相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快。高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當相對濕度小于30%時，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時間。相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導(dǎo)體潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。風機過濾單元（FFU）是一種空氣自凈裝置，可室內(nèi)吊頂安裝或放置在支架上，使局部級別達到百級。北京實驗室檢測技術(shù)好

潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。遼寧電子廠房環(huán)境檢測方便客戶靜電控制檢測對于電子制造業(yè)的潔凈室尤為重要。

壓差檢測要求：(1)靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進行，一直檢測到直通室外的房間。(3)測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可，測管口面與氣流流線平行。(4)所測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。壓差檢測步驟：(1)先關(guān)閉所有的門。(2)用微差壓計測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標準要求按照潔凈室設(shè)計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值。(1)不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差，應(yīng)不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差，不應(yīng)小于10Pa。(3)對于空氣潔凈度等級嚴于5級(100級)的單向流潔凈室在開門時，門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級別的含塵濃度限值。(4)若達不到以上標準的要求，應(yīng)重新調(diào)整新風量、排風量、至合格為止。

潔凈室因其用途、氣流流型的不同，可分為各種不同冠名的潔凈室。潔凈室按用途的不同可分為工業(yè)潔凈室、生物潔凈室。工業(yè)潔凈室是以控制微粒為主要對象的潔凈室，通常適用于微電子產(chǎn)品生產(chǎn)、精密機械加工、電子元器件和某些電子產(chǎn)品組裝、精細化工、精密儀器儀表生產(chǎn)等[1]。潔凈室必須維持一定的正壓。不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差應(yīng)不小于4.9Pa，潔凈區(qū)與室外的靜壓差應(yīng)不小于9.8Pa。低級別的潔凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的（如沒有受控的微生物），更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。作為生產(chǎn)設(shè)施，凈室可以占據(jù)廠房很多位置使用激光塵埃粒子計數(shù)器可以精確測量空氣中的微粒濃度。

B.4.2.2送風風速風速測點距過濾器出風面約150mm~300mm。測點數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風量，測點數(shù)量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風機-過濾單元(FFU)的出風面上至少要有一個測點。可使用軟簾阻擋對單向流的干擾。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點的測量時間應(yīng)足夠長。對多個測點而言,應(yīng)記錄風速測量平均時間。B.4.2.2送風風速風速測點距過濾器出風面約150mm~300mm。測點數(shù)量應(yīng)足以測定潔凈室和潔凈區(qū)的送風量，測點數(shù)量取測量面積(以平方米計)10倍的平方根,且不少于4個測點。每只過濾器或每臺風機-過濾單元(FFU)的出風面上至少要有一個測點。可使用軟簾阻擋對單向流的干擾。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點的測量時間應(yīng)足夠長。對多個測點而言,應(yīng)記錄風速測量平均時間。潔凈室的氣流組織模式直接影響其潔凈效果，需通過模擬測試驗證。湖北生物安全柜檢測誠信推薦

溫濕度波動范圍的控制對于某些敏感產(chǎn)品的生產(chǎn)至關(guān)重要。北京實驗室檢測技術(shù)好

、溫濕度標準規(guī)定：潔凈區(qū)的溫度和相對濕度與藥品生產(chǎn)工藝要求相適應(yīng)。無特殊要求時，潔凈區(qū)溫度為18℃～26℃，相對濕度控制在45%～65%。有特殊要求車間根據(jù)工藝控制。溫度觀察：檢查溫濕度計是否完整，視線正對溫濕度計水平讀取顯示的數(shù)據(jù)，需要記錄的應(yīng)立即填入表格中。濕度觀察：視線正對濕度表，準確讀數(shù)。需記錄的應(yīng)立即填入表格中。需要加水的濕度計，在觀察前應(yīng)檢查在蓄水腔內(nèi)是否有水，無水則需加入適量水，再觀察濕度。潔凈區(qū)的溫濕度每天至少記錄兩次，上午一次，下午一次。設(shè)備計量人員每年至少組織校驗一次監(jiān)控系統(tǒng)的儀器設(shè)備。北京實驗室檢測技術(shù)好