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山東膜厚儀聯系電話

來源: 發布時間:2020-02-13

F50 系列自動化薄膜測繪Filmetrics F50 系列的產品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平臺可接受標準和客制化夾盤,樣品直徑可達450毫米。(耐用的平臺在我們的量產系統能夠執行數百萬次的量測!)

測繪圖案可以是極座標、矩形或線性的,您也可以創造自己的測繪方法,并且不受測量點數量的限制。內建數十種預定義的測繪圖案。

不同的 F50 儀器是根據波長范圍來加以區分的。 標準的 F50是很受歡迎的產品。 一般較短的波長 (例如, F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜,而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。 測量厚度: 15 — 780 μm (單探頭) ; 3 mm (雙探頭總厚度測量)。山東膜厚儀聯系電話

F60 系列生產環境的自動測繪Filmetrics F60-t 系列就像我們的 F50產品一樣測繪薄膜厚度和折射率,但它增加了許多用于生產環境的功能。 這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺、預裝軟件的工業計算機,以及升級到全自動化晶圓傳輸的機型。

不同的 F60-t 儀器根據波長范圍加以區分。 較短的波長 (例如, F60-t-UV) 一般用于測量較薄的薄膜,而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。 

包含的內容:集成平臺/光譜儀/光源裝置(不含平臺)4", 6" and 200mm 參考晶圓TS-SiO2-4-7200 厚度標準真空泵備用燈 掩模對準膜厚儀有哪些應用產品名稱:紅外干涉厚度測量設備。

厚度標準:

所有 Filmetrics 厚度標準都是得到驗證可追溯的 NIST 標準。

S-Custom-NIST:在客戶提供的樣品上定制可追溯的 NIST 厚度校準。 

TS-Focus-SiO2-4-3100SiO2-on-Si :厚度標準,外加調焦區和單晶硅基準,厚度大約 3100A,4" 晶圓。

TS-Focus-SiO2-4-10000SiO2-on-Si :厚度標準,外加調焦區和單晶硅基準,厚度大約 10000A,4" 晶圓。

TS-Hardcoat-4μm:丙烯酸塑料硬涂層厚度標準,厚度大約 4um,直徑 2"。

TS-Hardcoat-Trans:背面透明的硬涂層,可用于透射測量。

TS-Parylene-4um:丙烯酸塑料上的聚對二甲苯厚度標準,厚度大約 4um ,直徑2"。

TS-Parylene-8um:硅基上的聚對二甲苯厚度標準,厚度大約 8um,23mm x 23mm。

TS-SiO2-4-7200:硅基上的二氧化硅厚度標準,厚度大約 7200A,4" 晶圓。

TS-SiO2-4-7200-NIST:可追溯的 NIST SiO2-4-7200 厚度標準。

TS-SiO2-6-Multi:多厚度硅基上的二氧化硅標準: 125埃米,250埃米,500埃米,1000埃米,5000埃米,和 10000埃米 (+/-10%誤差),6英寸晶圓。TS-SS3-SiO2-8000:專為SS-3樣品平臺設計之二氧化硅厚度標準片,厚度大約為 8000A。

    F20系列是世界上****的臺式薄膜厚度測量系統,只需按下一個按鈕,不到一秒鐘即可同時測量厚度和折射率。設置也非常簡單,只需把設備連接到您運行Windows?系統的計算機USB端口,并連接樣品平臺就可以了。F20系列不同型號的選擇,主要取決于您需要測量的薄膜厚度(確定所需的波長范圍)。型號厚度范圍*波長范圍F2015nm-70μm380-1050nmF20-EXR15nm-250μm380-1700nmF20-NIR100nm-250μm950-1700nmF20-UV1nm-40μm190-1100nmF20-UVX1nm-250μm190-1700nmF20-XTμm-450μm1440-1690nm*取決于薄膜種類Filmetrics膜厚測試儀通過分析薄膜的反射光譜來測量薄膜的厚度,通過非可見光的測量,可以測量薄至1nm或厚至13mm的薄膜。測量結果可在幾秒鐘顯示:薄膜厚度、顏色、折射率甚至是表面粗糙度。1.有五種不同波長選擇(波長范圍從紫外220nm至近紅外1700nm)2.比較大樣品薄膜厚度的測量范圍是:3nm~25um3.精度高于、氧化物、氮化物;、Polyimides;3.光電鍍膜應用:硬化膜、抗反射膜、濾波片。1.光源有壽命,不用時請關閉2.光纖易損,不要彎折,不要頻繁插拔3.精密儀器。F50-EXR測厚范圍:20nm-250μm;波長:380-1700nm。

自動厚度測量系統幾乎任何形狀的樣品厚度和折射率的自動測繪。人工加載或機器人加載均可。

在線厚度測量系統監測控制生產過程中移動薄膜厚度。高達100 Hz的采樣率可以在多個測量位置得到。

附件Filmetrics 提供各種附件以滿足您的應用需要。

F20 系列世界上****的臺式薄膜厚度測量系統只需按下一個按鈕,您在不到一秒鐘的同時測量厚度和折射率。設置同樣簡單, 只需插上設備到您運行Windows?系統計算機的USB端口, 并連接樣品平臺 , F20已在世界各地有成千上萬的應用被使用. 事實上,我們每天從我們的客戶學習更多的應用.

選擇您的F20主要取決於您需要測量的薄膜的厚度(確定所需的波長范圍)

F40測量范圍;20nm-40μm;波長:400-850nm。Filmetrics F32膜厚儀樣品測試

FSM拉曼的應用:局部應力; 局部化學成分;局部損傷。山東膜厚儀聯系電話

F60 系列

包含的內容:集成平臺/光譜儀/光源裝置(不含平臺)4", 6" and 200mm 參考晶圓TS-SiO2-4-7200 厚度標準真空泵備用燈

型號厚度范圍*波長范圍

F60-t:20nm-70μm 380-1050nm

F60-t-UV:5nm-40μm 190-1100nm

F60-t-NIR:100nm-250μm 950-1700nm

F60-t-EXR:20nm-250μm 380-1700nm

F60-t-UVX:5nm-250μm 190-1700nm

F60-t-XT0:2μm-450μm 1440-1690nm

F60-t-s980:4μm-1mm 960-1000nm

F60-t-s1310:7μm-2mm 1280-1340nm

F60-t-s1550:10μm-3mm 1520-1580nm

額外的好處:每臺系統內建超過130種材料庫, 隨著不同應用更超過數百種應用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)網上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯網)硬件升級計劃 山東膜厚儀聯系電話

岱美儀器技術服務(上海)有限公司專注技術創新和產品研發,發展規模團隊不斷壯大。一批專業的技術團隊,是實現企業戰略目標的基礎,是企業持續發展的動力。公司以誠信為本,業務領域涵蓋磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發,我們本著對客戶負責,對員工負責,更是對公司發展負責的態度,爭取做到讓每位客戶滿意。公司深耕磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發,正積蓄著更大的能量,向更廣闊的空間、更寬泛的領域拓展。

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