2）共聚焦顯微鏡方法
共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機(jī)。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié)，但是在共焦圖像中，通過多***盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn)。200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。 光學(xué)系統(tǒng)：同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)。3D輪廓儀其他高精密儀器
輪廓儀的培訓(xùn)
一、 培訓(xùn)承諾
系統(tǒng)建成后，我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓(xùn)和技術(shù)資詢；培訓(xùn)地點(diǎn)可以在我公司，亦或在工程現(xiàn)場；
系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人，由業(yè)主指定，我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng)；
1.1. 培訓(xùn)對象
系統(tǒng)操作及管理人員（培訓(xùn)對象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員）；
其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。
1.2. 培訓(xùn)內(nèi)容
系統(tǒng)操作使用說明書。
培訓(xùn)課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等，具體內(nèi)容如下：
* 系統(tǒng)文檔解讀；
* 系統(tǒng)的技術(shù)特點(diǎn)、安裝維護(hù)和系統(tǒng)管理方式；
* 系統(tǒng)一般故障排除。
Bruker輪廓儀試用一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右。
輪廓儀的**團(tuán)隊
夏勇博士，江蘇省雙創(chuàng)人才
15年ADE，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)、項目管理經(jīng)驗
SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人，太陽能在線檢測設(shè)備
唐壽鴻博士，國家千人****
25年 ADE，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗
KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān)，***圖像處理、算法**
許衡博士，軟件系統(tǒng)研發(fā)
10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗（BD Medical
Instrument）
光學(xué)測量、軟件系統(tǒng)
岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持，為您排憂解難。
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)
? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC
? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm
? XY運(yùn)動速度
**快
如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù)，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。
我們主要經(jīng)營鍵合機(jī)、光刻機(jī)、輪廓儀，隔振臺等設(shè)備。 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。
1.3. 培訓(xùn)計劃
在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后，即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點(diǎn)、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等，讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個***的認(rèn)識。
在整個系統(tǒng)驗收前后，安排有關(guān)人員在進(jìn)行培訓(xùn)。
1.4. 培訓(xùn)形式
公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點(diǎn)；
向受訓(xùn)學(xué)員提供和解釋有關(guān)設(shè)計文件及圖紙等資料，使學(xué)員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握；
針對系統(tǒng)的具體操作一一指導(dǎo)，使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng)；
對學(xué)員提出的問題進(jìn)行詳細(xì)解答；
共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn)。晶片輪廓儀推薦廠家
支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC。3D輪廓儀其他高精密儀器
表面三維輪廓儀對精密加工的作用：
一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性：
通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數(shù)，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離，**終導(dǎo)致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。
二、提高效率：
智能化檢測，全自動測量，檢測時只需將物件放置在載物臺，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù)，即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點(diǎn)，**提高加工效率。
三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析：
表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù)，無論加工的物件使用哪一種評定標(biāo)準(zhǔn)，都可以提供***的檢測結(jié)果作為評定依據(jù)，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。
四、穩(wěn)定性強(qiáng)，高重復(fù)性：
儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計，不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合，保證高重復(fù)性，將測量誤差降低到亞納米級別。 3D輪廓儀其他高精密儀器
岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位。公司業(yè)務(wù)分為磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)等，目前不斷進(jìn)行創(chuàng)新和服務(wù)改進(jìn)，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。公司秉持誠信為本的經(jīng)營理念，在儀器儀表深耕多年，以技術(shù)為先導(dǎo)，以自主產(chǎn)品為重點(diǎn)，發(fā)揮人才優(yōu)勢，打造儀器儀表良好品牌。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊、服務(wù)為榮、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實”的經(jīng)營理念，全力打造公司的重點(diǎn)競爭力。