LFS
LFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上,并與標準AVI / LP系統結合使用在前饋環路中,以提高非常低頻率的振動隔離。LFS可以改裝為現有的AVI-LP系統。
LFS-3的設計、制造和測試均符合測量和控制設備的安全規定,并滿足EEC指令73/23的相關要求。系統符合EEC指令89/336(電磁兼容性)
每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要,但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座(診斷插座)連接到傳感器。 測振傳感器不斷監測振動,制動器根據這些信號產生反向力,以保持比較好的隔振狀態。掃描式電子顯微鏡SEM隔振臺服務為先
地板上沒有AVI產品加速度的數據。(圖中橫坐標為頻率,縱坐標為加速度)
加上AVI產品開啟隔振功能后,加速度的數據。(圖中橫坐標為頻率,縱坐標為加速度)
Herz
Low Frequency Sensor (LFS-3)低頻感應器
LFS-3性能LFS-3感應器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz. 感應器直接放到地板上和AVI系列產品連在組成一個正向循環可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產品。
如果想要了解更多信息請聯系我們岱美儀器。謝謝! 光刻機隔振臺質保期多久AVI主動隔振系統幫助精密儀器在基礎研究、應用研究、生產等方面創造穩定的測量和生產環境。技術指標:頻率負載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米
隔離:動態(超過1kHz)
透射率:參見附件曲線10Hz以上的透射率<(-40dB)
矯正力:垂直+/-8N水平+/-4N
靜態合規性:大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N
比較大負載:140公斤尺寸:500x600x84毫米
重量:28.5kg
電的安全等級:1個能量消耗:比較大10W負載調整時20W輸入電壓:115-230VAC+/-10%50-60Hz
超載:顯示屏指示負載過重或嚴重失衡
監控信號:示波器上顯示的多路復用信號顯示有無隔離的振動水平-*用于診斷目的
前面板顯示菜單:顯示儀器狀態,包括:-高度調節-隔離開/關-過載-運輸鎖定-技術熱線
桌上尺寸:500x600毫米。
***使用AVI系統時,將前面板隔離開關設置為關閉(黑色旋鈕熄滅)。打開電源。電源指示燈現在將點亮,16個顯示LED將短暫閃爍。黃色啟用LED將在約2Hz時閃爍。如果出現劇烈振動或把手放在桌面上,部分或全部LED將閃爍。打開電源約30秒后,您可以將隔離開關推到打開位置(黑色旋鈕進入)。黃色LED現在將一直亮起,表示系統正在隔離。
把手輕輕地放在桌面上。可能會有一個或多個LED亮起,表示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。 隔振效率可以達到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。
TS-300結合了久經考驗的技術特點和優雅且用戶友好的設計
TS-300的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40dB
缺少低頻諧振意味著比大多數常見的被動空氣阻尼方法要好得多
TS系統的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩定性
TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式
精確的自動高度調節機制即使在負載發生重大變化后也能將頂板穩定在比較好工作水平
遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”
如果想要了解更多信息請聯系我們岱美儀器。 LFS-3性能使用測振儀的H-1檔并有50公斤的重量下測試的。HERZAN隔振臺電子太平防震臺應用
勵磁箱允許將激勵信號施加到TS隔離系統,以便該系統可以在任何方向上用作振動器。掃描式電子顯微鏡SEM隔振臺服務為先
5、模塊將放置在腳輪板下。將AVI模塊滑到后傾角板下,使模塊從一側到另一側(而不是從前到后)橫跨立柱底面。將它們盡量放在外側,不要碰到腿的側壁。如果您安裝的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40,則每個隔離模塊的寬度為7.5英寸。在這種情況下,每個模塊上的電纜端口應朝內,相互朝向。如果您安裝的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40,則每個隔離模塊的寬度為11.3英寸。在這種情況下,每個模塊上的電纜端口應朝外,彼此遠離。
6、再次在AVI模塊頂部滑動第二個安裝板,前后各27.5英寸,兩側各27英寸,在掃描電鏡腳輪板下方居中。重新連接時,確保AVI模塊和安裝板都不會與掃描電鏡側板接觸。確保AVI模塊和安裝板都不與前端或后端的掃描電鏡支架接觸。
7、系統就位后,使用掃描電鏡水平尺降低掃描電鏡,直到其落在安裝板上。抬起水平尺,直到它們向上并離開。 掃描式電子顯微鏡SEM隔振臺服務為先
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