MEMS繼電器與開關。其優勢是體積小（密度高，采用微工藝批量制造從而降低成本），速度快，有望取代帶部分傳統電磁式繼電器，并且可以直接與集成電路IC集成，極大地提高產品可靠性。其尺寸微小，接近于固態開關，而電路通斷采用與機械接觸（也有部分產品采用其他通斷方式），其優勢劣勢基本上介于固態開關與傳統機械開關之間。MEMS繼電器與開關一般含有一個可移動懸臂梁，主要采用靜電致動原理，當提高觸點兩端電壓時，吸引力增加，引起懸臂梁向另一個觸電移動，當移動至總行程的1/3時，開關將自動吸合（稱之為pullin現象）。pullin現象在宏觀世界同樣存在，但是通過計算可以得知所需的閾值電壓高得離譜，所以我們日常中幾乎不會看到。MEMS微流控芯片是什么？采用MEMS加工的MEMS微納米加工方法

MEMS超表面對光電特性的調控：

1.超表面meta-surface對相位的調控：相位是電磁波的一個重要屬性，等相位面決定了電磁波的傳播方向，一副圖像的相位則包含了其立體信息。通過控制電磁波的相位，可以實現光束偏轉、超透鏡、超全息、渦旋光產生、編碼、隱身、幻像等功能。

2.超表面meta-surface對電磁波多個自由度的聯合調控：超表面可以實現對電磁波相位、振幅、偏振等自由度的同時調控。比如，通過對電磁波的相位和振幅的聯合調控，可以實現立體超全息，通過對電磁波的相位和偏振的聯合調控，可以實現矢量渦旋光；通過對電磁波的相位和頻率的聯合調控，可以實現非線性超透鏡等功能。

3.超表面meta-surface對波導模式的調控：可將“超構光學”的概念與各類光波導平臺相結合，將超構表面或超構材料集成在各類光波導結構上，則可以在亞波長尺度下對波導中的光信號進行靈活自由的調控。利用上表面集成了超構表面的介質光波導結構，可以實現多功能的光耦合、光探測、偏振/波長解復用、結構光激發、波導模式轉化、片上光信號變換、光學神經網絡、光路由等應用 。 海南MEMS微納米加工設計MEMS的單分子免疫檢測是什么？

MEMS制作工藝-太赫茲傳感器：

太赫茲（THz）波憑借其可以穿透大多數不透光材料的特點，在對材料中隱藏物體和缺陷的無損探測方面具有明顯的優勢。然而，由于受到成像速度和分辨率的束縛，現有的太赫茲探測系統面臨著成像通量和精度的限制。此外，使用大陣列像素計數成像的基于機器視覺的系統由于其數據存儲、傳輸和處理要求而遭遇瓶頸。

這項研究提出了一種衍射傳感器，該傳感器可利用單像素太赫茲探測器快速探測3D樣品中的隱藏物體和缺陷，從而避免了樣品掃描或圖像形成及處理步驟。利用深度學習優化的衍射層，該衍射傳感器可以通過輸出光譜全光探測樣品的3D結構信息，直接指示是否存在隱藏結構或缺陷。研究人員使用單像素太赫茲時域光譜（THz-TDS）裝置和3D打印衍射層，對所提出的架構進行了實驗驗證，并成功探測了硅樣品中的未知隱藏缺陷。該技術在安全篩查、生物醫學傳感和工業質量控制等方面具有重要的應用價值。

MEMS技術的主要分類：傳感MEMS技術是指用微電子微機械加工出來的、用敏感元件如電容、壓電、壓阻、熱電耦、諧振、隧道電流等來感受轉換電信號的器件和系統。它包括速度、壓力、濕度、加速度、氣體、磁、光、聲、生物、化學等各種傳感器，按種類分主要有:面陣觸覺傳感器、諧振力敏感傳感器、微型加速度傳感器、真空微電子傳感器等。傳感器的發展方向是陣列化、集成化、智能化。由于傳感器是人類探索自然界的觸角，是各種自動化裝置的神經元，且應用領域大，未來將備受世界各國的重視。MEMS的繼電器與開關是什么？

MEMS傳感器的主要應用領域有哪些？

2、汽車MEMS壓力傳感器主要應用在測量氣囊壓力、燃油壓力、發動機機油壓力、進氣管道壓力及輪胎壓力。這種傳感器用單晶硅作材料，以采用MEMS技術在材料中間制作成力敏膜片，然后在膜片上擴散雜質形成四只應變電阻，再以惠斯頓電橋方式將應變電阻連接成電路，來獲得高靈敏度。車用MEMS壓力傳感器有電容式、壓阻式、差動變壓器式、聲表面波式等幾種常見的形式。而MEMS加速度計的原理是基于牛頓的經典力學定律，通常由懸掛系統和檢測質量組成，通過微硅質量塊的偏移實現對加速度的檢測，主要用于汽車安全氣囊系統、防滑系統、汽車導航系統和防盜系統等，除了有電容式、壓阻式以外，MEMS加速度計還有壓電式、隧道電流型、諧振式和熱電偶式等形式。 MEMS傳感器基本構成是什么？湖北MEMS微納米加工共同合作

MEMS歷史悠久，技術集成程度較高。采用MEMS加工的MEMS微納米加工方法

主要由傳感器、作動器（執行器）和微能源三大部分組成，但現在其主要都是傳感器比較多。

特點：1.和半導體電路相同，使用刻蝕，光刻等微納米MEMS制造工藝，不需要組裝，調整；2.進一步的將機械可動部，電子線路，傳感器等集成到一片硅板上；3.它很少占用地方，可以在一般的機器人到不了的狹窄場所或條件惡劣的地方使用4.由于工作部件的質量小，高速動作可能；5.由于它的尺寸很小，熱膨脹等的影響小；6.它產生的力和積蓄的能量很小，本質上比較安全。 采用MEMS加工的MEMS微納米加工方法

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