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奧地利納米壓印有哪些品牌

來源: 發布時間:2021-12-24

EVG ® 620 NT特征:

頂部和底部對準能力

高精度對準臺

自動楔形補償序列

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術

**小化系統占地面積和設施要求

分步流程指導

遠程技術支持

多用戶概念(無限數量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)

敏捷處理和轉換工具

臺式或帶防震花崗巖臺的單機版


EVG ® 620 NT附加功能:

鍵對準

紅外對準

SmartNIL

μ接觸印刷技術數據

晶圓直徑(基板尺寸)

標準光刻:比較大150毫米的碎片

柔軟的UV-NIL:比較大150毫米的碎片

SmartNIL ®:在100毫米范圍

解析度:≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:軟UV-NIL&SmartNIL

®

曝光源:汞光源或紫外線LED光源

對準:

軟NIL:≤±0.5 μm

SmartNIL ®:≤±3微米

自動分離:柔紫外線NIL:不支持;SmartNIL

®:支持


工作印章制作:柔軟的UV-NIL:外部:SmartNIL ®:支持


SmartNIL集成多次使用的軟標記處理功能,并具有顯著的擁有成本的優勢,同時保留可擴展性和易于維護的特點。奧地利納米壓印有哪些品牌

SmartNIL是行業**的NIL技術,可對小于40 nm *的極小特征進行圖案化,并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合,可實現****的吞吐量,并具有顯著的擁有成本優勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現了納米壓印的長期前景,即納米壓印是一種用于大規模制造微米級和納米級結構的低成本,大批量替代光刻技術。

注:*分辨率取決于過程和模板


如果需要詳細的信息,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。 中國香港納米壓印用于生物芯片EVG ? 610也可以設計成紫外線納米壓印光刻系統。

HERCULES®NIL:完全集成的納米壓印光刻解決方案,可實現300 mm的大批量生產

■批量生產低至40 nm的結構或更小尺寸(分辨率取決于過程和模板)

■結合了預處理(清潔/涂布/烘烤/冷卻)和SmartNIL®技術

■全自動壓印和受控的低力分離,可很大程度地重復使用工作印章

■具備工作印章制造能力


EVG®770:連續重復的納米壓印光刻技術,可進行有效的母版制作

■用于晶圓級光學器件的微透鏡的高 效母模制造,直至SmartNIL®的納米結構

■不同類型的母版的簡單實現

■可變的光刻膠分配模式

■分配,壓印和脫模過程中的實時圖像

■用于壓印和脫模的原位力控制


    ”EV集團的技術研發與IP主管MarkusWimplinger說,“通過與供應鏈的關鍵企業的合作,例如DELO,我們能夠進一步提高效率,作為與工藝和設備**們一同研究并建立關鍵的新生產線制造步驟的中心。”“EVG和DELO分別是晶圓級光學儀器與NIL設備與光學材料的技術與市場**企業。雙方在將技術與工藝流程應用于大規模生產方面有可靠的經驗,”DELO的董事總經理RobertSaller說道。“通過合作,我們將提供自己獨特的技術,將晶圓級工藝技術應用于光學器件和光電器件制造中,EVG也成為我們***產品開發的理想合作伙伴。這種合作還將使我們以應用**和前列合作伙伴的身份為客戶服務。"晶圓級光學元件的應用解決方案EVG的晶圓級光學器件解決方案為移動式消費電子產品提供多種新型的光學傳感設備。主要的例子是:3D感應,飛行時間,結構光,生物特征身份認證,面部識別,虹膜掃描,光學指紋,頻譜檢測,環境感應與紅外線成像。其它應用領域包括汽車照明,光地毯,平視顯示器,車內感應,激光雷達,內窺鏡照相機醫學成像,眼科設備與手術機器人。EVG的晶圓級光學儀器解決方案得到公司的NILPhotonics解決方案支援中心的支持。DELO創新的多功能材料幾乎可以在世界上每部手機上找到。IQ Aligner UV-NIL是自動化紫外線納米壓印光刻系統,是用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印的系統。

EVG ® 510 HE特征:

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應用

自動化壓花工藝

EVG專有的**對準工藝,用于光學對準的壓印和壓印

完全由軟件控制的流程執行

閉環冷卻水供應選項

外部浮雕和冷卻站


EVG ® 510 HE技術數據:

加熱器尺寸:150毫米 ,200毫米

比較大基板尺寸:150毫米,200毫米

**小基板尺寸:單芯片,100毫米

比較大接觸力:10、20、60 kN

比較高溫度:標準:350°C;可選:550°C

夾盤系統/對準系統

150毫米加熱器:EVG ® 610,EVG ® 620,EVG ® 6200

200毫米加熱器:EVG ® 6200,MBA300,的Smart View ® NT

真空:

標準:0.1毫巴


可選:0.00001 mbar


EVG先進的多用戶概念可以適應從初學者到**級別的所有需求,因此使其成為大學和研發應用程序的理想選擇。奧地利納米壓印有哪些品牌

NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經濟、高 效的方法。奧地利納米壓印有哪些品牌

IQ Aligner UV-NIL 自動化紫外線納米壓印光刻系統

應用:用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統

IQ Aligner UV-NIL系統允許使用直徑從150 mm至300 mm的壓模和晶片進行微成型和納米壓印工藝,非常適合高度平行地制造聚合物微透鏡。該系統從從晶圓尺寸的主圖章復制的軟性圖章開始,提供了混合和整體式微透鏡成型工藝,可以輕松地將其與工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合相適應。此外,EV Group提供合格的微透鏡成型工藝,包括所有相關的材料專業知識。EV Group專有的卡盤設計可為高產量大面積印刷提供均勻的接觸力。配置包括從壓印基材上釋放印章的釋放機制。


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岱美儀器技術服務(上海)有限公司主營品牌有岱美儀器技術服務,發展規模團隊不斷壯大,該公司其他型的公司。公司是一家有限責任公司企業,以誠信務實的創業精神、專業的管理團隊、踏實的職工隊伍,努力為廣大用戶提供***的產品。以滿足顧客要求為己任;以顧客永遠滿意為標準;以保持行業優先為目標,提供***的磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發。岱美儀器技術服務自成立以來,一直堅持走正規化、專業化路線,得到了廣大客戶及社會各界的普遍認可與大力支持。

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