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遼寧SmartView NT鍵合機

來源: 發布時間:2024-01-27

EVG®850SOI的自動化生產鍵合系統 自動化生產鍵合系統,適用于多種熔融/分子晶圓鍵合應用 特色 技術數據 SOI晶片是微電子行業有望生產出更快,性能更高的微電子設備的有希望的新基礎材料。晶圓鍵合技術是SOI晶圓制造工藝的一項關鍵技術,可在絕緣基板上實現高質量的單晶硅膜。借助EVG850 SOI生產鍵合系統,SOI鍵合的所有基本步驟-從清潔和對準到預鍵合和紅外檢查-都結合了起來。因此,EVG850確保了高達300mm尺寸的無空隙SOI晶片的高產量生產工藝。EVG850是wei一在高通量,高產量環境下運行的生產系統,已被確立為SOI晶圓市場的行業標準。在不需重新配置硬件的情況下,EVG鍵合機可以在真空下執行SOI / SDB(硅的直接鍵合)預鍵合。遼寧SmartView NT鍵合機

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一旦將晶片粘合在一起,就必須測試粘合表面,看該工藝是否成功。通常,將批處理過程中產生的一部分產量留給破壞性和非破壞性測試方法使用。破壞性測試方法用于測試成品的整體剪切強度。非破壞性方法用于評估粘合過程中是否出現了裂紋或異常,從而有助于確保成品沒有缺陷。EVGroup(EVG)是制造半導體,微機電系統(MEMS),化合物半導體,功率器件和納米技術器件的設備和工藝解決方案的lingxian供應商。主要產品包括晶圓鍵合,薄晶圓加工,光刻/納米壓印光刻(NIL)和計量設備,以及光刻膠涂布機,清潔劑和檢查系統。成立于1980年的EVGroup服務于復雜的全球客戶和合作伙伴網絡,并為其提供支持。有關EVG的更多信息,請訪問"鍵合機"。價格怎么樣鍵合機美元報價晶圓級涂層、封裝,工程襯底zhi造,晶圓級3D集成和晶圓減薄等用于制造工程襯底,如SOI(絕緣體上硅)。

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GEMINI自動化生產晶圓鍵合系統集成的模塊化大批量生產系統,用于對準晶圓鍵合特色技術數據GEMINI自動化生產晶圓鍵合系統可實現ZUI高水平的自動化和過程集成。批量生產的晶圓對晶圓對準和ZUI大200毫米(300毫米)的晶圓鍵合工藝都在一個全自動平臺上執行。器件制造商受益于產量的增加,高集成度以及多種鍵合工藝方法的選擇,例如陽極,硅熔合,熱壓和共晶鍵合。特征全自動集成平臺,用于晶圓對晶圓對準和晶圓鍵合底部,IR或Smaiew對準的配置選項多個鍵合室晶圓處理系統與鍵盤處理系統分開帶交換模塊的模塊化設計結合了EVG的精密對準EVG所有優點和®500個系列系統與duli系統相比,占用空間ZUI小可選的過程模塊:LowTemp?等離子活化晶圓清洗涂敷模塊紫外線鍵合模塊烘烤/冷卻模塊對準驗證模塊技術數據蕞大加熱器尺寸150、200、300毫米裝載室5軸機器人ZUI高鍵合模塊4個ZUI高預處理模塊200毫米:4個300毫米:6個。

晶圓級封裝在封裝方式上與傳統制造不同。該技術不是將電路分開然后在繼續進行測試之前應用封裝和引線,而是用于集成多個步驟。在晶片切割之前,將封裝的頂部和底部以及焊錫引線應用于每個集成電路。測試通常也發生在晶片切割之前。像許多其他常見的組件封裝類型一樣,用晶圓級封裝制造的集成電路是一種表面安裝技術。通過熔化附著在元件上的焊球,將表面安裝器件直接應用于電路板的表面。晶圓級組件通常可以與其他表面貼裝設備類似地使用。例如,它們通常可以在卷帶機上購買,以用于稱為拾取和放置機器的自動化組件放置系統。EVG鍵合機可配置為黏合劑、陽極、直接/熔融、玻璃料、焊料(包括共晶和瞬態液相)和金屬擴散、熱壓縮工藝。

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EVG®850TB臨時鍵合機特征:開放式膠粘劑平臺;各種載體(硅,玻璃,藍寶石等);適用于不同基板尺寸的橋接工具功能;提供多種裝載端口選項和組合;程序控制系統;實時監控和記錄所有相關過程參數;完全集成的SECS/GEM接口;可選的集成在線計量模塊,用于自動反饋回路;技術數據:晶圓直徑(基板尺寸):蕞長300毫米,可能有超大的托架不同的基材/載體組合組態外套模塊帶有多個熱板的烘烤模塊通過光學或機械對準來對準模塊鍵合模塊:選件在線計量ID閱讀高形貌的晶圓處理翹曲的晶圓處理EVG的各種鍵合對準(對位)系統配置為各種MEMS和IC研發生產應用提供了多種優勢。實際價格鍵合機芯片堆疊應用

烘烤/冷卻模塊-適用于GEMINI用于在涂布后和鍵合之前加工粘合劑層。遼寧SmartView NT鍵合機

EVG®510晶圓鍵合機系統:用于研發或小批量生產的晶圓鍵合系統-與大批量生產設備完全兼容。特色:EVG510是一種高度靈活的晶圓鍵合系統,可以處理從碎片到200mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝,例如陽極,玻璃粉,焊料,共晶,瞬態液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設計允許對不同的晶圓尺寸和工藝進行快速便捷的重新工具化,轉換時間不到5分鐘。這種多功能性非常適合大學、研發機構或小批量生產應用。EVG大批量制造工具(例如EVGGEMINI)上的鍵合室設計相同,鍵合程序易于轉移,可輕松擴大生產規模。遼寧SmartView NT鍵合機

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