合肥阻焊光刻膠感光膠
來源：
發布時間：2025-05-16
納米壓印光刻膠
吉田公司以無鹵無鉛配方與低 VOC 工藝打造環保光刻膠。合肥阻焊光刻膠感光膠
技術挑戰與發展趨勢
更高分辨率需求：
? EUV光刻膠需解決“線邊緣粗糙度（LER）”問題（目標＜5nm），通過納米顆粒分散技術或新型聚合物設計改善。
缺陷控制：
? 半導體級正性膠要求金屬離子含量＜1ppb，顆粒（＞50nm）＜1個/mL，需優化提純工藝（如多級過濾+真空蒸餾）。
國產化突破：
? 國內企業（如上海新陽、南大光電、容大感光）已在KrF/ArF膠實現批量供貨，但EUV膠仍被日本JSR、美國陶氏、德國默克壟斷，需突破樹脂合成、PAG純度等瓶頸。
環保與節能：
? 開發水基顯影正性膠（減少有機溶劑使用），或低烘烤溫度膠（降低半導體制造能耗）。
典型產品示例
? 傳統正性膠：Shipley S1813（G/I線，用于PCB）、Tokyo Ohka TSM-305（LCD黑矩陣）。
? DUV正性膠：信越化學的ArF膠（用于14nm FinFET制程）、中芯國際認證的國產KrF膠（28nm節點）。
? EUV正性膠：JSR的NeXAR系列（7nm以下，全球市占率超70%）。
正性光刻膠是推動半導體微縮的主要材料，其技術進步直接關聯芯片制程的突破，未來將持續向更高精度、更低缺陷、更綠色工藝演進。
云南厚膜光刻膠國產廠商吉田技術自主化與技術領域突破！
廣東吉田半導體材料有限公司多種光刻膠產品，主要涵蓋厚板、負性、正性、納米壓印及光刻膠等類別，以滿足不同領域的需求。
UV 納米壓印光刻膠：JT-2000 型號，耐強酸強堿，耐高溫達 250°C，長期可靠性高，粘接強度高，重量 100g。適用于需要在特殊化學和高溫環境下進行納米壓印光刻的工藝，如半導體器件制造。
其他光刻膠
- 水油光刻膠 JT-2001：屬于水油兩用光刻膠，具有工廠研發、可定制、使用、品質保障、性能穩定的特點，重量 1L。
- 水油光刻膠 SR-3308：同樣為水油兩用光刻膠，重量 5L，具備上述通用優勢，應用場景。
關鍵應用領域
半導體制造：
? 在晶圓表面涂覆光刻膠，通過掩膜曝光、顯影，刻蝕出晶體管、電路等納米級結構（如EUV光刻膠用于7nm以下制程）。
印刷電路板（PCB）：
? 保護電路圖形或作為蝕刻抗蝕層，制作線路和焊盤。
顯示面板（LCD/OLED）：
? 用于制備彩色濾光片、電極圖案等。
微機電系統（MEMS）：
? 加工微結構（如傳感器、執行器）。
工作原理（以正性膠為例）
1. 涂膠：在基材（如硅片）表面均勻旋涂光刻膠，烘干形成薄膜。
2. 曝光：通過掩膜版，用特定波長光線照射，曝光區域的光敏劑分解，使樹脂變得易溶于顯影液。
3. 顯影：用顯影液溶解曝光區域，留下未曝光的光刻膠圖案，作為后續刻蝕或離子注入的掩蔽層。
4. 后續工藝：刻蝕基材（保留未被光刻膠保護的區域），或去除光刻膠（剝離工藝）。
吉田公司以無鹵無鉛配方與低 VOC 工藝打造光刻膠。
工藝流程
? 目的：去除基板表面油污、顆粒，增強感光膠附著力。
? 方法：
? 化學清洗（硫酸/雙氧水、去離子水）；
? 表面處理（硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化，PCB基板用粗化處理）。
涂布（Coating）
? 方式：
? 旋涂：半導體/顯示領域，厚度控制精確（納米至微米級），轉速500-5000rpm；
? 噴涂/輥涂：PCB/MEMS領域，適合大面積或厚膠（微米至百微米級，如負性膠可達100μm）。
? 關鍵參數：膠液黏度、涂布速度、基板溫度（影響厚度均勻性）。
前烘（Soft Bake）
? 目的：揮發溶劑，固化膠膜，增強附著力和穩定性。
? 條件：
? 溫度：60-120℃（正性膠通常更低，如90℃；負性膠可至100℃以上）；
? 時間：5-30分鐘（根據膠厚調整，厚膠需更長時間）。
曝光（Exposure）
? 光源：
? 紫外光（UV）：G線（436nm）、I線（365nm）用于傳統光刻（分辨率≥1μm）；
? 深紫外（DUV）：248nm（KrF）、193nm（ArF）用于半導體先進制程（分辨率至20nm）；
? 極紫外（EUV）：13.5nm，用于7nm以下制程（只能正性膠適用）。
? 曝光方式：
? 接觸式/接近式：掩膜版與膠膜直接接觸（PCB、MEMS，低成本但精度低）；
? 投影式：通過物鏡聚焦（半導體，分辨率高，如ArF光刻機精度達22nm）。
LCD 光刻膠供應商哪家好？吉田半導體高分辨率 + 低 VOC 配方！合肥阻焊光刻膠感光膠
綠色制造與循環經濟
公司采用水性光刻膠技術，溶劑揮發量較傳統產品降低60%，符合歐盟REACH法規和國內環保標準。同時，其光刻膠廢液回收項目已投產，通過膜分離+精餾技術實現90%溶劑循環利用，年減排VOCs（揮發性有機物）超100噸。
低碳供應鏈管理
吉田半導體與上游供應商合作開發生物基樹脂，部分產品采用可再生原料（如植物基丙烯酸酯），碳排放強度較傳統工藝降低30%。這一舉措使其在光伏電池和新能源汽車領域獲得客戶青睞，相關訂單占比從2022年的15%提升至2023年的25%。
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