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多功能微流控芯片的MEMS加工

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-05-06

微流控芯片與傳感器集成的模塊化加工方案:為滿足“芯片即實(shí)驗(yàn)室”的集成化需求,公司提供微流控芯片與傳感器的模塊化加工服務(wù),實(shí)現(xiàn)流體控制與信號(hào)檢測(cè)的一體化設(shè)計(jì)。在生物傳感芯片中,微流道下游集成電化學(xué)傳感器(如碳電極陣列)或光學(xué)傳感器(如熒光檢測(cè)窗口),通過(guò)微閥控制實(shí)現(xiàn)樣品進(jìn)樣、清洗及信號(hào)讀取的自動(dòng)化。例如,POCT血糖儀芯片將血樣引入微流道后,通過(guò)酶電極實(shí)時(shí)檢測(cè)葡萄糖氧化反應(yīng)電流,整個(gè)過(guò)程在30秒內(nèi)完成,檢測(cè)精度與傳統(tǒng)血糖儀一致,但體積縮小80%。加工過(guò)程中,公司解決了傳感器與流道的密封兼容性問(wèn)題,采用激光焊接與導(dǎo)電膠鍵合技術(shù),確保信號(hào)傳輸穩(wěn)定性與流體零泄漏。該模塊化方案支持定制化功能組合,適用于食品安全快速篩查等便攜式設(shè)備,為現(xiàn)場(chǎng)即時(shí)檢測(cè)(POCT)提供了高效集成平臺(tái)。微流控芯片技術(shù)用于毛細(xì)管電泳分離。多功能微流控芯片的MEMS加工

多功能微流控芯片的MEMS加工,微流控芯片

微流控芯片在石英和玻璃的加工中,常常利用不同化學(xué)方法對(duì)其表面改性,然后可以使用光刻和蝕刻技術(shù)將微通道等微結(jié)構(gòu)加工在上面。玻璃材料的加工步驟與硅材料加工稍有差異,主要步驟有:1)在玻璃基片表面鍍一層 Cr,再用甩膠機(jī)均勻的覆蓋一層光刻膠;2)利用光刻掩模遮擋,用紫外光照射,光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng);3)用顯影法去掉已曝光的光膠,用化學(xué)腐蝕的方法在鉻層上腐蝕出與掩模上平面二維圖形一致的圖案;4)用適當(dāng)?shù)目涛g劑在基片上刻蝕通道;5)刻蝕結(jié)束后,除去光刻膠,打孔后和玻璃蓋片鍵合。標(biāo)準(zhǔn)光刻和濕法刻蝕需要昂貴的儀器和超凈的工作環(huán)境,無(wú)法實(shí)現(xiàn)快速批量生產(chǎn)。湖北微流控芯片市場(chǎng)規(guī)模干濕結(jié)合刻蝕技術(shù)制備納米級(jí)微針,可用于組織液提取與電化學(xué)檢測(cè)器件。

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高聚物材料加工工藝:是以高聚物材料為基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法、熱壓法、LIGA技術(shù)、激光刻蝕法和軟光刻等。模塑法是先利用半導(dǎo)體/MEMS光刻和蝕刻的方法制作出通道部分突起的陽(yáng)模,然后在陽(yáng)模上澆注液體的高分子材料,將固化后的高分子材料與陽(yáng)模剝離后就得到了具有微結(jié)構(gòu)的基片,之后與蓋片(多為玻璃)封接后就制得高聚物微流控芯片。這一方法簡(jiǎn)單易行,不需要高技術(shù)設(shè)備,是大量生產(chǎn)廉價(jià)芯片的方法。熱壓法也需要事先獲得適當(dāng)?shù)年?yáng)模。

