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來源: 發布時間:2023-05-14

在將半導體晶圓切割成子部件之前,有機會使用自動步進測試儀來測試它所攜帶的眾多芯片,這些測試儀將測試探針順序放置在芯片上的微觀端點上,以激勵和讀取相關的測試點。這是一種實用的方法,因為有缺陷的芯片不會被封裝到ZUI終的組件或集成電路中,而只會在ZUI終測試時被拒絕。一旦認為模具有缺陷,墨水標記就會滲出模具,以便于視覺隔離。典型的目標是在100萬個管芯中,少于6個管芯將是有缺陷的。還需要考慮其他因素,因此可以優化芯片恢復率。EVG下的GEMINI系列是自動化生產晶圓鍵合系統。廣東鍵合機美元價格

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EVG®520IS晶圓鍵合機系統:單腔或雙腔晶圓鍵合系統,用于小批量生產。EVG520IS單腔單元可半自動操作ZUI大200mm的晶圓,適用于小批量生產應用。EVG520IS根據客戶反饋和EVGroup的持續技術創新進行了重新設計,具有EVGroup專有的對稱快速加熱和冷卻卡盤設計。諸如獨LI的頂側和底側加熱器,高壓鍵合能力以及與手動系統相同的材料和工藝靈活性等優勢,為所有晶圓鍵合工藝的成功做出了貢獻。特征:全自動處理,手動裝卸,包括外部冷卻站兼容EVG機械和光學對準器單室或雙室自動化系統全自動的鍵合工藝執行和鍵合蓋移動集成式冷卻站可實現高產量選項:高真空能力(1E-6毫巴)可編程質量流量控制器集成冷卻技術數據ZUI大接觸力10、20、60、100kN加熱器尺寸150毫米200毫米ZUI小基板尺寸單芯片100毫米真空標準:1E-5mbar可選:1E-6mbar熔融鍵合鍵合機推薦廠家EVG鍵合機軟件,支持多語言,集成錯誤記錄/報告和恢復和單個用戶帳戶設置,這樣可以簡化用戶常規操作。

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什么是YONG久鍵合系統呢?EVG晶圓鍵合方法的引入將鍵合對準與鍵合步驟分離開來,立即在業內掀起了市場GEMING。利用高溫和受控氣體環境下的高接觸力,這種新穎的方法已成為當今的工藝標準,EVG的鍵合機設備占據了半自動和全自動晶圓鍵合機的主要市場份額,并且安裝的機臺已經超過1500個。EVG的晶圓鍵合機可提供ZUI佳的總擁有成本(TCO),并具有多種設計功能,可優化鍵合良率。針對MEMS,3D集成或高級封裝的不同市場需求,EVG優化了用于對準的多個模塊。下面是EVG的鍵合機EVG500系列介紹。

長久鍵合系統 EVG晶圓鍵合方法的引入將鍵合對準與鍵合步驟分離開來,立即在業內掀起了市場閣命。利用高溫和受控氣體環境下的高接觸力,這種新穎的方法已成為當今的工藝標準,EVG的鍵合機設備占據了半自動和全自動晶圓鍵合機的主要市場份額,并且安裝的機臺已經超過1500個。EVG的晶圓鍵合機可提供蕞/佳的總擁有成本(TCO),并具有多種設計功能,可優化鍵合良率。針對MEMS,3D集成或gao級封裝的不同市場需求,EVG優化了用于對準的多個模塊。下面是EVG的鍵合機EVG500系列介紹。晶圓鍵合系統EVG501是適用于學術界和工業研究的多功能手動晶圓鍵合設備。

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EVG®620BA自動鍵合對準系統:用于晶圓間對準的自動鍵合對準系統,用于研究和試生產。EVG620鍵合對準系統以其高度的自動化和可靠性而聞名,專為ZUI大150mm晶圓尺寸的晶圓間對準而設計。EVGroup的鍵合對準系統具有ZUI高的精度,靈活性和易用性,以及模塊化升級功能,并且已經在眾多高通量生產環境中進行了認證。EVG的鍵對準系統的精度可滿足MEMS生產和3D集成應用等新興領域中ZUI苛刻的對準過程。特征:ZUI適合EVG®501,EVG®510和EVG®520是鍵合系統。支持ZUI大150mm晶圓尺寸的雙晶圓或三晶圓堆疊的鍵對準。手動或電動對準臺。全電動高份辨率底面顯微鏡。基于Windows的用戶界面。在不同晶圓尺寸和不同鍵合應用之間快速更換工具。鍵合機晶圓對準鍵合是晶圓級涂層,晶圓級封裝,工程襯底智造,晶圓級3D集成和晶圓減薄等應用實用的技術。吉林紅外鍵合機

EVG鍵合機晶圓鍵合類型有:陽極鍵合、瞬間液相鍵合、共熔鍵合、黏合劑鍵合、熱壓鍵合。廣東鍵合機美元價格

EVG®850LT特征利用EVG的LowTemp?等離子基活技術進行SOI和直接晶圓鍵合適用于各種熔融/分子晶圓鍵合應用生產系統可在高通量,高產量環境中運行盒到盒的自動操作(錯誤加載,SMIF或FOUP)無污染的背面處理超音速和/或刷子清潔機械平整或缺口對準的預鍵合先進的遠程診斷技術數據:晶圓直徑(基板尺寸)100-200、150-300毫米全自動盒帶到盒帶操作預鍵合室對準類型:平面到平面或凹口到凹口對準精度:X和Y:±50μm,θ:±0.1°結合力:ZUI高5N鍵合波起始位置:從晶圓邊緣到中心靈活真空系統:9x10-2mbar(標準)和9x10-3mbar(渦輪泵選件)廣東鍵合機美元價格

岱美儀器技術服務(上海)有限公司依托可靠的品質,旗下品牌EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi以高質量的服務獲得廣大受眾的青睞。岱美中國經營業績遍布國內諸多地區地區,業務布局涵蓋半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等板塊。隨著我們的業務不斷擴展,從半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等到眾多其他領域,已經逐步成長為一個獨特,且具有活力與創新的企業。岱美中國始終保持在儀器儀表領域優先的前提下,不斷優化業務結構。在半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等領域承攬了一大批高精尖項目,積極為更多儀器儀表企業提供服務。

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