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來源: 發布時間:2021-02-10

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手,該真空吸附機械手包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺;設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,故利用真空吸附機械手將晶圓傳送至所需位置之后,晶圓的背面中與真空吸附機械手接觸的位置不會形成印記,提高了晶圓的合格率。注塑行業機械臂常稱為注塑機機械手、塑料機機械手。廣州原裝晶圓運送機械吸臂經銷批發

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接下來是單晶硅生長,**常用的方法叫直拉法(CZ法)。如下圖所示,高純度的多晶硅放在石英坩堝中,并用外面圍繞著的石墨加熱器不斷加熱,溫度維持在大約1400 ℃,爐中的氣體通常是惰性氣體,使多晶硅熔化,同時又不會產生不需要的化學反應。為了形成單晶硅,還需要控制晶體的方向:坩堝帶著多晶硅熔化物在旋轉,把一顆籽晶浸入其中,并且由拉制棒帶著籽晶作反方向旋轉,同時慢慢地、垂直地由硅熔化物中向上拉出。熔化的多晶硅會粘在籽晶的底端,按籽晶晶格排列的方向不斷地生長上去。因此所生長的晶體的方向性是由籽晶所決定的,在其被拉出和冷卻后就生長成了與籽晶內部晶格方向相同的單晶硅棒。廣州進口晶圓運送機械吸臂廠家報價機械手臂是機械人技術領域中得到*****實際應用的自動化機械裝置.

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輸送半導體晶圓的機械手通常具有兩個以上的自由度。這種機械手典型地由兩個連桿和手部構成。在本說明書中,將兩個連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地,上臂連桿的一端連結于電機的輸出軸,上臂連桿的另一端連結于前臂連桿的一端。而且,前臂連桿的另一端連結于手部。上臂連桿和前臂連桿經由關節而連結。前臂連桿和手部也經由關節而連結。在各個關節處安裝有軸承,以便使連桿順暢地旋轉。在輸送半導體晶圓的機械手中,為了不污染傳送室內而屏蔽(shield)安裝于關節的軸承。

本發明針對現有技術中的不足,提供了一種晶圓搬運機械手,本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定,維護方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設備要求,適用于各種半導體設備。



為了解決上述技術問題,本發明通過下述技術方案得以解決:一種晶圓搬運機械手,包括升降軸、旋轉軸和伸展軸,其特征為,所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座,所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節,所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節,所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節,所述的伸展電機、所述的一級關節、所述的二級關節和所述的三級關節依次傳動,所述的手指固定座始終保持直線運動。 手臂伸縮機構是機械臂伸出和縮回的伸縮位置檢測器作用基本等同于升降位置檢測器。

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注塑行業機械臂常稱為注塑機機械手、塑料機機械手,它可模仿人體上肢的部分功能代替人工用于自動剪水口、模內鑲件、模內貼標、模外組裝、整形、分類、堆疊、產品包裝、模具優化等等。且可以對其進行自動控制使其按照預定要求輸送制品或操持工具進行生產操作的自動化生產設備。注塑行業機械臂是為注塑生產自動化專門配備的機械,它可以在減輕繁重的體力勞動、改善勞動條件和安全生產;提高注塑成型機的生產效率、穩定產品質量、降低廢品率、降低生產成本、增強企業的競爭力等方面起到及其重要的作用。 手臂的運動速度要適當,慣性要小.廣州正規晶圓運送機械吸臂新報價

對于粉塵作業的機械手還要添裝防塵設施。廣州原裝晶圓運送機械吸臂經銷批發

工業機械臂不應該稱之為智能制造的未來,智能制造的概念與涵蓋的范圍不是工業機械臂這一種工業產品能夠一言以蔽之的。高精度、多傳感的三軸與五軸加工就不是智能制造了嗎?答案肯定是否定的。智能制造的目的在于高度自適應、多傳感信息融合等,將現有的制造水平提升到更高的層次,工業機械臂只是時下研究的熱點,工業機械臂在未來智能場景中的角色目前還未能給出定論。簡單的搬運與碼垛,根本無法稱之為智能制造。工業機械臂距離高精度的智能制造還有很長一段路要走,而且這條路是否能走得通,還是一個問號呢,目前各國的研究人員都比較看好這個方向,普遍認為機械臂是實現智能制造的很好的載體,可以實現五軸數控無法實現的大操作空間與靈活性。 廣州原裝晶圓運送機械吸臂經銷批發

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