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半導(dǎo)體失效分析

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-05-21

技術(shù)規(guī)范:X射線源:20-100kV,10W,焦點(diǎn)尺寸<5μm@4WX射線探測器:1600萬像素(4904×3280像素)或1100萬像素(4032×2688像素)14位冷卻式CCD光纖連接至閃爍體標(biāo)稱分辨率(放大率下樣品的像素):1600萬像素探測器<0.35um;1100萬像素探測器<0.45um,重建容積圖(單次掃描):1600萬像素探測器,14456×14456×2630像素1100萬像素探測器,11840×11840×2150像素掃描空間:0-直徑75mm,長70mm輻射安全:在儀器表面的任何一點(diǎn)上<1uSv/h外形尺寸:1160(寬)×520(深)×330(高)毫米(帶樣品切換器高440毫米)重量:150千克,不含包裝電源:100-240V/50-60Hz。布魯克的材料試驗(yàn)臺(tái)可以進(jìn)行比較大4400 N的壓縮試驗(yàn)和比較大440 N的拉伸試驗(yàn)。半導(dǎo)體失效分析

半導(dǎo)體失效分析,顯微CT

SKYSCAN1272CMOS憑借Genius模式可自動(dòng)選擇參數(shù)。只需單擊一下,即可自動(dòng)優(yōu)化放大率、能量、過濾、曝光時(shí)間和背景校正。而且,由于能讓樣品和大尺寸CMOS探測器盡可能地靠近光源,它能大幅地增加實(shí)測的信號(hào)強(qiáng)度。正是因?yàn)檫@個(gè)原因,SKYSCAN1272CMOS的掃描速度比探測器位置固定的常規(guī)系統(tǒng)較為多可快5倍。SKYSCAN1272CMOS纖維和復(fù)合材料FFP2口罩的三維渲染,根據(jù)局部取向?qū)w維進(jìn)行彩色編碼通過將材料組合成復(fù)合材料,獲得的組件可以擁有更高的強(qiáng)度,同時(shí)大為減輕重量。而要想進(jìn)一步優(yōu)化組件性能,就必須確保組成成分的方向能被優(yōu)化。較為常用的組分之一是纖維,有混凝土中的鋼筋,電子元件中的玻璃纖維,還有航空材料中的碳納米管。XRM可用于檢測纖維和復(fù)合材料,而無需進(jìn)行橫切,從而確保樣品狀態(tài)不會(huì)在制備樣品的過程中受到影響。1.嵌入對象的方向2.層厚、纖維尺寸和間隔的定量分析3.采用原位樣品臺(tái)檢測溫度和物理性質(zhì)。江蘇特殊顯微CT配件CT-Analyser(即CTAn)可以針對顯微CT結(jié)果進(jìn)行準(zhǔn)確、詳細(xì)的形態(tài)學(xué)與密度學(xué)研究。

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X射線顯微CT:先進(jìn)的無損三維顯微鏡顯微CT即Micro-CT,為三維X射線成像,與醫(yī)用CT(或“CAT”)原理相同,可進(jìn)行小尺寸、高精度掃描。通過對樣品內(nèi)部非常細(xì)微的結(jié)構(gòu)進(jìn)行無損成像,真正實(shí)現(xiàn)三維顯微成像。無需樣本品制備、嵌入、鍍層或切薄片。單次掃描將能實(shí)現(xiàn)對樣品對象的完整內(nèi)部三維結(jié)構(gòu)的完整成像,并且可以完好取回樣本品!特點(diǎn):先進(jìn)的掃描引擎—可變掃描幾何:可以提高成像質(zhì)量,或?qū)呙钑r(shí)間縮短1/2到1/5支持重建、分析和逼真成像的軟件套件自動(dòng)樣品切換器

