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9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高，但燈具安裝的數量受到送風風口數量和位置等條件的限制，這就要求在達到同一照度值情況下，安裝燈具的個數極少。熒光燈的發光效率一般是白熾燈的3倍~4倍，而且發熱量小，有利于空調節能。此外，潔凈室天然采光少，在選用光源時還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光，熒光燈基本能滿足這一要求。因此，目前國內外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源。當有些潔凈室層高較高，采用一般熒光燈照明很難達到設計照度值，在此情況下，可采用其他光色好、光效更高的光源。由于某些生產工藝對光源光色有特殊要求，或熒光燈對生產工藝和測試設備有干擾時，也可采用其他形式光源。潔凈環境是為生產工藝服務的，潔...

10.2.3氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：1氣體純化裝置應根據氣源和產品生產工藝對氣體純度、容許雜質含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設置在氣體純化間（站）內。當潔凈廠房設有氣體入口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間（站）內。若有特殊要求時，也可根據具體要求分別設置在各自的氣體純化間內；4氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點處。10.2.4進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設置在氣體入口室。設置在同一潔凈室內的高效（亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近。無塵室3Q驗證潔凈室檢測技術好C.1...

5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)時，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區)內的設備宜選用低噪聲產品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區)應設置對電子產品生產過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室（區）內，電子產品生產過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應符合下列規定：1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發污染物、防靜電，并在空氣中不應被氧化；2應密封性能好；3當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；4構造、外形應滿足生產工藝要求，并應方便操作和運送。送風、回風和排風...

從收集的國內外潔凈室噪聲標準來看，有以下幾個特點：潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿足必要的談話聯系，提供舒適的工作環境。絕大多數標準給出的允許值在65dB(A)~70dB(A)范圍，醫療行業則更低。現行的大多數標準均以A聲壓級作為評價指標，也有少數標準對各頻帶聲壓級提出了限制。少數標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值，而大多數標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個統一的容許值。以前常稱為亂流型潔凈室，室內的氣流并不都按單一方向流動。江蘇壓縮空氣檢測潔凈室檢測服務4.1.2潔凈廠房內當布置有精密設備和精密儀器儀表，若它...

8.1.1潔凈室(區)工業管道的敷設應符合下列規定：1潔凈室(區)內工業管道不應穿越無關的房間。2干管應敷設在上、下技術夾層或技術夾道內。3易燃、易爆、有毒物質管道應明敷。4當易燃、易爆、有毒物質管道敷設在技術夾層或技術夾道內時，必須采取可靠的濃度檢測報警、通風措施。8.1.2潔凈室(區)工業管道的設計應符合現行國家標準《工業金屬管道設計規范》GB50316的有關規定。8.1.3工業管道設計應符合下列規定：1應按輸送介質的物化性質，合理確定管內物料流速和管徑。2在滿足生產工藝的條件下，管道系統應盡量短。3應避免出現不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。4管道系統應設必需的吹除口、放凈口和取樣口...

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室（區）面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區）送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室(區）使用功能和降低能量消耗的要求，經技術經濟比較，采用運行經濟、節約能源的送風方式。7.3.3凈化空調系統新風的室外吸入口位置，應遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質或可燃物的排氣口。7.3.4多套凈化空調系統同時運行或較大型電子工業潔凈廠房的凈化空調系統的新風，應集中處理...

近年來，國內外一些潔凈廠房中一級用電負荷因雷擊及電源瞬時變動而引起停電事故頻繁發生，造成了較大的經濟損失，其原因不是主電源斷電，而是控制電源失電造成保護系統失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠房設計中也很重要。從工藝性質來看，潔凈廠房內一般從事精密視覺工作，需要高照度高質量照明。為了獲得良好和穩定的照明條件，除了解決好照明形式、光源、照度等一系列問題外，極重要的是保證供電電源的可靠性和穩定性。........潔凈環境是為生產工藝服務的，潔凈室設計必須滿足生產工藝的環境要求，這是理所當然的。北京風速潔凈室檢測服務至上6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求，且表面應平整、光滑。位于地...

