滿足您需求的輪廓儀
使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求
保護性: 非接觸式光學輪廓儀
耐用性更強， 使用無損
可操作性:一鍵式操作，操作更簡單，更方便
智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數
個性化: 定制化客戶報告模式
更好用戶體驗： 迅捷的售后服務，個性化應用軟件支持
1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導軌作為直線測量基準，具有穩定性好、承載大、**磨損等優點，達到國內同類產品較高精度。 2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數據采樣分辨率，準確度高，穩定性好。（網絡） NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度：200mm/s 。臺積電輪廓儀報價
輪廓儀產品概述：
NanoX-2000/3000
系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光
垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩定性）定量地反映出被測件的表面粗
糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加
工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。
想要了解更多的信息，請聯系我們岱美儀器。 太陽能電池輪廓儀值得買輪廓儀可用于：微結構均勻性 缺 陷，表面粗糙度。
輪廓儀的性能
測量模式
移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）
樣 品 臺
150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）
XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°
可選手動/電動樣品臺
CCD 相機像素
標配：1280×960
視場范圍
560×750um（10×物鏡）
具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機
光學系統
同軸照明無限遠干涉成像系統
光 源
高 效 LED
Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）
Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描，拓展達 10mm )
縱向分辨率 ＜0.1nm
RMS 重復性* 0.005nm，1σ
臺階測量** 準確度 ≤0.75％；重復性 ≤0.1%，1σ
橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）
檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD
輪廓的角度處理:
角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理：直線度、凸度、LG凸度、對數曲線 。
白光輪廓儀的典型應用：
對各種產品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程。
輪廓儀對精密加工的意義
現代化高新技術的飛速發展離不開硬件設施和軟件系統的配套支持，在精密加工領域同樣如此，雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產品的“身影”，但是它卻與我們的生活息息相關。例如在光學玻璃、集成電路、汽車零部件、機器人**器件、航空航天材料、****設備等領域，都需要對加工的成品進行檢測，從物體表面光滑到粗糙的參數，其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數，作為評定該物件是否合格的標準。因此光學輪廓儀應運而生，以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用： NanoX-8000 Z 軸聚焦：100mm行程自動聚焦，0.1um移動步進。基恩士輪廓儀測樣
LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。臺積電輪廓儀報價
輪廓儀的技術原理
被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉
移相法(PSI) 高度和干涉相位
f = (2p/l ) 2 h
形貌高度: < 120nm
精度: < 1nm
RMS重復性: 0.01nm
垂直掃描法
(VSI+CSI)
精度： ?/1000 干涉信號~光程差位置
形貌高度: nm-mm,
精度: >2nm
干涉測量技術：快速靈活、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響
以下來自網絡：
輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數值的儀器，采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業的應用十分***。
臺積電輪廓儀報價
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