北京光刻膠工廠
來源：
發布時間：2025-06-17
國家大基金三期：注冊資本3440億元，明確將光刻膠列為重點投資領域，計劃投入超500億元支持樹脂、光引發劑等原料研發，相當于前兩期投入總和的3倍。
地方專項政策：湖北省對通過驗證的光刻膠企業給予設備采購補貼+稅收減免，武漢太紫微憑借全流程國產化技術獲中芯國際百萬級訂單；福建省提出2030年化工新材料自給率達90%，光刻膠是重點突破方向。
研發專項：科技部“雙十計劃”設立20億元經費，要求2025年KrF/ArF光刻膠國產化率突破10%，并啟動EUV光刻膠預研。
聚焦封裝需求，吉田公司提供從光刻膠到配套材料的一站式服務。北京光刻膠工廠
市場拓展
? 短期目標：2025年前實現LCD光刻膠國內市占率10%，半導體負性膠進入中芯國際、華虹供應鏈，納米壓印膠完成臺積電驗證。
? 長期愿景：成為全球的半導體材料方案提供商，2030年芯片光刻膠營收占比超40%，布局EUV光刻膠和第三代半導體材料。
. 政策與產業鏈協同
? 受益于廣東省“強芯工程”和東莞市10億元半導體材料基金，獲設備采購補貼（30%）和稅收減免，加速KrF/ArF光刻膠研發。
? 與松山湖材料實驗室、華為終端建立聯合研發中心，共同攻關光刻膠關鍵技術，縮短客戶驗證周期（目前平均12-18個月）。
. 挑戰與應對
? 技術壁壘：ArF/EUV光刻膠仍依賴進口，計劃2026年建成中試線，突破分辨率和靈敏度瓶頸（目標曝光劑量<10mJ/cm2）。
? 供應鏈風險：部分原材料（如樹脂）進口占比超60%，正推進“國產替代計劃”，與鼎龍股份、久日新材建立戰略合作為原材料供應。
沈陽阻焊光刻膠供應商吉田半導體全系列產品覆蓋，滿足多元化需求。
光刻膠的主要應用領域
光刻膠是微電子制造的主要材料，廣泛應用于以下領域：
半導體制造
? 功能：在晶圓表面形成微細電路圖案，作為蝕刻或離子注入的掩膜。
? 分類：
? 正性光刻膠：曝光區域溶解于顯影液，形成與掩膜版一致的圖案（主流，分辨率高）。
? 負性光刻膠：未曝光區域溶解，形成反向圖案（用于早期工藝，耐蝕刻性強）。
? 技術演進：隨制程精度提升，需匹配不同曝光波長（紫外UV、深紫外DUV、極紫外EUV），例如EUV光刻膠用于7nm以下制程。
平板顯示（LCD/OLED）
? 彩色濾光片（CF）：在玻璃基板上制作紅/綠/藍像素單元，光刻膠用于圖案化黑矩陣（BM）、彩色層（R/G/B）和保護層。
? 電極圖案：制作TFT-LCD的電極線路或OLED的陰極/陽極，需高透光率和精細邊緣控制。
印刷電路板（PCB）
? 線路蝕刻：在覆銅板上涂膠，曝光顯影后保留線路區域，蝕刻去除未保護的銅箔，形成導電線路。
? 阻焊與字符層：阻焊膠覆蓋非線路區域，防止短路；字符膠用于印刷電路板標識。
LED與功率器件
? 芯片制造：在藍寶石/硅基板上制作電極和量子阱結構，需耐高功率環境的耐高溫光刻膠。
? Micro-LED：微米級芯片轉移和陣列化，依賴超高分辨率光刻膠（分辨率≤5μm）。
企業定位與資質
? 成立背景：深耕半導體材料行業23年，位于松山湖經濟技術開發區，注冊資本2000萬元，是國家高新技術企業、廣東省專精特新企業及廣東省創新型中小企業。
? 質量體系：通過ISO9001:2008認證，嚴格執行8S現場管理，原材料源自美國、德國、日本等國，確保產品穩定性。
? 市場布局：產品遠銷全球，與世界500強企業及多家電子加工企業建立長期合作關系，覆蓋集成電路、顯示面板、先進封裝等領域。
吉田產業鏈協同與政策紅利。
企業優勢
? 研發能力：擁有多項專利證書，自主研發芯片光刻膠、納米壓印光刻膠等產品，配備全自動化生產設備，具備從材料合成到成品制造的全流程能力。
? 產能與品控：采用進口原材料和嚴格制程管控，確保金屬雜質含量低于行業標準（如半導體光刻膠金屬雜質<5ppb），良率達99%以上。
關鍵工藝流程
涂布：
? 在晶圓/基板表面旋涂光刻膠，厚度控制在0.1-5μm（依制程精度調整），需均勻無氣泡（旋涂轉速500-5000rpm）。
前烘（Soft Bake）：
? 加熱（80-120℃）去除溶劑，固化膠膜，增強附著力（避免顯影時邊緣剝離）。
曝光：
? 光源匹配：
? G/I線膠：汞燈（適用于≥1μm線寬，如PCB、LCD）。
? DUV膠（248nm/193nm）：KrF/ArF準分子激光（用于28nm-14nm制程，如存儲芯片）。
? EUV膠（13.5nm）：極紫外光源（用于7nm以下制程，需控制納米級缺陷）。
? 曝光能量：需精確控制（如ArF膠約50mJ/cm2），避免過曝或欠曝導致圖案失真。
顯影：
? 采用堿性溶液（如0.262N四甲基氫氧化銨，TMAH），曝光區域膠膜溶解，未曝光區域保留，形成三維立體圖案。
后烘（Post-Exposure Bake, PEB）：
? 化學增幅型膠需此步驟，通過加熱（90-130℃）激發光酸催化反應，提高分辨率和耐蝕刻性。
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光刻膠系列：
厚板光刻膠 JT - 3001，具備優異分辨率、感光度和抗深蝕刻性能，符合歐盟 ROHS 標準，保質期 1 年；
水油光刻膠 SR - 3308，容量 5L；SU - 3 負性光刻膠，分辨率優異，對比度良好，曝光靈敏度高，光源適應，重量 100g；
液晶平板顯示器負性光刻膠 JT - 1000，有 1L 裝和 100g 裝兩種規格，分辨率高，準確性和穩定性好；
JT - 2000 UV 納米壓印光刻膠，耐強酸強堿，耐高溫達 250°C，長期可靠性高，粘接強度高，重量 100g；
LCD 正性光刻膠 YK - 200，具有較大曝光、高分辨率、良好涂布和附著力，重量 100g；
半導體正性光刻膠 YK - 300，具備耐熱耐酸、耐溶劑性、絕緣阻抗和緊密性，重量 100g；
耐腐蝕負性光刻膠 JT - NF100，重量 1L。 北京光刻膠工廠
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