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工業(yè)和科研實(shí)驗(yàn)室經(jīng)常會(huì)使用到氣體質(zhì)量流量控制器,本裝置主要是通過(guò)控制氣體流量的大小來(lái)進(jìn)行一個(gè)氣體濃度的調(diào)節(jié),那么用戶在選擇氣體配比裝置時(shí),關(guān)于氣體的總流量大小應(yīng)該如何確認(rèn)和選擇呢?有沒(méi)有什么簡(jiǎn)單的測(cè)量方法?第1種情況:用戶在明確知道所需總流量和濃度的情況下,只需要向公司的銷售和技術(shù)人員說(shuō)明即可。第2種情況:用戶只知道流量但是不知道濃度的情況下,我公司產(chǎn)品可按照比例范圍或流量大小,直接開(kāi)放濃度稀釋設(shè)置,用戶在使用時(shí)自行調(diào)節(jié)設(shè)置濃度即可。第3種情況:用戶只知道濃度稀釋范圍,但是不知道流量大小,公司技術(shù)人員可根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)使用工裝或用簡(jiǎn)易的流量測(cè)量方式,即可確定流量。氣體質(zhì)量流量控制器采用熱式原理,響應(yīng)快,精度高。重慶模擬氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)支持
氣體質(zhì)量流量控制器的工作原理是:氣流進(jìn)入進(jìn)氣管道街頭后大部分流量流過(guò)分流器通道,其中很小一部分進(jìn)入傳感器內(nèi)部的毛細(xì)鋼管。出于分流器通道的特殊結(jié)構(gòu),可以實(shí)現(xiàn)這兩部分氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)過(guò)預(yù)熱加溫,里而的溫度高于進(jìn)入的氣流溫度,此時(shí)通過(guò)毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱法原理測(cè)量這一小部分氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測(cè)出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響,將傳感器測(cè)得的流量檢測(cè)信號(hào)輸入電路板,經(jīng)過(guò)放大后輸出,就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動(dòng)控制功能,把傳感器測(cè)得的流量檢測(cè)信號(hào)與用戶給出的設(shè)定信號(hào)進(jìn)行比較,以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥,使得流量檢測(cè)信號(hào)與設(shè)定信號(hào)相等,這樣便實(shí)現(xiàn)了MFC的功能。重慶模擬氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)支持氣體質(zhì)量流量控制器常見(jiàn)類型有渦輪流量計(jì)。
為什么等離子設(shè)備上需要使用熱式氣體質(zhì)量流量控制器?隨著等離子行業(yè)的快速發(fā)展,熱式氣體質(zhì)量流量控制器在各種等離子設(shè)備中普遍使用,熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的主要作用是準(zhǔn)確的控制和調(diào)節(jié)氣體的進(jìn)氣流量,等離子設(shè)備中需要注入和填充的混合氣體,以保證更好的產(chǎn)品性能,就需要更高精度和穩(wěn)定性好的氣體質(zhì)量流量控制器。等離子體指部分或完全電離的氣體,且自由電子和離子所帶正、負(fù)電荷的總和完全抵消,宏觀上呈現(xiàn)中性電。等離子體又叫做電漿,是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì)。
熱式氣體質(zhì)量流量控制器在使用過(guò)程中,不通氣應(yīng)該怎么處理?首先先檢查一下產(chǎn)品的針腳接線定義是否對(duì)應(yīng),以及產(chǎn)品是否正常供電,排除以上原因后,在檢查產(chǎn)品的進(jìn)氣壓力是多少?因?yàn)闊崾綒怏w質(zhì)量流量控制器是帶有控制閥門的產(chǎn)品,在使用時(shí)對(duì)初始?jí)毫τ幸螅伊髁靠刂破鞯倪M(jìn)氣和出氣兩端的壓力差值,也必須保證在一個(gè)正常的工作壓差值范圍內(nèi)才行。壓差過(guò)小的話,就會(huì)導(dǎo)致閥門無(wú)法正常開(kāi)啟,氣體流通不過(guò)去。如果是壓力過(guò)大的話,會(huì)讓閥門處于全開(kāi)狀態(tài)而達(dá)不到控制的目的。當(dāng)氣體質(zhì)量流量控制器處于清洗狀態(tài)時(shí),可以當(dāng)質(zhì)量流量計(jì)使用。
客戶在使用氣體質(zhì)量流量控制器/計(jì)時(shí),對(duì)于氣體的要求:1,氣體必須潔凈并且沒(méi)有顆粒物,沒(méi)有液體,這就要求在氣體質(zhì)量流量控制器/計(jì)的上游氣路中安裝<30μm的過(guò)濾器。2,輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標(biāo)準(zhǔn),不可以超過(guò)氣體質(zhì)量流量控制器/計(jì)要求的壓力。3、氣體質(zhì)量流量控制器/計(jì)使用的氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應(yīng),用戶有責(zé)任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會(huì)使保修無(wú)效,由于不正確的使用所導(dǎo)致的損害不能歸咎于廠家。氣體質(zhì)量流量控制器高壓條件下正常使用需要注意在MFC下游加背壓閥,穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓。廣東M3030VA氣體質(zhì)量流量控制器哪家質(zhì)量好
氣體質(zhì)量流量控制器可實(shí)現(xiàn)多種通訊方式及客戶定制的I/O功能。重慶模擬氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)支持
怎么樣來(lái)區(qū)分熱式氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)呢?熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件,一個(gè)速度傳感器和一個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個(gè)定值,使速度傳感器和測(cè)量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí),電加熱消耗的能量,也可以說(shuō)熱消散值,與流過(guò)氣體的質(zhì)量流量成正比。它是氣體流量計(jì)量中新型儀表,不需要進(jìn)行壓力和溫度修正是區(qū)別于其它氣體流量計(jì)重要指標(biāo),能直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測(cè)量。可用于控制一般的腐蝕性氣體,正常使用時(shí)應(yīng)保證進(jìn)出氣兩端的壓差在技術(shù)指標(biāo)范圍之內(nèi),低于或高于正常工作壓差都可導(dǎo)致氣體質(zhì)量流量控制器無(wú)法正常使用。熱式氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)多用于氣體動(dòng)態(tài)配比裝置、環(huán)境檢測(cè)、真空鍍膜、航空航天、光伏行業(yè)、精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲(chǔ)存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過(guò)程控制器、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。重慶模擬氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)支持