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TS-300/LP隔振臺大型半導體設備防震臺應用

來源: 發布時間:2021-10-22

TS-150支撐面測試:

盡管這些系統幾乎可以在任何支撐面上運行,但采用軟支撐結構共振放大某些建筑物的振動頻率,因此這些振動頻率會降低隔離的。

您可以通過觀察診斷信號來了解支持結構的適用性同時推動支持。 此測試應禁用隔離。 如果支撐是剛性的信號幾乎不應響應任何方向對支撐的推動。 現在嘗試點擊支持激發其內部共鳴。 通常,支架會對水平**產生更強烈的反應而不是垂直的。 一個非常共振的支撐將顯示長壽命的共振,并且隔離將

在這些頻率上受到嚴重影響。 更好的支撐將顯示出良好的阻尼共振。


AVI 的隔振性能在負載低于 30Hz 以下時是一個重要的參照。TS-300/LP隔振臺大型半導體設備防震臺應用

主動式隔震臺工作機理

主動防振臺通過電氣控制,向傳入振動瞬間施加反方向的力,從而消除振動。測振傳感器不斷監測振動,制動器根據這些信號產生反向力,以保持比較好的隔振狀態。主動式防震臺專門研究10Hz以下低頻范圍的防震。

(1)實際測量的振動結果:AVI 主動隔振頻率范圍在 1.0Hz

到 200Hz之間。完美的隔振系統可控制很大范圍的頻率。

(2)不同負載下的振動傳遞率:

AVI 的隔振性能在負載低于 30Hz 以下時是一個重要的參照。高頻率范圍內,隨著隔振負載增加,隔震效果稍有提升。 隔震器隔振臺應用LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,頻率約為0.2Hz。

TS主動隔振臺在3D空間的6個自由度中主動式隔振  從0.7 Hz 到100 Hz

在21世紀納米技術(即先進的半導體**相關的信息技術,基因療法等生命科學相關技術,原子或分子處理如MEMS和工程技術等新材料生產), 振動、噪聲、電磁領域、熱、濕度、干擾等是測量環境的抑 制因素。

在納米技術中,為了獲得可靠的結果,使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動,此時需要主動隔離。先進的主動式隔振系統“TS 系列” 將作為21世紀納米技術的隔振技術基礎。它將有助于發展目前的技術和測量、創新和發展未知的技術。

裝載設備:

掃描電子顯微鏡,如 AFM3D表面分析儀,激光顯微鏡,激光干涉儀,液體表面張力測量系統,顯微硬度測量儀,

醫療檢測設備等

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度,頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上,與標準AVI/LP系統結合使用在前饋回路中,以提高極低頻時的隔振性能。LFS-3可以被復裝到現有的AVI/LP系統中。下面的圖顯示了在AVI/LP系統上測量的垂直和水平隔離(可傳輸性),其具有和不具有LFS。用AVI-200 S/LP進行測量,增益設置為128(V)和150(H)。


輸入電壓:115/230V

AC,50-60Hz        功耗:比較大20瓦

頻率范圍:0.2-20Hz       尺寸傳感器:255x245x107mm(長x寬x高)

電源尺寸:265x155x73mm(長x寬x高) 重量傳感器:5.9kg

供電重量:1.6kg                        應用:室內

防護等級:IP 20                        溫度范圍 :5°C-40°C

相對濕度:10–90%(5–30°C)


該表在支持靈敏實驗(例如膜片鉗,顯微注射或用于測量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽)方面非常成功。

AVI600-M

AVI 600-M的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元,比較大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數量,可以輕松實現對更高負載的支持。為了使AVI600-S適應用戶特定的應用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。


AVI 600-M的隔離始于1,2 Hz,超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統更好的性能

AVI 600-M系統固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩定性

AVI 600-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式


AVI 600-M緊湊型設備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的處理概念-從而避免在設備上放置沉重的設備(例如SEM)時進行任何復雜的操作。


技術指標:

頻率:  1.2-200 Hz

負載范圍:  0-1200公斤

(單件):  600公斤 Table Stable Ltd:主動隔振以及高 分辨率,高對比度光譜學的全球***。隔震器隔振臺應用

簡單,用戶友好的處理概念-避免在安裝過程中進行復雜的過程。TS-300/LP隔振臺大型半導體設備防震臺應用

AVI-400系列(負載:**多800kg)

型號:AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP

系統形狀:控制器與防振單元分離型

主動控制范圍:被動隔振范圍200Hz以上

確認防振狀態:使用控制器背面的BNC連接器,外部連接,前面的8個LED指示防振狀態

尺寸:190×396×190×720×220×856×

控制器尺寸:241×287×142毫米

承重*800kg

單位重量:約13kg;約19公斤,聯絡我們

電源電壓:95-240VAC,50-60赫茲

耗電量:通常為18W

工作溫度范圍:5℃?40℃工作濕度范圍10?90%(5?30℃)?10?60%(30?40℃)

可選零件(1)裝載板,石板,鑄鐵板*另行咨詢選裝(2)高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨咨詢。 TS-300/LP隔振臺大型半導體設備防震臺應用

岱美儀器技術服務(上海)有限公司致力于儀器儀表,是一家其他型公司。公司業務涵蓋磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發等,價格合理,品質有保證。公司將不斷增強企業重點競爭力,努力學習行業知識,遵守行業規范,植根于儀器儀表行業的發展。在社會各界的鼎力支持下,持續創新,不斷鑄造***服務體驗,為客戶成功提供堅實有力的支持。

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