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歐洲輪廓儀自動化測量

來源: 發布時間:2020-04-12

1.3. 培訓計劃

    在完成系統布線并開始設備安裝后,即向甲方和業主介紹整個系統的概況及性能、特點、設備布置情況和相互之間的關系等,讓甲方和業主對整個系統有一個***的認識。

    在整個系統驗收前后,安排有關人員在進行培訓。


1.4. 培訓形式

    公司指派技術人員向相關人員講解系統的原理、功能、操作及維修保養要點;

    向受訓學員提供和解釋有關設計文件及圖紙等資料,使學員對系統的各個方面都能熟練掌握;

    針對系統的具體操作一一指導,使相關人員掌握技術要領;

    對學員提出的問題進行詳細解答;




共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現。歐洲輪廓儀自動化測量

輪廓儀的性能

測量模式 :

移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)

樣 品 臺 :

150mm/200mm/300mm 樣品臺(可選配)

XY 平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機像素:

標配:1280×960

視場范圍:

560×750um(10×物鏡)

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機

光學系統:

同軸照明無限遠干涉成像系統

光 源:

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦(可選電動聚焦)

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描,拓展達 10mm )

縱向分辨率 <0.1nm

RMS 重復性* 0.005nm,1σ

臺階測量** 準確度 ≤0.75%;重復性 ≤0.1%,1σ

橫向分辨率 ≥0.35um(100 倍物鏡)

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 輪廓測量輪廓儀用途是什么表面三維評定參數由于能更***,更真實的反應零件表面的特征。

關于三坐標測量輪廓度及粗糙度

  三坐標測量機是不能測量粗糙度的,至于測量零件的表面輪廓 ,要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標測量機精度比較高,但零件輪廓度要求不可,是可以用三坐標來代替的。一般三坐標精度都在2-3um左右,而輪廓儀都在2um以內,還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓,因為它有龍門式三坐標和關節臂三坐標,而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。

我們應該如何正確使用輪廓儀?

一、準備工作

1.測量前準備。

2.開啟電腦、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常。

3.擦凈工件被測表面。

二、測量

1.將測針正確、平穩、可靠地移動在工件被測表面上。

2.工件固定確認工件不會出現松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現

3.在儀器上設置所需的測量條件。

4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產生。

5.測量完畢,根據圖紙對結果進行分析,標出結果,并保存、打印。


輪廓儀可用于:散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),生物、醫藥新技術,微流控器件。

1.5. 系統培訓的注意事項

    如何使用電子書閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊;

    數據采集功能的講解:通訊端口、連接計算器、等待時間等參數的解釋和參數設置;

    實際演示一一講解;

    如何做好備份和恢復備份資料;

    當場演示各種報表的操作并進行操作解說;

    數據庫文件應定時作備份,大變動時更應做好備份以防止系統重新安裝時造成資料數據庫的流失;

    在系統培訓過程中如要輸入一些臨時數據應在培訓結束后及時刪除這些資料。

    備注:系統培訓完成后應請顧客詳細閱讀軟件操作手冊,并留下公司“客戶服務中心”的電話與個人名片,以方便顧客電話聯系咨詢。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊。干涉測量輪廓儀特點

但是在共焦圖像中,通過多***盤的操作濾除模糊細節(未聚焦),只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。歐洲輪廓儀自動化測量

輪廓儀的技術原理

被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差(高度差)形成干涉

移相法(PSI)  高度和干涉相位

f = (2p/l ) 2 h

形貌高度: < 120nm

精度: < 1nm

RMS重復性: 0.01nm

垂直掃描法

(VSI+CSI)  

精度: ?/1000   干涉信號~光程差位置

形貌高度: nm-mm,

精度: >2nm

干涉測量技術:快速靈活、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響


以下來自網絡:

輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數值的儀器,采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業的應用十分***。


歐洲輪廓儀自動化測量

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