7.2.1潔凈廠房內的生產工藝一般為超精細加工或要求無菌無塵，對給水系統要求較為嚴格，如大規模集成電路的超純水、醫藥工業的無菌水等。而且有的水系統的造價高、管理要求嚴格，因此應根據不同的要求設置系統(如純水的不同水質要求，冷卻水的不同水溫、水質要求等），以便重點保證要求嚴格的系統，也利于管理和節省運轉費用。目前設在潔凈廠房中的生產工藝大多為技術發展迅速的工業，如大規模集成電路、生物制藥等。這些生產部門產品升級換代快，生產工藝變化多。因此，在管道設計中應留有充分的余量。潔凈室是指空氣潔凈度達到規定級別的可供人活動的空間。上海潔凈設備3Q驗證潔凈室檢測周期C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統...

4.2.1潔凈室可根據電子產品生產工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應綜合生產工藝要求、節約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時，宜采用微環境等型式。不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。浙江實驗室環境潔凈室檢測頻率5.1.1隨著科學技術的發展...

D.3.2靜壓差測試，應符合下列規定：1靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。2儀器宜采用各種型式的微壓計，儀表靈敏度應小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室（區)時，應從極里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試，應符合下列規定：1儀器應使用采樣量大于11/mn的光學粒子計數器。2應在過濾器上風側引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子，粒子濃度應大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風側應用粒子計數器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處，并應以5～20mm/s速度移動。應檢測包括過濾器的整個面和過濾器周...

5.1.3主體結構要具備同建筑處理及其室內裝備和裝修水平相適應的等級水平。若室內裝備與裝修水平高，而主體結構為臨時的，就會形成嚴重的浪費。本條規定著重于使潔凈廠房在耐久性、裝修與裝備水平、耐火能力等幾個方面相互協調，使投資長期發揮作用。此外，溫度或沉陷不但可能影響安全，而且還會破壞建筑裝修的完整性及圍護結構的氣密性，故須對主體結構采取相應措施。5.1.5對兼有一般生產和潔凈生產的綜合性廠房，在考慮其平面布局和構造處理時，應合理組織人流、物流運輸及消防疏散線路，避免一般生產對潔凈生產帶來不利的影響。當防火方面與潔凈生產要求有***時，應采取措施，在確保消防疏散的前提下，減少對潔凈生產的不利影響。...

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統安裝正確，使用過程中無滲漏發生，不要將已裝過濾器系統的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應經過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統不存在影響設施潔凈狀況的滲漏；確認過濾系統下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中，在過濾器的上風向注入氣溶膠，在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風管中的過濾器下風向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內的整個過濾系統。已裝過濾系統的檢漏只在“空態”或“靜態”下進行，且該項檢測是在新建潔凈室調試時，或現有設施需要再檢測時，或更換了末端過濾器之后進行。潔...

9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高，但燈具安裝的數量受到送風風口數量和位置等條件的限制，這就要求在達到同一照度值情況下，安裝燈具的個數極少。熒光燈的發光效率一般是白熾燈的3倍~4倍，而且發熱量小，有利于空調節能。此外，潔凈室天然采光少，在選用光源時還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光，熒光燈基本能滿足這一要求。因此，目前國內外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源。當有些潔凈室層高較高，采用一般熒光燈照明很難達到設計照度值，在此情況下，可采用其他光色好、光效更高的光源。由于某些生產工藝對光源光色有特殊要求，或熒光燈對生產工藝和測試設備有干擾時，也可采用其他形式光源。對潔凈室的送風必須是有很高潔凈...

D.3.10自凈時間檢測，應符合下列規定：1自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發生器等人工塵源為基準，并宜以粒子計數器進行檢測，同時應符合下列要求.1）以大氣塵為基準時，則必須將潔凈室停止運行相當時間，在室內含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機，定時讀數(一般可設置每間隔6s讀數一次)，直到回風口處的含塵濃度回復到原來的穩定狀態，記錄下所需的時間（t）。2)以人工塵源為基準時，應將煙霧發生器放置在離地面1.8m以上室中心，發煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度（N。）。然后開機...

10.3.1潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統應根據各類產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定，并應符合下列規定：1供氣規模應按產品生產所需供氣量和計入必要損耗量確定，并應設有一定的備用供氣量；2供氣品質應根據生產工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定；3供氣系統可集中設置在潔凈廠房內的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站；4應選用能耗少、噪聲低的設備，宜選用無油潤滑空氣壓縮機，5含水量要求嚴格時，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。應按輸送介質的物化性質，合理確定管內物料流速和管徑。上海靜電潔凈室檢測D.3.7噪聲檢測，應符合下列規定：1潔凈室（區）內的噪聲檢測應采用帶倍頻程分析的聲級計。2潔凈...

