輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數值的儀器,采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業的應用十分***。(來自網絡)
先進的輪廓儀集成模塊
60年世界水平半導體檢測技術研發和產業化經驗
所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等
PI ,納米移動平臺及控制
Nikon,干涉物鏡
NI,信號控制板和Labview64
控制軟件
TMC 隔震平臺
世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺
VS2012/64位,.NET/C#/WPF
Intel Xeon 計算機
表面三維評定參數由于能更***,更真實的反應零件表面的特征。江蘇中科院輪廓儀
輪廓儀白光干涉的創始人:
邁爾爾遜
1852-1931
美國物理學家
曾從事光速的精密測量工作
邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準。
1881年,他發明了一種用以測量微小長度,折射率和光波波長的干涉儀,邁克爾遜干涉儀。
他和美國物理學家莫雷合作,進行了***的邁克爾遜-莫雷實驗,否定了以太de 存在,為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎。
由于創制了精密的光學儀器和利用這些儀器所完成光譜學和基本度量學研究,邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學獎。 江蘇輪廓儀聯系電話NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度:200mm/s 。
輪廓儀的性能
測量模式
移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)
樣 品 臺
150mm/200mm/300mm 樣品臺(可選配)
XY 平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°
可選手動/電動樣品臺
CCD 相機像素
標配:1280×960
視場范圍
560×750um(10×物鏡)
具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機
光學系統
同軸照明無限遠干涉成像系統
光 源
高 效 LED
Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦(可選電動聚焦)
Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描,拓展達 10mm )
縱向分辨率 <0.1nm
RMS 重復性* 0.005nm,1σ
臺階測量** 準確度 ≤0.75%;重復性 ≤0.1%,1σ
橫向分辨率 ≥0.35um(100 倍物鏡)
檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD
關于三坐標測量輪廓度及粗糙度
三坐標測量機是不能測量粗糙度的,至于測量零件的表面輪廓 ,要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標測量機精度比較高,但零件輪廓度要求不可,是可以用三坐標來代替的。一般三坐標精度都在2-3um左右,而輪廓儀都在2um以內,還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓,因為它有龍門式三坐標和關節臂三坐標,而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊。
輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求?
答:輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴展),Z向測量范圍比較大可達10mm,但由于白光干涉儀單次測量區域比較小(以10X鏡頭為例,在1mm左右),因而在測量大尺寸的樣品時,全檢的方式需要進行拼接測量,檢測效率會比較低,建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區域進行抽點檢測,以單點或多點反映整個面的粗糙度參數;
4.測量的**小尺寸是否可以達到12mm,或者能夠測到更小的尺寸?
如果需要了解更多,請訪問官網。 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀。3D輪廓儀
共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多***盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。江蘇中科院輪廓儀
NanoX-系列產品PCB測量應用測試案例
測量種類
?
基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸
?
基板A Sold Mask粗糙度
?
基板A 綠油區域3D 形貌
?
基板A 綠油區域 Pad 粗糙度
?
基板A 綠油區域粗糙度
?
基板A 綠油區域 pad寬度
?
基板A Trace 3D形貌和尺寸
?
基板B 背面 Pad
NanoX-8000 系統主要性能
? 菜單式系統設置,一鍵式操作,自動數據存儲
? 一鍵式系統校準
? 支持連接MES系統,數據可導入SPC
? 具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm
? XY運動速度 **快
江蘇中科院輪廓儀岱美儀器技術服務(上海)有限公司辦公設施齊全,辦公環境優越,為員工打造良好的辦公環境。致力于創造***的產品與服務,以誠信、敬業、進取為宗旨,以建岱美儀器技術服務產品為目標,努力打造成為同行業中具有影響力的企業。公司不僅*提供專業的磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】,同時還建立了完善的售后服務體系,為客戶提供良好的產品和服務。誠實、守信是對企業的經營要求,也是我們做人的基本準則。公司致力于打造***的磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發。