IQ Aligner® 自動化掩模對準系統

特色：EVG ® IQ定位儀®平臺用于自動非接觸近距離處理而優化的用于晶片尺寸高達200毫米。

技術數據：IQ Aligner是具有高度自動化程度的非接觸式接近光刻平臺，可滿足將生產線中的掩模污染降至**/低并增加掩模壽命和產品良率的需求。除了多種對準功能外，該系統還通過專門配置進行了廣/泛的安裝和現場驗證，可自動處理和處理翹曲或變薄的晶圓。標準的頂側或底側對準與集成的IR對準功能之間的混合匹配操作進一步拓寬了應用領域，尤其是在與工程或粘合基板對準時。該系統還通過快速響應的溫度控制工具集支持晶片對準跳動控制。 可以使用用于壓印光刻的工具，例如紫外光納米壓印光刻，熱壓印或微接觸印刷。IQ Aligner NT光刻機供應商家

EVG ® 620 NT 掩模對準系統（半自動/自動）

特色：EVG ® 620 NT提供國家的本領域掩模對準技術在**小化的占位面積，支持高達150毫米晶圓尺寸。

技術數據：EVG620 NT以其多功能性和可靠性而著稱，在**小的占位面積上結合了先進的對準功能和**/優化的總體擁有成本，提供了**/先進的掩模對準技術。它是光學雙面光刻的理想工具，可提供半自動或自動配置以及可選的全覆蓋Gen 2解決方案，以滿足大批量生產要求和制造標準。擁有操作員友好型軟件，**短的掩模和工具更換時間以及高/效的全球服務和支持，使它成為任何制造環境的理想解決方案。 高精密儀器光刻機美元價HERCULES以**小的占地面積結合了EVG精密對準和光刻膠處理系統的所有優勢。

IQ Aligner®NT曝光設定：硬接觸/軟接觸/接近模式/柔性模式

楔形補償：全自動軟件控制；非接觸式

IQ Aligner®NT曝光選項：間隔曝光/洪水曝光

先進的對準功能：自動對準

暗場對準功能/完整的明場掩模移動（FCMM）

大間隙對準

跳動控制對準

IQ Aligner®NT系統控制：

操作系統：Windows

文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數

多語言用戶GUI和支持：CN，DE，FR，IT，JP，KR

實時遠程訪問，診斷和故障排除

如果您需要確認準確的產品的信息，請聯系我們。如果需要鍵合機，請看官網信息。

EVG ® 150--光刻膠自動處理系統

EVG ® 150是全自動化光刻膠處理系統中提供高吞吐量的性能與在直徑承晶片高達300毫米。

EVG150設計為完全模塊化的平臺，可實現自動噴涂/旋轉/顯影過程和高通量性能。EVG150可確保涂層高度均勻并提高重復性。具有高形貌的晶片可以通過EVG的OmniSpray 技術進行均勻涂覆，而傳統的旋涂技術則受到限制。

EVG ® 150特征：

晶圓尺寸可達300毫米

多達六個過程模塊

可自定義的數量-多達二十個烘烤/冷卻/汽化堆

多達四個FOUP裝載端口或盒式磁帶裝載

EVG所有光刻設備平臺均為300mm。

IQ Aligner工業自動化功能：盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄，彎曲，翹曲，邊緣晶圓處理

晶圓直徑（基板尺寸）：高達200毫米

對準方式：

上側對準：≤±0.5 μm

底側對準：≤±1,0 μm

紅外校準：≤±2,0 μm /具體取決于基板材料

曝光設定：真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式

曝光選項：間隔曝光/洪水曝光

系統控制

操作系統：Windows

文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數

多語言用戶GUI和支持：CN，DE，FR，IT，JP，KR

實時遠程訪問，診斷和故障排除

產能

全自動：第/一批生產量：每小時85片

全自動：吞吐量對準：每小時80片 除了光刻機之外，岱美還代理了EVG的鍵合機等設備。浙江EVG6200 NT光刻機

EVG已經與研究機構合作超過35年，能夠深入了解他們的獨特需求。IQ Aligner NT光刻機供應商家

儀器儀表行業飛速發展一是因為我國的經濟高速穩定發展的運行;按照過去的經驗，如果GDP的增長在10%以上時，儀表行業的增長率則在26%～30%之間。二是因為我國宏觀調控對儀表行業的影響有一個滯后期，儀表往往在工程的后期才交付使用，因此，因宏觀調控政策而減少的收入對儀表行業的影響不會太大。我國現有有限責任公司企業數千多家，已經形成門類品種比較齊全，具有一定技術基礎和生產規模的產業體系。但同時業內行家也指出，雖然我國測試儀器產業有了一定的發展，但遠遠不能滿足國民經濟各行各業日益增長的迫切需求。隨著手機移動網絡的消費潛力不斷隱現，消費者利用手機消費的頻率和份額逐年遞增。移動互聯網所隱藏的商業價值被更多地挖掘出來之后，各種傳統行業（包括磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發行業）的移動網上平臺相繼誕生。隨著中國的不斷進步，世界上只有一個救世主——市場，能救企業的只有你自己——自強，提高其他型重點競爭力才是中國制造業的獨一出路。以顯微科學儀器行業的發展與變化為例，以親身的實踐為例，毛磊認為，隨著經濟的不斷發展，我國的環境和實力都發生了巨大變化，有了完全不同的基礎，這為國產科學儀器走向**增強了信心。IQ Aligner NT光刻機供應商家

岱美儀器技術服務（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿易試驗區加太路39號第五層六十五部位，是一家磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易、轉口貿易，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司。岱美儀器技術服務擁有一支經驗豐富、技術創新的專業研發團隊，以高度的專注和執著為客戶提供磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發。岱美儀器技術服務致力于把技術上的創新展現成對用戶產品上的貼心，為用戶帶來良好體驗。岱美儀器技術服務創始人陳玲玲，始終關注客戶，創新科技，竭誠為客戶提供良好的服務。