EVG ® 520 HE熱壓印系統
特色：經通用生產驗證的熱壓印系統，可滿足比較高要求
EVG520 HE半自動熱壓印系統設計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。EVG的這種經過生產驗證的系統可以接受直徑比較大為200 mm的基板，并且與標準的半導體制造技術兼容。熱壓印系統配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能，并管理適用于熱壓印的整個聚合物范圍。結合高縱橫比壓印和多種脫壓選項，提供了許多用于高質量圖案轉印和納米分辨率的工藝。
如果需要詳細的信息，請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。 HERCULES?NIL是完全集成的納米壓印光刻解決方案，可實現300 mm的大批量生產。中芯國際納米壓印樣機試用
HERCULES ® NIL特征：
全自動UV-NIL壓印和低力剝離
**多300毫米的基材
完全模塊化的平臺，具有多達八個可交換過程模塊（壓印和預處理）
200毫米/ 300毫米橋接工具能力
全區域烙印覆蓋
批量生產**小40 nm或更小的結構
支持各種結構尺寸和形狀，包括3D
適用于高地形（粗糙）表面
*分辨率取決于過程和模板
HERCULES ® NIL技術數據：
晶圓直徑（基板尺寸）：100至200毫米/ 200和300毫米
解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）
支持流程：SmartNIL ®
曝光源：大功率LED（i線）> 400 mW /cm2
對準：≤±3微米
自動分離：支持的
前處理：提供所有預處理模塊
迷你環境和氣候控制：可選的
工作印章制作：支持的
高校納米壓印值得買 EVG?770可用于連續重復的納米壓印光刻技術，可進行有效的母版制作。
HERCULES®NIL：完全集成的納米壓印光刻解決方案，可實現300 mm的大批量生產
■批量生產低至40 nm的結構或更小尺寸（分辨率取決于過程和模板）
■結合了預處理（清潔/涂布/烘烤/冷卻）和SmartNIL®技術
■全自動壓印和受控的低力分離，可很大程度地重復使用工作印章
■具備工作印章制造能力
EVG®770：連續重復的納米壓印光刻技術，可進行有效的母版制作
■用于晶圓級光學器件的微透鏡的高 效母模制造，直至SmartNIL®的納米結構
■不同類型的母版的簡單實現
■可變的光刻膠分配模式
■分配，壓印和脫模過程中的實時圖像
■用于壓印和脫模的原位力控制
IQ Aligner®：用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統
■用于光學元件的微成型應用
■用于全場納米壓印應用
■三個**控制的Z軸，用于控制壓印光刻膠的總厚度變化（TTV），并在壓模和基材之間實現出色的楔形補償
■粘合對準和紫外線粘合功能
紫外線壓印_紫外線固化
印章
防紫外線基材
附加印記壓印納米結構分離印記
用紫外線可固化的光刻膠旋涂或滴涂基材。隨后，將壓模壓入光刻膠并在仍然接觸的情況下通過UV光交聯。
μ-接觸印刷
軟印章
基板上的材料
領取物料，物料轉移，刪除印章
IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統。
HERCULES NIL 300 mm提供了市場上**的納米壓印功能，具有較低的力和保形壓印，快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統支持各種設備和應用程序的生產，包括用于增強/虛擬現實（AR / VR）頭戴式耳機的光學設備，3D傳感器，生物醫學設備，納米光子學和等離激元學。
HERCULES ® NIL特征：
全自動UV-NIL壓印和低力剝離
**多300毫米的基材
完全模塊化的平臺，具有多達八個可交換過程模塊（壓印和預處理）
200毫米/ 300毫米橋接工具能力
全區域烙印覆蓋
批量生產**小40 nm或更小的結構
支持各種結構尺寸和形狀，包括3D
適用于高地形（粗糙）表面
*分辨率取決于過程和模板
EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻（UV-NIL）產品線。晶片納米壓印有哪些品牌
EVG?720/EVG?7200/EVG?7200LA是自動化的全場域納米壓印解決方案，適用于第3代基材。中芯國際納米壓印樣機試用
EVG ® 720特征：
體積驗證的壓印技術，具有出色的復制保真度
專有SmartNIL ®技術，多使用聚合物印模技術
集成式壓印，UV固化脫模和工作印模制造
盒帶到盒帶自動處理以及半自動研發模式
可選的頂部對準
可選的迷你環境
適用于所有市售壓印材料的開放平臺
從研發到生產的可擴展性
系統外殼，可實現比較好過程穩定性和可靠性技術數據
晶圓直徑（基板尺寸）
75至150毫米
解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）
支持流程：SmartNIL ®
曝光源：大功率LED（i線）> 400 mW /cm2
對準：可選的頂部對準
自動分離：支持的
迷你環境和氣候控制：可選的
工作印章制作：支持的
中芯國際納米壓印樣機試用
岱美儀器技術服務（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型的公司。公司自成立以來，以質量為發展，讓匠心彌散在每個細節，公司旗下磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發深受客戶的喜愛。公司從事儀器儀表多年，有著創新的設計、強大的技術，還有一批**的專業化的隊伍，確保為客戶提供良好的產品及服務。岱美儀器技術服務憑借創新的產品、專業的服務、眾多的成功案例積累起來的聲譽和口碑，讓企業發展再上新高。