EVGROUP®|產品/納米壓印光刻解決方案
納米壓印光刻的介紹:
EV Group是納米壓印光刻(NIL)的市場**設備供應商。EVG開拓了這種非常規光刻技術多年,掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現了批量生產。EVG的專有SmartNIL技術通過多年的研究,開發和現場經驗進行了優化,以解決常規光刻無法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可提供低至40 nm的出色保形壓印結果。岱美作為EVG在中國區的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。
HERCULES?NIL是完全集成的納米壓印光刻解決方案,可實現300 mm的大批量生產。浙江納米壓印供應商
客戶示范
■工藝開發
■材料測試
■與合作伙伴共同研發
■資助項目
■小批量試生產
■IP管理
■過程技術許可證
■流程培訓
→世界前列的潔凈室基礎設施
→**的設備
→技術**
→**計量
→工藝知識
→應用知識
→與NIL的工作印模材料和表面化學有關的化學專業知識
新應用程序的開發通常與設備功能的提高緊密相關。 EVG的NIL解決方案能夠產生具有納米分辨率的多種不同尺寸和形狀的圖案,并在顯示器,生物技術和光子應用中實現了許多新的創新。
岱美作為EVG在中國區的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。
本地納米壓印推薦產品納米壓印設備可用來進行熱壓花、加壓加熱、印章、聚合物、基板、附加沖壓成型脫模。
該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世。根據客戶的專門需求,公司對這些聚合物作出調整,使其具備其它特征。它們極其適合工業環境,在較短的生產周期時間內粘合各種微小的元件。此外,DELO紫外線LED固化設備與點膠閥的可靠度十分杰出。關于德路德路(DELO)是世界前列的工業粘合劑制造商,總部位于德國慕尼黑附近的Windach。在美國、中國、新加坡及日本均設有子公司。2019財政年,公司的780名員工創造了。該公司產品在全球范圍內廣泛應用于汽車、消費類電子產品與工業電子產品。幾乎每一部智能手機與超過一半的汽車上都使用該公司產品。DELO的客戶包括博世、戴姆勒、華為、歐司朗、西門子以及索尼等。關于EVGroup(EVG)EV集團(EVG)是為生產半導體、微機電系統(MEMS)、化合物半導體、功率器件以及納米技術器件制造提供設備與工藝解決方案的**供應商。該公司主要產品包括晶圓鍵合、薄晶圓處理、光刻/納米壓印光刻技術(NIL)與計量設備,,以及涂膠機、清洗機與檢測系統。EV集團創辦于1980年,可為遍及全球的眾多客戶與合作伙伴提供各類服務與支持。
EVG ® 520 HE熱壓印系統
特色:經通用生產驗證的熱壓印系統,可滿足比較高要求
EVG520 HE半自動熱壓印系統設計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。EVG的這種經過生產驗證的系統可以接受直徑比較大為200 mm的基板,并且與標準的半導體制造技術兼容。熱壓印系統配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能,并管理適用于熱壓印的整個聚合物范圍。結合高縱橫比壓印和多種脫壓選項,提供了許多用于高質量圖案轉印和納米分辨率的工藝。
如果需要詳細的信息,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。 EVG是納米壓印光刻(NIL)的市場**設備供應商。
HERCULES®NIL:完全集成的納米壓印光刻解決方案,可實現300 mm的大批量生產
■批量生產低至40 nm的結構或更小尺寸(分辨率取決于過程和模板)
■結合了預處理(清潔/涂布/烘烤/冷卻)和SmartNIL®技術
■全自動壓印和受控的低力分離,可很大程度地重復使用工作印章
■具備工作印章制造能力
EVG®770:連續重復的納米壓印光刻技術,可進行有效的母版制作
■用于晶圓級光學器件的微透鏡的高 效母模制造,直至SmartNIL®的納米結構
■不同類型的母版的簡單實現
■可變的光刻膠分配模式
■分配,壓印和脫模過程中的實時圖像
■用于壓印和脫模的原位力控制
SmartNIL技術可提供功能強大的下一代光刻技術,幾乎具有無限的結構尺寸和幾何形狀功能。微接觸納米壓印國內用戶
EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻(UV-NIL)產品線。浙江納米壓印供應商
EVG ® 7200 LA特征:
專有SmartNIL ®技術,提供了****的印跡形大面積
經過驗證的技術,具有出色的復制保真度和均勻性
多次使用的聚合物工作印模技術可延長母版使用壽命并節省大量成本
強大且精確可控的處理
與所有市售的壓印材料兼容
EVG ® 7200 LA技術數據:
晶圓直徑(基板尺寸):直徑200毫米(比較大Gen3)(550 x 650毫米)
解析度:40 nm-10 μm(分辨率取決于模板和工藝)
支持流程:SmartNIL ®
曝光源:大功率窄帶(> 400 mW /cm2)
對準:可選的光學對準:≤±15 μm
自動分離:支持的
迷你環境和氣候控制:可選的
工作印章制作:支持的
浙江納米壓印供應商
岱美儀器技術服務(上海)有限公司致力于儀器儀表,以科技創新實現***管理的追求。公司自創立以來,投身于磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發,是儀器儀表的主力軍。岱美儀器技術服務始終以本分踏實的精神和必勝的信念,影響并帶動團隊取得成功。岱美儀器技術服務始終關注儀器儀表行業。滿足市場需求,提高產品價值,是我們前行的力量。