7.4.5干表冷器的設置應符合下列要求：1安裝位置、外形尺寸應根據潔凈廠房的平面和空間布置確定；2迎面風速、結構形式應根據潔凈室（區)冷負荷、風機過濾器機組所提供的機外余壓確定；3冷凍水進水溫度，宜高于潔凈室（區)內空氣的**溫度；4應設置排水設施。7.4.6凈化空調系統空氣處理機組的選用和布置，應符合下列要求：1應有良好的氣密性，漏風率不得大于1%；2整體結構應有足夠的強度和剛度，內表面應平整、光滑，外表面不應結露；3布置應整齊，并應便于運行和維修；當多套空氣處理機組為同一潔凈室（區)服務時，宜選用相同規格的空氣處理機組；送風機宜采取變頻調速措施。送風機可按凈化空調系統的總風量和總阻力值進行...

5.3.5潔凈廠房空氣吹淋室的設計，應符合下列要求：1在潔凈室(區)的入口處宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時，應設氣閘室；2吹淋室應設在更換潔凈工作服后的相鄰部位；3單人空氣吹淋室，應按比較大班人數每30人設一臺。潔凈室(區)工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設單向旁通門；4空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟，應采取連鎖控制措施；5空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室（區)，宜設氣閘室。5.3.6人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級，宜由外至內逐步潔凈，室內可送入經過高效空氣過濾的潔凈空氣。潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區）的空氣潔凈度等級；當設有潔凈工作服...

B.1自凈檢測是測定潔凈室設施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統重要并推薦采用，因為自凈性能與受控區內循環空氣比例（換氣次數)、送風與出風的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關，而單向流系統中，污染被受控氣流置換，自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應在設施處于空態或靜態時進行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室（區）不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠，應防止氣溶膠對設施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100：1自凈時間或潔凈度恢復率。100：1自凈時間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100：1...

8.2.1潔凈廠房內的給水系統應根據各種用途(包括工藝冷卻水)對水質、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產、生活、消防分別設置的給水系統。8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時，應根據化學品的物理化學性能和人身安全的要求，設置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應環形敷設布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應符合下列要求：1給水系統的管材和附件的選用，應滿足生產工藝和系統工作參數的要求；2埋地管道應耐腐蝕，并應具有承受相應地面荷載的能力；3生產設備循環冷卻水給水和回水管道，應按生產工藝和水質要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應采用與管材相同的材質。空氣過濾...

15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區)，其建筑結構的微振動控制設計，應符合下列規定：1建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎應有足夠剛度；2應設置**的建筑結構微振動控制體系，并應與廠房主體結構分隔；3主體結構應根據微振動控制的要求，適當加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。15.3.3有強烈振動的設備和管道，宜采取主動隔振措施，并應符合下列要求.1宜采用隔振臺(座）；2應選用剛度適當的隔振器，3通往潔凈室(區)的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。在潔凈室設計時生產工藝對環境參數的要求應該實事求是。浙江微生物潔凈室檢測服務7.3.1潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空...

7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求：1應根據空氣潔凈度等級和送風量選用；2應按潔凈室(區)內生產工藝對氣流流型的要求布置，3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定；4送風量應能調節；5應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。7.4.3層流罩的設置應符合下列要求：1潔凈室(區)內等于或嚴于5級的局部凈化區域宜采用層流罩；2層流罩的形式和進風方式應根據生產工藝或設備需要選用；3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規范的規定；4安裝方式不應影響生產操作。斷截面上風速一致，有垂直單向潔凈室，準垂直單向流，水平單向流潔凈室等。北京潔凈設備3...

1凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內多數潔凈廠房人員入口處設有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護人員凈化用室的清潔，**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去，換上清潔鞋或鞋**有潔凈廠房工作人員都執行更衣前換鞋的制度，其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮，換鞋設施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區分，避免了清潔鞋被外出鞋污染，如跨越鞋柜式換鞋，清潔平臺上換鞋等都有很好的效果。送風、回風和排風系統的啟閉宜聯鎖。微生物潔凈室檢測周期空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段；4高效(亞高效)...

