(3)數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償 現在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不僅節約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉軸精度曲線,知曉其精度的每一細節,并給出按相關標準處理的統計結果。(4)雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床,由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進行補償。雙頻激光干涉儀的發明使激光干涉儀擺脫了計量室的束縛,更為廣泛的應用于工業生產和科學研究中。張家港安裝雙頻激光干涉儀單價
(1)幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。(2)位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差,同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數,使機床達到比較好精度,另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。姑蘇區購買雙頻激光干涉儀性價比激光干涉儀廣泛應用于精密測量、材料科學、光學研究、工程檢測等領域。
三角運算給出其中疊加后的振幅為可以看到, 疊加后的振幅與兩列波的初始相位差有關。 由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數, 這種幅度的變化有時候在空間表現為周期性的條紋。 這種條紋有時候叫做干涉條紋, 由于相位差變化引起的幅度變化有時也稱為條紋移動。分類干涉儀的分類有不同分法按照結構區分干涉儀可以分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀兩類, 其差異在于干涉的波是否通過同一路徑傳播。 例如邁克爾遜干涉儀就是常見的多路徑干涉儀, 而Sagnac干涉儀, 等傾干涉和等厚干涉等即為單路徑干涉儀(鐘錫華, 陳熙謀, 2002) [3]。
但是這種單頻的激光儀并非完美,它的一個根本弱點就是受環境影響嚴重,在測試環境惡劣,測量距離較長時,這一缺點十分突出。其原因在于它是一種直流測量系統,必然具有直流光平和電平零漂的弊端。激光干涉儀可動反光鏡移動時,光電接收器會輸出信號,如果信號超過了計數器的觸發電平則就會被記錄下來,而如果激光束強度發生變化,就有可能使光電信號低于計數器的觸發電平而使計數器停止計數,使激光器強度或干涉信號強度變化的主要原因是空氣湍流,機床油霧,切削屑對光束的影響,結果光束發生偏移或波面扭曲。光纖干涉儀:利用光纖中的光波干涉現象,廣泛應用于傳感器、通信等領域。
經M2反射的光三次穿過G2分光板,而經M1反射的光通過G2分光板只一次。G1補償板的設置是為了消除這種不對稱。在使用單色光源時,可以利用空氣光程來補償,不一定要補償板;但在復色光源時,由于玻璃和空氣的色散不同,補償板則是不可或缺的。如果要觀察白光的干涉條紋,臂基本上完全對稱,也就是兩相干光的光程差要非常小,這時候可以看到彩色條紋;假若M1或M2有略微的傾斜,就可以得到等厚的交線處(d=0)的干涉條紋為中心對稱的彩色直條紋,**條紋由于半波損失為暗條紋。邁克爾遜和愛德華·威廉姆斯·莫雷使用這種干涉儀于1887年進行了***的邁克耳遜-莫雷實驗,并證實了以太的不存在。它通過將光束分成兩部分,分別經過不同的路徑后再合并,形成干涉圖樣。姑蘇區購買雙頻激光干涉儀性價比
激光器產生兩束頻率相近的激光(如利用塞曼效應或聲光調制),頻率分別為f1和f2。張家港安裝雙頻激光干涉儀單價
反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2,它們經反射后回到G1(左)的半透半反射膜處,再分別經過透射和反射后,來到觀察區域E。G2(右)為補償板,它與G1為相同材料,有相同的厚度,且平行安裝,目的是要使參加干涉的兩光束經過玻璃板的次數相等,兩束光在到達觀察區域E時沒有因玻璃介質而引入額外的光程差。當M2和M1'嚴格平行時,表現為等傾干涉的圓環形條紋,移動M2時,會不斷從干涉的圓環中心“吐出”或向中心“吞進”圓環。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時,中心就會“吐出”一個個條紋;反之則“吞進”。M2和M1'不嚴格平行時,則表現為等厚干涉條紋,移動M2時,條紋不斷移過視場中某一標記位置,M2平移距離 d 與條紋移動數 N 的關系滿足:d=Nλ/2,λ為入射光波長。張家港安裝雙頻激光干涉儀單價
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