特點(diǎn)介紹SkyScan1272是一臺(tái)具有革新意義的高分辨三維X射線顯微成像系統(tǒng)統(tǒng)。單次掃描比較高可獲得2000張,每張大小為146M(12069x12069像素)的超清無損切片,用于之后高分辨三維重建。通過先進(jìn)的相襯增強(qiáng)技術(shù),SkyScan1272對樣品的細(xì)節(jié)檢測能力(分辨率)高達(dá)450納米。SkyScan1272采用了布魯克所有的自動(dòng)可變掃描幾何系統(tǒng),不但樣品到光源的距離可調(diào),探測器到光源的距離也可調(diào)。因此,可變幾何系統(tǒng)能在空間分辨率、可掃描樣品尺寸、掃描速度、圖像質(zhì)量之間找到完美的平衡。相比于傳統(tǒng)的探測器-光源固定距離模式,在分辨率不變的情況下,掃描速度可提高2-5倍,同時(shí)保證得到相同的甚至更好的圖像質(zhì)量。而且這種掃描幾何的改變,無需人工干預(yù),軟件會(huì)自動(dòng)根據(jù)用戶選定的圖像放大倍數(shù),自動(dòng)優(yōu)化掃描幾何,以期在比較好分辨率、短時(shí)間內(nèi)得到高質(zhì)量數(shù)據(jù)。SkyScan1272配備了的分層重構(gòu)軟件InstaRecon®,得益于其獨(dú)特的算法,重建速度比常規(guī)Feldkamp算法快10-100倍,適用于更大規(guī)模數(shù)據(jù)的成像處理。XRM可在無損情況下實(shí)現(xiàn)內(nèi)部結(jié)構(gòu)的可視化,避免切片造成的微觀結(jié)構(gòu)的改變。

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SKYSCAN2214功能光源00:00/01:47高清1xSKYSCAN2214采用全新一代的開放型X光源。該光源可達(dá)到優(yōu)于500nm的實(shí)際空間分辨率,高達(dá)160keV的X光能量,以及高達(dá)16W的功率。因?yàn)閾碛袠O其簡單的預(yù)先配準(zhǔn)的燈絲更換程序,該光源幾乎不需要維護(hù)。SKYSCAN2214擁有帶金剛石窗口的開放型(泵式)納米焦點(diǎn)X光源。它能產(chǎn)生峰能量從20kV到160keV不等的X光束,并提供有兩種類型的陰極。鎢(W)陰極適用于較高達(dá)到160kV的完整加速電壓范圍,光斑尺寸小達(dá)到800nm。六硼化鑭(LaB6)陰極適用于從20kV到100kV的加速電壓,X光束的光斑尺寸可以小于500nm,從而確保在成像和三維重建中達(dá)到最高分辨率。JIMA分辨率測試卡顯示,它能輕松解析出500nm的結(jié)構(gòu)。為了確保焦斑尺寸和發(fā)射源的位置能夠長期保持穩(wěn)定,X光源還能配備水冷系統(tǒng),該系統(tǒng)含有一個(gè)循環(huán)裝置,能準(zhǔn)確地控制冷卻液體的溫度以維持溫度的穩(wěn)定。各項(xiàng)異性就是在進(jìn)行平滑處理時(shí)各個(gè)方向并不相同,就垂直于邊界的區(qū)域進(jìn)行平滑處理,保持邊界不會(huì)變的模糊。江蘇電子三維模型顯微CT推薦咨詢

確定結(jié)構(gòu)的厚度、結(jié)構(gòu)間隔實(shí)現(xiàn)空隙網(wǎng)絡(luò)可視化、壓縮和拉伸臺(tái)進(jìn)行原位力學(xué)試驗(yàn)、確定開孔孔隙和閉孔孔隙度。半導(dǎo)體失效分析

SKYSCAN1275–QualityinspectionAdditiveManufacturingAdditiveManufacturedpartBedfusion,pureAlpowderCourtesyofIRTDuppigheimScanConditionsSKYSCAN1275Voxelsize:15μm1mmAlfilter80kV–10W4verticalconnectedsectionsAutomaticallyandseamlesslystitchedtogetherScantime:22minutespersectionFast,easytousepush-buttonCTwithSKYSCAN1275Packaging–sealqualityEvaluationofmanufacturingprocessofthesecomponentsReferenceandproducedpartscanbescannedandcompared半導(dǎo)體失效分析

標(biāo)簽: 顯微CT XRD衍射儀
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