半導體制造業揮發有機氣體防治研究

前言

半導體制造的過程除了會產生眾多無機有害氣體外，還容易產生大量的揮發有機污染物VOCs。這些有機污染物主要來源于清洗、刻蝕、沉積、鍍膜、光刻、顯影等頻繁使用有機溶劑的工序。半導體生產制造過程中產生的VOCs污染物成分復雜，主要有各類烷烴、烯炔烴類、芳族化合物以及酮、醚類等。大量揮發性的有機污染物進入大氣中不但會對自然生態造成巨大破壞，而且也對人們的身心健康產生嚴重威脅。現代半導體生產制造企業產能擴張，產生了大量工業廢氣進入大氣環境，工業廢氣中難被自然界自凈消除、對動植物危害的就是揮發性有機污染物（VOCs）。這些小分子有機污染氣體通常化學性能活潑，具備極強的化學反應活性，非常容易與自然界中像臭氧、空氣等發生反應，引發越來越嚴重的溫室效應，長期來看甚至可能引發區域性乃至全球性環境危機?？諝庵械膿]發性有機污染物也通過呼吸道進入人體內，不僅會對呼吸道造成損傷，同時也容易引起肝臟、腎臟的病變，長期吸入將增加致風險。因此，加強對半導體企業的監督管理，強化企業排放VOCs的治理極具社會意義。 泵吸式，因而耗電和體積必定會添加，但是由于氣泵的抽氣采樣，可以完成快速的精確的氣體檢測。山東污染檢測氣體檢測儀私人定做

多種氣體檢測儀可以檢測哪些氣體？

多種氣體檢測儀指的是一臺設備同時檢測多種不同氣體的濃度，基于工況環境多種有毒有害氣體濃度檢測需求，多種氣體檢測儀應用領域也較為，比如常見的四合一氣體檢測儀，可以同時檢測氧氣、硫化氫、一氧化碳和可燃氣體，用戶也可以根據現場檢測需求選配其他的氣體，氣體檢測儀廠家根據要求配置不同的傳感，靈活組合的方式可以滿足市場多元化的需求，同時也相應的減少了采購成本。

多合一氣體檢測儀針對多種氣體檢測時需要注意不同氣體對傳感器之間的干擾，氣體的干擾會造成檢測數據不，因此需要咨詢清楚。氣體檢測儀是需要定期的維護保養和標定的。因為環境中的各種污染性氣體和積塵進入探測器是無法避免的，若氣體檢測儀的工作環境還相對惡劣，維護保養不善將會導致氣體檢測儀在檢測過程中出現誤差或不工作。因而定期對氣體檢測儀進行維護保養和標定是防止儀器發生故障的一個重要工作。氣體檢測儀服役期如果超過使用年限，需要及時更換。 廣東氧氣氣體檢測儀而特殊氣體則滿足特殊檢查需求且精細度高，但價格昂貴。

當前，我國正處于工業化、城鎮化加速發展時期，各種自然災害和人為活動帶來的環境風險不斷加劇，突發環境事件的誘因更加多樣、復雜?，F階段，環境惡化狀況尚未得到根本遏制；企業環境違法問題仍然普遍存在，環境安全隱患突出；突發環境事件呈現高發態勢， 跨界污染、重金屬及有毒有害物質污染事件頻發，社會危害和影響明顯加大，環境安全形勢嚴峻。

空氣中VOCs的監測和治理工作已經刻不容緩，實施揮發性有機物的總量管控和監測預警需求已成為大氣污染防治工作的重要手段。

硫化氫中毒+盲目施救 致2死！重慶合川7·24污水廠中毒窒息事故真相查明！

重慶市合川區人民獲悉，重慶市合川區裕華建筑工程有限公司7·24中毒窒息事故調查報告已于近日公布。報告顯示：2021年7月24日，重慶市合川區裕華建筑工程有限公司承建的工業園區區污水處理廠進水主管塌陷應急維修項目發生一起中毒窒息事故，造成2人死亡。該事故造成直接經濟損失290萬元。事故原因為硫化氫中毒+盲目施救。

事故防范和整改措施

要進一步落實安全生產主體責任。建立健全安全生產制度；強化施工現場的安全檢查，及時發現和糾正各類不安全行為；認真開展安全隱患排查治理。加強從業人員的安全生產教育和培訓，切實提高從業人員的安全意識；教育和督促從業人員嚴格執行本單位的安全生產規章制度和安全操作規程。 甲醛屬于無色有刺激性氣味，可引起呼吸道疾病。

使用氣體檢測儀時需要注意的問題

1 注意各類傳感器的壽命 各類氣體傳感器都具有一定的使用年限，即壽命。一般來講，在便攜式儀器中，LEL傳感器的壽命較長，一般可以使用三年左右；光離子化檢測儀的壽命為四年或更長一些；電化學特定氣體傳感器的壽命相對短一些，一般在一年到兩年；氧氣傳感器的壽命短，大概在一年左右。電化學傳感器的壽命取決于其中電解液的干涸,所以如果長時間不用，將其密封放在較低溫度的環境中可以延長一定的使用壽命。固定式儀器由于體積相對較大，傳感器的壽命也較長一些。因此，要隨時對傳感器進行檢測，盡可能在傳感器的有效期內使用，一旦失效，及時更換。

2注意檢測儀器的濃度測量范圍 各類有毒有害氣體檢測器都有其固定的檢測范圍。只有在其測定范圍內完成測量，才能保證儀器準確地進行測定。而長時間超出測定范圍進行測量，就可能對傳感器造成性的破壞。 深圳市睿安環境是專業從事可燃氣體報警器、可燃氣體探測器、氣體檢測報警器，在線監測系統。廣東氧氣氣體檢測儀

兩級三重報警(聲、光、振動)，不易忽略 開機全功能自泄漏檢測，傳感器、電池、電路和報警功能。山東污染檢測氣體檢測儀私人定做

傳感器在氣體檢測中檢測原理的應用

傳感器是氣體檢測變壓器的部位，是檢測氣體濃度的關鍵所在，隨著不同的檢測原理，傳感器也不盡相同。

PID光離子化氣體傳感器

PID由紫外燈光源和離子室等主要部分構成，在離子室有正負電極，形成電場，待測氣體在紫外燈的照射下，離子化，生成正負離子，在電極間形成電流，經放大輸出信號。PID具有靈敏度高，無中毒問題，安全可靠等優點。

迦伐尼電池式氧氣傳感器

隔膜迦伐尼電池式氧氣傳感器的結構：在塑料容器的一面裝有對氧氣透過性良好的、厚10~30μm的聚四氟乙烯透氣膜，在其容器內側緊粘著貴金屬（鉑、黃金、銀等）陰電極，在容器的另一面內側或容器的空余部分形成陽極（用鉛、鎘等離子化傾向大的金屬）。用氫氧化鉀。氧氣在通過電解質時在陰陽極發生氧化還原反應，使陽極金屬離子化，釋放出電子，電流的大小與氧氣的多少成正比，由于整個反應中陽極金屬有消耗，所以傳感器需要定期更換。目前國內技術已日趨成熟，完全可以國產化此類傳感器 山東污染檢測氣體檢測儀私人定做

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