上海高溫光刻膠廠家

來源：發布時間：2025-05-03

吉田半導體 SU-3 負性光刻膠：國產技術賦能 5G 芯片封裝

自主研發 SU-3 負性光刻膠支持 3 微米厚膜加工，成為 5G 芯片高密度封裝材料。
針對 5G 芯片封裝需求，吉田半導體自主研發 SU-3 負性光刻膠，分辨率達 1.5μm，抗深蝕刻速率 > 500nm/min。其超高感光度與耐化學性確保復雜圖形的完整性，已應用于高通 5G 基帶芯片量產。產品采用國產原材料與工藝，不采用國外材料，成本較進口產品降低 40%，幫助客戶提升封裝良率至 98.5%，為國產 5G 芯片制造提供關鍵材料支撐。

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客戶認證：從實驗室到產線的漫長“闖關”

驗證周期與試錯成本

半導體光刻膠需經歷PRS（性能測試）、STR（小試）、MSTR（中批量驗證）等階段，周期長達2-3年。南大光電的ArF光刻膠自2021年啟動驗證，直至2025年才通過客戶50nm閃存平臺認證。試錯成本極高，單次晶圓測試費用超百萬元，且客戶為維持產線穩定，通常不愿更換供應商。

設備與工藝的協同難題

光刻膠需與光刻機、涂膠顯影機等設備高度匹配。國內企業因缺乏ASML EUV光刻機測試資源，只能依賴二手設備或與晶圓廠合作驗證，導致研發效率低下。例如，華中科技大學團隊開發的EUV光刻膠因無法接入ASML原型機測試，性能參數難以對標國際。

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納米電子器件制造

? 半導體芯片：在22nm以下制程中，EUV光刻膠（分辨率≤10nm）用于制備晶體管柵極、納米導線等關鍵結構，實現芯片集成度提升（如3nm制程的FinFET/GAA晶體管）。

? 二維材料器件：在石墨烯、二硫化鉬等二維材料表面，通過電子束光刻膠定義納米電極陣列，構建單原子層晶體管或傳感器。

納米光子學與超材料

? 光子晶體與波導：利用光刻膠制備亞波長周期結構（如光子晶體光纖、納米級波導彎頭），調控光的傳播路徑，用于集成光路或量子光學器件。

? 超材料設計：在金屬/介質基底上刻蝕納米級“魚網狀”“蝴蝶結”等圖案（如太赫茲超材料），實現對電磁波的超常調控（吸收、偏振轉換）。

吉田半導體厚板光刻膠 JT-3001：國產技術助力 PCB 行業升級

JT-3001 厚板光刻膠支持 500nm/min 深蝕刻，成為國產 PCB 電路板制造推薦材料。
吉田半導體自主研發的 JT-3001 厚板光刻膠，分辨率 1.5μm，抗深蝕刻速率 > 500nm/min，適用于高密度 PCB 制造。其無鹵無鉛配方通過歐盟 RoHS 認證，已應用于華為 5G 基站主板量產。產品采用國產原材料與全自動化工藝，批次穩定性達 99.5%，幫助客戶提升生產效率 20%，加速國產 PCB 行業技術升級，推動 PCB 行業國產化進程。

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技術趨勢與挑戰

半導體先進制程：

? EUV光刻膠需降低缺陷率（目前每平方厘米缺陷數＜10個），開發低粗糙度（≤5nm）材料；

? 極紫外吸收問題：膠膜對13.5nm光吸收率高，需厚度控制在50-100nm，挑戰化學增幅體系的靈敏度。

環保與低成本：

? 水性負性膠替代溶劑型膠（如PCB阻焊膠），減少VOC排放；

? 單層膠工藝替代多層膠，簡化流程（如MEMS厚膠的一次性涂布）。

新興領域拓展：

? 柔性電子：開發耐彎曲（曲率半徑＜5mm）、低模量感光膠，用于可穿戴設備電路；

? 光子芯片：高折射率膠（n＞1.8）制作光波導，需低傳輸損耗（＜0.1dB/cm）。

典型產品與廠商

? 半導體正性膠：

? 日本信越（Shin-Etsu）的ArF膠（分辨率22nm，用于12nm制程）；

? 美國陶氏（Dow）的EUV膠（靈敏度10mJ/cm2，缺陷密度＜5個/cm2）。

? PCB負性膠：

? 中國容大感光（LP系列）：耐堿性蝕刻，厚度20-50μm，國產化率超60%；

? 日本東京應化（TOK）的THMR-V：全球PCB膠市占率30%，適用于高可靠性汽車板。

? MEMS厚膠：

? 美國陶氏的SU-8：實驗室常用，厚度5-200μm，分辨率1μm（需優化交聯均勻性）；

? 德國Microresist的MR膠：耐深硅蝕刻，線寬精度±2%，用于工業級MEMS制造。

負性光刻膠生產原料。南京光刻膠供應商

挑戰與未來展望的發展。上海高溫光刻膠廠家

作為深耕半導體材料領域二十余年的綜合性企業，廣東吉田半導體材料有限公司始終將技術創新與產品質量視為重要發展動力。公司位于東莞松山湖產業集群，依托區域產業鏈優勢，持續為全球客戶提供多元化的半導體材料解決方案。

公司產品涵蓋芯片光刻膠、納米壓印光刻膠、LCD 光刻膠、半導體錫膏、焊片及靶材等，原材料均嚴格選用美國、德國、日本等國的質量進口材料。通過全自動化生產設備與精細化工藝控制，確保每批次產品的穩定性與一致性。例如，納米壓印光刻膠采用特殊配方，可耐受 250℃高溫及復雜化學環境，適用于高精度納米結構制造；LCD 光刻膠以高分辨率和穩定性，成為顯示面板行業的推薦材料。

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標簽：錫膏光刻膠錫片

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