控制:通過伺服電機調節轉速,優化鍍層均勻性
3.陽極系統:
可溶性/不溶性陽極:銅、鉑等材料,依鍍層需求選擇
陽極位置調節:控制電場分布,減少邊緣效應
4.供液與噴淋系統:
多點噴淋頭:均勻分配鍍液至晶圓表面,避免氣泡滯留
流量控制:精確調節鍍液流速,匹配不同工藝需求
5.控制系統:
PLC/工控機:集成溫度、pH值、電流密度等參數監測與反饋。
配方管理:存儲不同鍍層的工藝參數
是一種高效、智能化的電鍍生產系統,通過龍門機械手實現工件的全流程自動化傳輸與精細加工,廣泛應用于金屬表面處理行業。
一、設備結構與組成龍門架與機械手龍門桁架:橫跨電鍍槽上方,搭載伺服驅動的機械臂,實現三維空間內的精確定位(重復精度±0.1mm)。夾具系統:根據工件形狀(如螺絲、連接器、汽車零件)定制夾具,確保抓取穩固。電鍍槽組包含 前處理槽(除油、酸洗)、電鍍槽(鍍鋅、鍍鎳等)、后處理槽(鈍化、烘干)等,槽位數量可按工藝擴展(如8~20槽)。槽內配備液位傳感器、溫控裝置及循環過濾系統,保障鍍液穩定性。控制系統PLC+HMI:控制器預設工藝參數(電流、時間、溫度),觸摸屏實時監控運行狀態。智能調度算法:優化機械手路徑,減少空載時間,提升產能(如每小時處理500~2000件) 前處理的超聲波除油設備結合堿性洗液,高頻振動剝離頑固油污,提升復雜結構工件清潔效果。
廢氣處理設備是電鍍設備不可或缺的配套設施,在電鍍生產過程中發揮著重要作用,具體關系如下:
電鍍過程中會產生如酸霧、堿霧、物氣體等有害廢氣。若不進行處理,這些廢氣會彌漫在車間內,不僅會對操作人員的身體健康造成嚴重危害。廢氣處理設備通過收集和凈化這些有害廢氣,能將車間內的空氣質量維持在安全標準范圍內,同時確保排放到大氣中的廢氣符合環保要求,從而保護環境和人員健康。
電鍍車間內的酸性或堿性廢氣具有腐蝕性,長期暴露在這些廢氣中,電鍍設備如鍍槽、整流器、加熱裝置等的金屬部件會被腐蝕,導致設備的使用壽命縮短,維修成本增加。
廢氣處理設備有效去除有害廢氣,減少對電鍍設備的腐蝕,保障電鍍生產的穩定進行。
如果車間內廢氣彌漫,空氣中的灰塵、雜質等容易吸附在待鍍工件表面,影響鍍層與工件的結合力,導致鍍層出現麻點、、起皮等缺陷,降低電鍍產品的質量和良品率。廢氣處理設備有助于保持車間內空氣的清潔,減少空氣中雜質對鍍件的污染
隨著環保法規的日益嚴格,電鍍企業必須確保其生產過程中的廢氣排放達到國家和地方的環保標準。
鍍鉻設備配置鉛銻合金陽極與陽極袋,過濾陽極泥渣,防止雜質污染鍍液,維持硬鉻鍍層高硬度。江蘇防爆型電鍍設備
貴金屬電鍍設備配備凈化循環系統,嚴格把控鍍金液雜質含量,滿足芯片鍵合線的超高純度要求。微弧氧化電鍍設備價格
集氣罩:根據前處理設備形狀、廢氣散發特點定制,如槽邊側向集氣罩等,可高效收集廢氣,常見材質有 PP 等耐腐蝕材料 。
通風管道:多選用耐腐蝕的 PP 材質,用于連接抽風設備各部件,將廢氣輸送至處理設備,其設計需考慮廢氣流量、阻力等因素 。
引風機:常安裝在輸送通道出風口處,為廢氣的抽取和輸送提供動力 ,可根據實際需求選擇不同規格和性能的引風機。
此外,一些抽風裝置還可能配備過濾處理箱、活性炭吸附網板等,用于對廢氣進行初步過濾、吸附,減少大顆粒雜質等對風機的損害 。 微弧氧化電鍍設備價格