C.1.3已裝過濾系統其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測項目，對安裝的過濾器進行檢漏。C.1.3.2調試過程中承建商的檢測已獲得業主認可，在緊接著的潔凈度項目檢測過程中，可進行抽檢或免檢。C.1.3.3有條件時，宜將過濾系統安裝調試過程的檢漏與檢測項目中**的過濾系統檢漏合并；過濾系統檢漏費時、費人力，整個潔凈室建造過程中只給出一定的作業時間周期。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計法”和“離散粒子計數器（DPC)法”。氣溶膠光度計是測量空氣中懸浮粒子的質量濃度，而離散粒子計數器是測量空氣中懸浮粒子的數量和粒徑，2種方法獲得的結果不能進行直接比較。設置在同一潔凈室內的高效（亞高效、...

5.2.2人員進出、材料出入、產品運送及設備、工具搬運的頻繁交錯，不但會彼此干擾、易發生混雜、降低生產效率，并可能會使潔凈室(區)的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此，在工藝布局時，應充分考慮人員、物料設備，有各自的出入口。人員入口處的凈化設施包括單人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、氣閘室等，具體選用何種形式，需根據潔凈室(區）的空氣潔凈度等級、人員數量、未來發展需求等確定。物料凈化設施包括貨物吹淋室、氣閘室、壓縮空氣吹掃頭等，一般可根據物料種類、包裝方式和潔凈室（區）的空氣潔凈度等級等確定。潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風量。江蘇潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測服務C.3已裝過濾系統氣溶膠...

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室（區）面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區）送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室(區）使用功能和降低能量消耗的要求，經技術經濟比較，采用運行經濟、節約能源的送風方式。7.3.3凈化空調系統新風的室外吸入口位置，應遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質或可燃物的排氣口。7.3.4多套凈化空調系統同時運行或較大型電子工業潔凈廠房的凈化空調系統的新風，應集中處理...

（1）潔凈廠房是現代科學技術發展的產物。隨著科學技術的日新月異，新技術、新工藝、新產品不斷出現，產品精密度的日益提高，對無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2）潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產品質量有很大影響。因此，必須保持凈化空調系統的正常運行。據了解，在規定的空氣潔凈度下生產的產品合格率可提高約10%~30%。一旦停電，室內空氣會很快污染，影響產品質量。（3）潔凈廠房是個相對的密閉體，由于停電造成送風中斷，室內的新鮮空氣得不到補充，有害氣體不能排出，對工作人員的健康是不利的。潔凈室等級劃分世界各國均有自定規格。上海塵埃粒子...

10.2.3氣體純化裝置的設置，應符合下列要求：1氣體純化裝置應根據氣源和產品生產工藝對氣體純度、容許雜質含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設置在氣體純化間（站）內。當潔凈廠房設有氣體入口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設置在同一氣體純化間（站）內。若有特殊要求時，也可根據具體要求分別設置在各自的氣體純化間內；4氣體終端純化裝置宜設置在鄰近用氣點處。10.2.4進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設置在氣體入口室。潔凈室絕不僅于“潔凈”，而必須是一個對冷熱、噪聲、照度、靜電、微振都有相當要求的多功能的綜合體。安徽潔凈工作...

12.4.1潔凈廠房的自動控制系統宜采用集散式網絡結構，并應具有穩定、可靠、節能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應對凈化空調、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統進行自動監控。12.4.3潔凈室（區）內外的壓差監測，宜采用壓差變送器通過控制系統調節潔凈室（區)的送風量或回風量。12.4.4凈化空調系統采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯鎖控制，并應設置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。12.4.5在滿足生產工藝要求的前提下，宜對風機、水泵等動力設備采取變頻調速等節能控制措施。潔凈室要達到潔凈等級，必須有綜合措施。上海潔凈室檢測評估C.1.1檢測目的檢測的目的是確認...

4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應根據下列要求經技術經濟比較后確定：1應布置在大氣含塵和有害氣體或化學污染物濃度較低、自然環境較好的區域；2應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發大量粉塵和有害氣體或化學污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾或強電磁場的區域。不能遠離嚴重空氣污染源時，則應位于全年**小頻率風向下風側；3在廠區內應布置在環境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。..在生產工藝平面區劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起。浙江電子廠房環境潔凈室檢測范圍4.4.3~4.4.6控制設備噪聲首先要從聲源上考慮，設計時應選用低噪聲設備。在某些情況下，由于技術...

B.1自凈檢測是測定潔凈室設施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統重要并推薦采用，因為自凈性能與受控區內循環空氣比例（換氣次數)、送風與出風的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關，而單向流系統中，污染被受控氣流置換，自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應在設施處于空態或靜態時進行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室（區）不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠，應防止氣溶膠對設施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100：1自凈時間或潔凈度恢復率。100：1自凈時間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100：1...