具體實施方式下面結合實施例對本發明做進一步詳細描述，所述是對本發明的解釋而不是限定，一種高速高響應度的硅基光電二極管，包括背面設有背面電極108的襯底107；襯底107正面依次設有高反層(109、外延層101、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極106；所述的高反層109上開設有用于形成電流路徑的刻蝕孔，以及與正面金屬電極106相對應的刻蝕區；所述的注入層包括保護環102以及設在其內的有源區103；所述的正面金屬電極106還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區103相連接。進一步的，所述的襯底107為電阻率20～100為ohm·cm的硅基襯底，襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極108。所述的外延層101淀積在高反層109上；在外延層101上分別以n型離子注入形成保護環102，以p型離子注入形成有源區103；所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層104，所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層105；所述的正面金屬電極106是在濺射后經刻蝕成形。參見圖2所示的光電二極管等效電路示意圖，rsh為光電二極管關斷阻抗，rsh＝∞，rs為光電二極管串聯電阻。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。硅光電二極管廠家就找深圳世華高。江蘇進口硅光電二極管電池

二、2DU型硅光電二極管：2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制作的，從外形上分有2DUA，2DUB等類型，其中2DUA型管子體積較小些（見圖1（b））。2DU型硅光電二極管目前多采用陶瓷樹脂封裝，入射光的窗口不帶透鏡。這類管子引線共有三條，分別稱作前極、后極、環極（見圖1（b））。前極即光敏區（N型區）的引線；后極為襯底（P型區）的引線；環極是為了減小光電管的暗電流和提高管子的穩定性而設計的另一電極。光電管的暗電流是指光電二極管在無光照、高工作電壓下的反向漏電流。我們要求暗電流越小越好。這樣的管子性能穩定，同時對檢測弱光的能力也越強。為什么加了環極后就可以減小2DU型硅光電二極管的暗電流呢？這要從硅光電二極管的制造工藝談起。在制造硅光電二極管的管心時，將硅單晶片經過研磨拋光后在高溫下先生長一層二氧化硅氧化層，然后利用光刻工藝在氧化層上刻出光敏面的窗口圖形，利用擴散工藝在圖形中擴散進去相應的雜質以形成P－N結。然后再利用蒸發、壓焊、燒結等工藝引出電極引線。由于2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制造的，在高溫生長氧化層的過程中，容易在氧化層下面的硅單晶表面形成一層薄薄的N型層。上海國產硅光電二極管生產廠家大量供應硅光電二極管就找世華高。

該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。由襯底107與外延層101體電阻組成)，cj為光電二極管結電容(主要由p+有源區103與外延層101構成二極管的勢壘電容組成)，rl為系統等效負載(50ω)；rs＝ρ(wo-wd)/aj+rc，其中，wo為襯底厚度，wd為耗盡區寬度，aj為結面積，rc為接觸電阻(歐姆接觸可忽略不計)，ρ為襯底電阻率；光電二極管響應度responsivity很大程度上依賴于耗盡區的寬度，耗盡區越寬，光子轉換的光生載流子越多，響應度越高；而光電二極管響應時間t由三部分組成：t＝(tcc2+tdiff2+trc2)1/2；tcc為耗盡區中光生載流子的收集時間，與耗盡區寬度wd成正比；tdiff為耗盡區之外的光生載流子擴散到耗盡區里面所需的時間，正比于(wo-wd)2；trc為rc時間常數，trc＝(rs+rl)cj；本發明提供的高速高響應度的硅基光電二極管。

深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。據外媒報道，韓國浦項工科大學（PohangUniversityofScienceandTechnology）的一組研究人員已經研發出近紅外（NIR）硅光電二極管，比現有的光電二極管靈敏度高出三分之一。現有的近紅外光電二極管通常由化學材料制成，需要單獨的冷卻裝置，很難集成。而浦項工科大學Chang-KiBaek教授領導的一組研究人員采用沙漏型的硅納米線，增加了硅對紅外光的吸收。位于納米線上方，倒轉的納米錐通過產生回音壁式共振，延長了近紅外-短波紅外（SWIR）光子的停留時間，而下方的納米錐由于反射率低，能夠重新吸收附近納米線的入射光。與現有的平板硅光電子二極管相比，該納米線在1000納米波長下。硅光電二極管可用于各種應用場合，世華高。

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硅光二極管的響應時間也是其性能的重要指標之一。在高速光通信系統中，需要選擇具有快速響應時間的硅光二極管，以確保信號的準確傳輸和處理。隨著技術的不斷進步，硅光二極管的響應時間已經越來越短，為高速光通信技術的發展提供了有力保障。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發射管、發光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區。隨著生產規模的不斷擴大和產品種類的豐富，公司的銷售業績穩步提升。江蘇進口硅光電二極管電池