干式螺桿真空泵由于其優越的性能，在歐美和日本目前已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業選擇獲得設備。傳動軸連接主動轉子，通過同步齒輪帶動從動轉子旋轉，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結構類似，一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進氣側通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，目前通用的是直連電機，用聯軸器與轉子連接，極少數用皮帶或者傳動鏈傳動。通常總是不加區分地把微型泵中的氣體采樣泵和微型真空泵簡單統稱為微型真空泵。無油立式真空泵廠家直供

真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵，真空泵是一種旋轉式變容，真空泵必須具有前級泵配合，方可使用在較寬的壓力范圍內有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感，普遍用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。無油立式真空泵廠家直供對于微型真空泵抽氣端阻力的大小可以用儀器測定。

低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著我國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展，分子泵應該是我國真空泵制造業發展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整的系列，并研究開發出各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本，半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵。

真空泵的轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可降低驅動功率，從而可實現較高轉速；泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。結構，泵總體結構型式。真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。在真空泵中，相對壓強即所測內部壓強比“大氣壓”低多少壓強，表示出系統壓強實際數值低于大氣壓強的數值。

水環真空泵（簡稱水環泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯大氣噴射器可達270~670Pa。水環泵也可用作壓縮機，稱為水環式壓縮機，是屬于低壓的壓縮機，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。水環泵開始用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫藥及食品等許多工業部門。在工業生產的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環泵得到普遍的應用。由于真空應用技術的飛躍發展，水環泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。真空泵相關下游應用行業保持快速增長勢頭。微型真空泵供貨費用

真空泵抽速的抽氣量是彌補漏氣率的參數。無油立式真空泵廠家直供

由于真空泵的重心較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。無油立式真空泵廠家直供

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