隨著電子技術的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機構由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調節(jié)旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動,移動范圍12mm,移動精度可以達到0.7微米。這樣可以把探針很好的點到待測點上(說明探針是耗材,一般客戶自己準備),探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機上,從而得到電性能的參數(shù)。對于重復測試同種器件,多個點位的推薦使用探針臺安裝探卡進行測試。上海勤確科技有限公司和客戶攜手誠信合作,共創(chuàng)輝煌!福建手動探針臺廠家
如何判斷探針卡的好壞:1.可以用扎五點來判斷,即上中下左右,五點是否扎在壓點內,且針跡清楚,又沒出氧化層,針跡圓而不長且不開叉.2.做接觸檢查,每根針與壓點接觸電阻是否小于0.5歐姆.3.通過看實際測試參數(shù)來判斷,探針與被測IC沒有接觸好,測試值接近于0。總之,操作工只要了解了探針卡故障的主要原因:1.探針氧化.2.針尖有異物(鋁粉,墨跡,塵埃).3.針尖高度差.4.針尖異常(開裂,折斷,彎曲,破損)。.5.針尖磨平.6.探針卡沒焊好.7.背面有突起物,焊錫線頭.8.操作不當。平時操作時應注意:1.保護好探針卡,卡應放到氮氣柜中.2.做好探針卡的管理工作.3.規(guī)范操作,針尖不要碰傷任何東西。同時加強操作人員的技能培訓。有利于提工作效率和提高質量。黑龍江芯片探針臺加工廠家探針臺由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。
初TI退休工程師杰克·基比(JackSt.ClairKilby)發(fā)明顆單石集成電路,為現(xiàn)代半導體領域奠定基礎時,晶圓直徑不過1.25英寸~2英寸之間,生產(chǎn)過程多以人工方式進行。隨著6英寸、8英寸晶圓的誕生,Align/Load的校準工作和一些進階檢測也開始自動化;直到12英寸晶圓成形,可謂正式邁入“單鍵探測”(OneButtonProbing)的全部自動化時代,就連傳輸也開始借助機器輔助;但此時的測試大都是轉包給專業(yè)的廠商做,且大部分是著重在如何縮短工藝開發(fā)循環(huán)的參數(shù)測試上。
探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號,保證半導體產(chǎn)品品質的重要檢測設備。下面我們來了解下利用探針臺進行在片測試的一些相關問題,首先為什么需要進行在片測試?因為我們需要知道器件真正的性能,而不是封裝以后的,雖然可以去嵌,但還是會引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因為有時我們需要進行自動化測試,在片進行自動化測試成本效益高而且更快。一個典型的在片測試系統(tǒng),主要包括:矢量網(wǎng)絡分析儀,線纜,探針,探針定位器,探針臺,校準設備及軟件,電源偏置等。重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷,而影響平面電機的步進精度及使用壽命。
精細探測技術帶來新優(yōu)勢:先進應力控制技術亦是必須的。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷,在銅質墊片加上鋁帽將能減少對易碎低K/高K介電的負面效應。以先進工藝驅動在有效區(qū)域上墊片的測試,以低沖擊的探針卡,避免接觸所產(chǎn)生阻抗問題。另一個可能損害到晶圓的來源是探針力道過猛或不平均,因此能動態(tài)控制探針強度也是很重要的;若能掌握可移轉的參數(shù)及精細的移動控制,即可提升晶圓翻面時的探測精確度,使精細的Z軸定位接觸控制得到協(xié)調,以提高精確度,并縮短索引的時間。探針臺并通過測試數(shù)據(jù)反饋,讓設計芯片的工程師能及時發(fā)現(xiàn)并糾正制作過程中的問題。黑龍江芯片探針臺加工廠家
探針卡虛焊和布線斷線或短路,測試時都要測不穩(wěn)。福建手動探針臺廠家
滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養(yǎng):由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種結構的工作臺在裝配過程中,從直線導軌的直線性,上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性,定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調整后很難恢復到原來的狀態(tài),所以對需要調整的工作臺應有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓的專業(yè)人員完成。福建手動探針臺廠家