NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術參數

3D測量主要技術指標（1）：

測量模式： PSI + VSI + CSI

Z軸測量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標配/500um選配）

10mm 精密電機拓展掃描

CCD相機： 1920x1200 高速相機（標配）

干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )

物鏡切換： 5孔電動鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)

Z軸聚焦： 高精密直線平臺自動聚焦

照明系統： 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換（綠色/藍色）

傾斜調節： ±5°電動調節

橫向分辨率： ≥0.35μm（與所配物鏡有關）

3D測量主要技術指標（2）：

垂直掃描速度： PSI : <10s，VSI/CSI：< 38um/s

高度測量范圍： 0.1nm – 10mm

表面反射率： > 0.5%

測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm

準確度 < 1nm

RMS重復性 < 0.01nm (1σ)

臺階高重復性：0.15nm(1σ)

VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm

準確度<1%

重復性<0.1% (1σ，10um臺階高) 測量模式：移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）。材料表面輪廓儀有哪些品牌

滿足您需求的輪廓儀  

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護性: 非接觸式光學輪廓儀

耐用性更強， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作，操作更簡單，更方便  

智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數  

個性化: 定制化客戶報告模式 

更好用戶體驗： 迅捷的售后服務，個性化應用軟件支持

1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導軌作為直線測量基準，具有穩定性好、承載大、**磨損等優點，達到國內同類產品較高精度。  2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數據采樣分辨率，準確度高，穩定性好。（網絡） 江蘇半導體設備輪廓儀每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊。

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數值的儀器，采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業的應用十分***。（來自網絡）

先進的輪廓儀集成模塊

60年世界水平半導體檢測技術研發和產業化經驗 

所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等 

PI ，納米移動平臺及控制

Nikon，干涉物鏡

NI，信號控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺

世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺

VS2012/64位，.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計算機

輪廓儀是一種兩坐標測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉換成電信號，該電信號經放大和處理，再轉換成數字信號儲存在計算機系統的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進行數字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標，或放大的實際輪廓曲線，測量結果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出。（來自網絡）

輪廓儀在集成電路的應用：

封**ump測量  

視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry，Rz，…

器件多層結構臺階高  MEMS 器件多層結構分析、工藝控制參數分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠實現激光槽寬度、深度自動識別和數據自動生成，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性，可靠性問題

幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區域的面積和集體，特征圖形的位置和數量等）。

強大的輪廓儀光電一體軟件

美國硅谷研發、中英文自由切換

光機電一體化軟硬件集成

三維分析處理迅速，結果實時更新

縮放、定位、平移、旋轉等三維圖像處理

自主設定測量閾值，三維處理自動標注

測量模式可根據需求自由切換

三維圖像支持高清打印

菜單式參數設置，一鍵式操作，人機界面個性直觀

個性化軟件應用支持

可進行軟件在線升級和遠程支持服務

10 年硅谷世界500強研發經驗（BD Medical

Instrument）

光學測量、軟件系統

岱美儀器將為您提供全程的服務。

傳統光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節.材料表面輪廓儀有哪些品牌

由于在重大工程、工業裝備和質量保證、基礎科研中，儀器儀表都是必不可少的基礎技術和裝備重點，除傳統領域的需求外，新興的智能制造、離散自動化、生命科學、新能源、海洋工程、軌道交通等領域也會產生巨大需求。中國的新型工業化進程，信息化和工業化融合的進一步加深，帶動各個工業領域對于磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發等產品的需求。磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】產品普遍運用于工業、農業、交通、科技、環保、**、文教衛生、大家生活等各個領域，在旺盛市場需求的帶動下和我國宏觀調控政策的引導下，我國儀器儀表行業的發展有了長足的進步空間。儀器儀表在工業發展中具有重要作用，這也使得儀器儀表得到快讀發展。各行各業對儀器儀表的市場需求也在不斷提升，銷售企業正在發展中尋求技術創新和質量提升。儀器儀表的質量、性能關系到工業安全，必須重視。材料表面輪廓儀有哪些品牌

岱美儀器技術服務（上海）有限公司主要經營范圍是儀器儀表，擁有一支專業技術團隊和良好的市場口碑。公司自成立以來，以質量為發展，讓匠心彌散在每個細節，公司旗下磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發深受客戶的喜愛。公司從事儀器儀表多年，有著創新的設計、強大的技術，還有一批**的專業化的隊伍，確保為客戶提供良好的產品及服務。岱美儀器技術服務憑借創新的產品、專業的服務、眾多的成功案例積累起來的聲譽和口碑，讓企業發展再上新高。