美國(guó)Caliper Life Sciences公司Andrea Chow博士認(rèn)為,微流控技術(shù)的成功取決于技術(shù)上的跨界聯(lián)合、技術(shù)和應(yīng)用,這三個(gè)因素是相關(guān)的。他說(shuō):“為形成聯(lián)合,我們嘗試了所有可能達(dá)到一定復(fù)雜性水平的應(yīng)用。從長(zhǎng)遠(yuǎn)且嚴(yán)密的角度來(lái)對(duì)其進(jìn)行改進(jìn),我們發(fā)現(xiàn)了很多無(wú)需經(jīng)過(guò)復(fù)雜的集成卻有較高使用價(jià)值的應(yīng)用,如機(jī)械閥和微電動(dòng)機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)。改進(jìn)的微流控技術(shù),一般用于蛋白或基因電泳,常常可取代聚丙烯酰胺凝膠電泳。進(jìn)一步開(kāi)發(fā)的微流控芯片可用于酶和細(xì)胞的檢測(cè),在開(kāi)發(fā)新prescription面很有用。微孔陣列技術(shù)實(shí)現(xiàn)液滴陣列化,用于數(shù)字 PCR、高通量藥物篩選等場(chǎng)景。

多功能微流控芯片的MEMS加工,微流控芯片

微針電極與組織液提取芯片的創(chuàng)新加工技術(shù):微針電極作為生物檢測(cè)與給藥的前沿器件,需兼顧機(jī)械強(qiáng)度與生物相容性。公司采用干濕結(jié)合刻蝕工藝,在硅或硬質(zhì)塑料基板上制備直徑10-100μm、高度500-1000μm的微針陣列,針尖曲率半徑控制在5μm以內(nèi),確保穿刺過(guò)程的低創(chuàng)傷性。針對(duì)類***電生理記錄需求,開(kāi)發(fā)了“觸凸”電極結(jié)構(gòu),在微針頂端集成納米級(jí)金屬電極(如金/鉑薄膜),實(shí)現(xiàn)對(duì)單個(gè)細(xì)胞電信號(hào)的高靈敏度捕獲。同時(shí),微針陣列可用于組織液提取,通過(guò)中空結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與毛細(xì)作用,在30秒內(nèi)完成微升量級(jí)體液采集,避免傳統(tǒng)**的痛苦與***風(fēng)險(xiǎn)。該技術(shù)結(jié)合表面親疏水修飾,解決了微針堵塞與生物污染問(wèn)題,已應(yīng)用于連續(xù)血糖監(jiān)測(cè)芯片與藥物透皮遞送系統(tǒng),為可穿戴醫(yī)療設(shè)備提供**組件支持。微流控分為被動(dòng)式微流控和主動(dòng)式微流控。重慶紙基微流控芯片

微流控芯片的組成材料是什么?多功能微流控芯片的MEMS加工

利用微流控芯片做infection疾病抗原和抗體檢測(cè):由病原體引起的infection疾病是一個(gè)嚴(yán)重的全球公共衛(wèi)生問(wèn)題,部分infection疾病具有高傳染性,因此理想的檢測(cè)應(yīng)該具有即時(shí)性,使得患者在檢測(cè)現(xiàn)場(chǎng)得以確診并接受cure,防止傳染病大規(guī)模傳播和暴發(fā)。目前一些微流控芯片已經(jīng)被成功地用于識(shí)別病原體分子標(biāo)志物和infection診斷。Pham等利用金屬納米粒子的信號(hào)放大作用,開(kāi)發(fā)一款高敏感性快速檢測(cè)瘧疾抗原的微流控芯片,其敏感性接近臨床常規(guī)檢測(cè)方式。利用微流控芯片高通量性質(zhì)等,設(shè)計(jì)的微流控芯片可對(duì)多種病毒同時(shí)檢測(cè),節(jié)省傳染性疾病初始篩查時(shí)間并降低成本,此芯片還通過(guò)檢測(cè)每種病毒的多種抗原來(lái)提高檢測(cè)敏感性和特異性。多功能微流控芯片的MEMS加工

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